英国肖氏SHAW在线露点仪SUPER-DEW3​在半导体材料工艺中测试露点的应用

一、引言 

随着科技的飞速发展，半导体材料工艺在电子工业中的应用日益广泛。在这个过程中，气体的纯净度和湿度是影响半导体材料质量的关键因素。为了精确控制这些参数，英国肖氏SHAW公司的SUPER-DEW3型在线露点仪在半导体材料工艺中被广泛应用，并展现出良好的应用效果。英国肖氏SHAW在线露点仪SUPER-DEW3在半导体材料工艺中测试露点的应用 残氧仪｜ATEQ密封性泄漏仪｜PID传感器｜美国Edgetech｜英国肖氏露点仪

二、英国肖氏SHAW在线露点仪SUPER-DEW3的特点

1. 高精度测量：SUPER-DEW3型在线露点仪采用高精度的Shaw传感器与先进的数字电子技术相结合，能够精确测量压缩空气中的露点，测量精度优于±2°C（±3.6°F）。

2. 易于配置：用户可以轻松配置SUPER-DEW3，使其在易于阅读的五字符LED显示屏上显示露点、温度、湿度、ppm（体积）或lbs/MMscf等参数。英国肖氏SHAW在线露点仪SUPER-DEW3在半导体材料工艺中测试露点的应用 残氧仪｜ATEQ密封性泄漏仪｜PID传感器｜美国Edgetech｜英国肖氏露点仪

3. 可编程报警：该仪器提供了两个完全可编程的报警继电器，用户可以根据需要设置在传感器的整个操作范围内。

4. 模拟输出：SUPER-DEW3标配一个隔离的4-20mA模拟输出，使您可以将仪器放置在距离传感器超过1000米的位置。

5. 灵活的配置选项：Superdew露点仪套装完全根据客户的具体需求进行配置，包括SUPER-DEW3分析仪、Shaw传感器、传感器支架和两米长的传感器电缆。英国肖氏SHAW在线露点仪SUPER-DEW3在半导体材料工艺中测试露点的应用 残氧仪｜ATEQ密封性泄漏仪｜PID传感器｜美国Edgetech｜英国肖氏露点仪

三、在半导体材料工艺中的应用效果

在半导体材料工艺中，SUPER-DEW3型在线露点仪被用于测试和监控气体的湿度和纯净度。它能够实时、精确地测量和监控工艺气体中的露点，以确保生产过程中的气体质量符合工艺要求。同时，其高精度的测量结果和可靠的重复性使得它在半导体材料生产中发挥了重要作用。

四、结论 英国肖氏SHAW在线露点仪SUPER-DEW3在半导体材料工艺中测试露点的应用 残氧仪｜ATEQ密封性泄漏仪｜PID传感器｜美国Edgetech｜英国肖氏露点仪

英国肖氏SHAW在线露点仪SUPER-DEW3以其高精度、易配置、可编程报警和灵活的配置选项等优点，在半导体材料工艺中测试露点的应用效果良好。它不仅提高了生产效率，还保证了产品的质量。因此，对于需要精确控制气体质量的半导体材料工艺来说，SUPER-DEW3型在线露点仪无疑是一个重要的工具。

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