聚束科技研制生产的国产高通量扫描电镜成为耀眼亮点

   聚束科技研制生产的国产电镜是全球首款真正意义上的高通量（场发射）扫描电子显微镜。10月23日至26日第十八届北京分析测试学术报告会暨展览会（BCEIA2019）上它首次亮相，以实物通电工作状态，向世人展现国产高端电镜的风采。本次展示的是与钢研纳克合作开发的领航者NavigatorSEM-OPA的机型，基于NavigatorSEM系列开发而成，尤其适合材料领域内的跨尺度原位观测与统计分布分析。消息传开，如打破了一潭平静的池水，激起仪器界高度重视，聚束科技连日来收到科学家和企业家纷纷来电询问，有的径直来到聚束科技，先睹为快，并送来样品上机检测。

   拥有自主知识产权的高通量扫描电镜—领航者是一台怎样的仪器？具有怎样的水平？又是如何腾空而出的呢？

   聚束科技历经磨砺成功地突破了多项关键技术。领航者首次采用全电子直接探测器（Direct Electron Detection）技术，实现低能量下二次电子（SE）和背散射电子（BSE）的高清视频级同步观测。目前已经交付客户使用的领航者(NavigatorSEM)系列NavigatorSEM-100产品，在全球同类高档产品中属于性能一流的精品。

图一.聚束科技在2019年北京分析测试学术报告会暨展览会展出高通量扫描电镜

   扫描电子显微镜是利用收集电子扫描样品产出电子信号的成像系统。它通过电子束与样品的相互作用产生各种信号，来获得材料表面的细节信息。

   领航者电镜的性能特点鲜明。超高速成像能力达4至8TB/天，使之具备了跨尺度信息融合能力。超大区域（100mmX100mm）全息成像模式，保持高分辨率情况下对样品进行全自动无遗漏信息采集，并可绘制成Google地图式全景信息浏览。该系统可对工程级材料进行整体纳米晶粒、成分分布统计等电镜微区分析。视频级纳米分析能力使扫描电镜从传统意义的纳米“照相机”跃变为纳米“摄像机”。在大视野下获取高分辨率，在1kV加速电压下可获得1.8nm、10kV下可获得1.2nm的分辨能力。

   领航者以人为本，操作简单。她不仅实现全自动样品载入系统，并有超高清全景光学导航。全球最快的SE加BSE成像速度，比传统的产品快了10倍以上。7天24小时自动连续图像采集，为创建大数据提供了可靠的的保障。

图二.聚束科技产品高通量扫描电镜领航者系统实物

   高通量扫描电镜拥有广泛的应用前景。电镜检测技术可应用于材料科学、生命科学、失效分析、工艺制程研究等领域。例如超大体量生物3D重构成像、高通量跨尺度材料表征、大规模样品缺陷筛查、镀膜工艺检测、平板显示检测、纳米颗粒自动筛查等。

   2017年12月，聚束科技研制生产的首台高通量场发射扫描电镜系统——领航者(NavigatorSEM)系列产品正式下线，即成为用户微观尺度脑神经连接图谱的绘制工具，将高速扫描电镜成像技术、序列自动采集技术和实时拼接配准技术，整合为生物型高通量扫描电镜三维影像系统。

   由于高质量电子光学系统研制生产困难，透镜内探测器设计难度大、低电压分辨率难以突破，数十年来我国科研与工业部门所用的扫描电镜严重依赖进口。每年我国花费超过1亿美元采购的几百台扫描电镜，主要产自美、日、德和捷克等国。国产高通量扫描电镜的问世，对打破国外垄断，破解卡脖子技术封锁，起到重要作用。

   聚束科技的年轻团队本着“励志突破全球技术瓶颈、打造中国民族电镜品牌”的情怀，凭着在半导体产业中工业化高通量电镜检测技术多年的积累和传承，下决心改变国内高端扫描电镜系统依靠进口的现状。聚束科技有信心持续创新，夯实基础，奉献先进的产品，为中国乃至全球提供一套全新的电镜解决方案，助力科研和制造业，提供不可或缺的工具。