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核心参数
产品类别： 温控探针台
操作类型： 手动
可测圆片尺寸： 2"晶圆
产品概要：
低温探针台可以对器件进行非破坏性的测试，器件的最大尺寸可达到102mm(4inch)。一般来讲， 纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在低温探针台在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。
基本信息：
1、系统可使用液氮或液氦制冷，基本系统温度 范围：4.2/77 K to 500 K
2、高温选件，温度范围可到 20K-700K
3、￠5mm(0.2 in)光学样品架，可以从背面照射样品
4、样品台旋转选件，旋转角度±180 度，角度分辨率
5、0.1 度，可选手动或电动旋转
6、测量 DC 到 67GHz
7、最大测试样品尺寸 51mm 直径
8、最多可使用 6 个探针臂
9、探针臂上安装温度感器进行温度监测
10、控温稳定性： ±50mK
11、探针臂 3 轴方向可调节，并可进行面内±5°旋转
技术优势：
1、电缆、屏蔽和 Guard 保护进一步减少了电噪声和热辐射损失
2、支持未来升级闭循环，可将温度范围扩展到 4k
3、控温稳定性大大增强
4、实时进行温度检测
应用方向：
它为材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、 high Z 测量、DC 测量、RF 测量和微波特性测量提供一个测试平台。
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企业名称
英铂科学仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91310117MA1J1CKYXG
成立日期
2016-06-07
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
一般项目:仪器仪表、机电设备、机械设备、五金交电、电气设备、电子产品、计算机软硬件及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、日用百货、劳防用品、橡塑制品、办公用品、办公设备、家用电器批发零售,商务信息咨询,仪器仪表、机械设备、机电设备安装维修服务,电子商务(不得从事增值电信、金融业务),半导体科技、新材料科技、化学技术、机电技术、医疗技术、生物技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,货物或技术进出口(国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外),电子元器件及组件、机械设备、机电设备加工。(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
英铂科学仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区广富林东路199号启迪漕河泾三期13幢2层
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