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核心参数
产地类别： 进口
TMC Electro-Damp主动隔振系统-光学平台
特点：
1.六自由度主动振动阻尼系统
2 .独立或集成的强力电磁致动器
3. 数字控制器
4. 非接触式电子高度控制阀
优点：
1、减小载荷运动和调整时间
2、更高的分辨率
3、模块化设计允许用户指定一个完整的单元或组件，方便OEM集成
4、前馈参数自动调节，简化设置
Electro-Damp®是一款商业化、主动的隔振系统，专门设计来增加半导体制造应用的分辨率以及产量。Electro-Damp®II是对原始系统完全重新的设计，添加了模块、数字控制、前馈控制，强力/高清晰度致动器，以及专门设计用于OEM应用如显微光刻法，检验和计量工具的多个数字用户接口。
半导体制造工具的放置需要隔振系统。针对地板噪声，系统必须“软”以便有效过滤地板振动达到隔振效果。同时，系统必须“硬”来响应平台受力。
除了利用惯性、主动反馈阻尼，Electro-DampII还使用前馈信息进一步提高系统响应。前馈控制器的工作原理是通过具有平台位置以及加速度信息的平台控制器获得信息，然后经过数据处理后提供力用于驱动负载，大大减少载荷运动。DC2000数字控制器还可以利用平台测试模式自动调节前馈所需的参数。这使得初始安装或改变有效载荷后的设置更加快速和容易。Electro-Damp®II的模块化设计允许系统单独使用电子伺服阀或者电磁驱动，或者对于最苛刻的应用程序两者结合使用。
TMC光学平台Electro-Damp® II 的工作原理介绍
光学平台Electro-Damp® II 的使用方法?
TMCElectro-Damp® II 多少钱一台?
光学平台Electro-Damp® II 可以检测什么？
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企业名称
青岛森泉光电有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91370211MA3C05QM2R
成立日期
2015-11-13
注册资本
陆佰万元整
经营范围
光学仪器、通用仪器仪表、教学专用仪器、电子测量仪器、光电子器件的技术开发、技术服务、销售、维修、组装;批发:五金交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、建筑材料、纺织品、服装、珠宝;货物进出口，技术进出口;经营其它无需行政审批即可经营的一般经营项目.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
森泉光电有限公司
公司地址
青岛市黄岛区峨眉山路396号光谷软件园57号楼501
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