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核心参数
产地类别： 进口
Stage-Base™ 450
主动振动及运动隔离系统
为了满足放置在振动隔离系统上的半导体设备的极具挑战的要求，TMC继续推进技术进步来开发新的解决方案。Stage-Base™450是新一代的集成音圈技术的主动硬装压电陶瓷振动消除系统。只有TMC可以提供这种带有用于运动平台振动隔离的音圈电机的独特先进低频串行隔振技术。
Stage-Base 450是专门设计用于具有高精度电动x-y平台的先进半导体工具的主要振动隔离系统。这种仪器需要非常高效的振动隔离，同样他们也要求通过快速设置移动平台来减小负载从而极大的提高工具产量。新一代主动控制系统在STACIS iX的基础上，包括TMC的STACIS技术，应用压电陶瓷驱动器和在串行结构中添加刚性的悬架来实现最 da化的振动隔离。这使得地板的隔振频率从0.6Hz开始，并且在响应阶段力时显著减小了初始偏差，这在业内是无与伦比的。由于用于快速设置调节时间来进一步增加生产量的前馈控制音圈电机的加入，使其成为用于运动平台应用的先进的主动振动和运动隔离系统。
特点：
1、包含独特的STACIS技术
2、采用可扩展的压电陶瓷致动器
3、负载的位置可重复性在微米范围内
4、可安装的框架设计
5、6自由度
6、可选的音圈电机前馈或反馈
7、主动隔振从0.6赫兹开始
8、快速的调节时间来响应平台运动
9、没有气浮支撑
10、通过USB2.0与电脑的图形用户界面GUI连接的高速数字控制器
11、简单、鲁棒性强，性价比高
TMC光学平台Stage-Base™的工作原理介绍
光学平台Stage-Base™的使用方法?
TMCStage-Base™多少钱一台?
光学平台Stage-Base™可以检测什么？
光学平台Stage-Base™使用的注意事项？
TMCStage-Base™的说明书有吗？
TMC光学平台Stage-Base™的操作规程有吗？
TMC光学平台Stage-Base™报价含票含运吗？
TMCStage-Base™有现货吗？
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消除低频地面振动，使超精密光学元件制造的产量加倍
越来越多的，低频、低振幅的建筑地面振动已成为超高分辨率微制造工具性能的限制因素。在这些工具中有金刚石车床，用于制造超精密光学元件。 一家主要的消费类电子产品制造商在制造用于高精度光学器件的模具时，遇到了严重的产量问题。模具镶件是由Precitech的Nanoform 250 Ultra金刚石车床加工。
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2022/03/17
什么时候使用主动隔振系统？哪种方法适合您的应用程序？（第四部分）
主动系统隔振         本章节将帮助工程师和科学家对主动隔振系统有一个大致的了解，它们是如何工作的，什么时候应该应用，以及它们有什么限制。由于半导体制造业在这一领域出现了许多应用，因此得到了特别的关注。
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2021/05/24
什么时候使用主动隔振系统？哪种方法适合您的应用程序？（第三部分）
主动系统隔振         本章节将帮助工程师和科学家对主动隔振系统有一个大致的了解，它们是如何工作的，什么时候应该应用，以及它们有什么限制。由于半导体制造业在这一领域出现了许多应用，因此得到了特别的关注。
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2021/05/18
什么时候使用主动隔振系统？哪种方法最适合您的应用程序？（第一部分）
主动系统隔振         本章节将帮助工程师和科学家对主动隔振系统有一个大致的了解，它们是如何工作的，什么时候应该应用，以及它们有什么限制。由于半导体制造业在这一领域出现了许多应用，因此得到了特别的关注。
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2021/05/07
隔振平台设计，哪种台面最适合您的应用-花岗岩，夹层还是蜂窝？
高性能台面         台面是进行许多类型的测量和过程的平台。它们可以作为不同组件之间的机械参考(如激光、镜头、胶片等)，也可以简单地提供一个安静的工作表面。顶部通常使用三种结构之一：复合层压板，固体材料（花岗岩）或轻质蜂窝结构。构造的选择取决于应用的类型和大小。
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2021/04/20
如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量？
  为了减少振动，弹性体垫块被有效地用金属垫片短路，从而导致更刚性、非共振结构，但这几乎没有改善。振动标准不符合任何版本的基座和模式，质量仍然很差。         基座支撑结构被移除，并安装了STACIS®主动压电消振系统。STACIS基座被直接放置在现有的底座下面。将工具支撑在STACIS上，显著降低了整体地震振动水平，并达到了制造商的地面振动规范。更重要的是，STACIS在模式质量方面提供了显著的改进。
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2021/02/05
STACIS®III主动隔振系统
STACIS®III是最先进的主动震动隔离系统。采用先进的惯性震动传感器，复杂的控制算法，和最先进的压电致动器，STACIS通过连续测量地板活动，扩大和收缩压电致动器过滤地板震动来进行实时振动隔离。
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2020/03/19
企业名称
青岛森泉光电有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91370211MA3C05QM2R
成立日期
2015-11-13
注册资本
陆佰万元整
经营范围
光学仪器、通用仪器仪表、教学专用仪器、电子测量仪器、光电子器件的技术开发、技术服务、销售、维修、组装;批发:五金交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、建筑材料、纺织品、服装、珠宝;货物进出口，技术进出口;经营其它无需行政审批即可经营的一般经营项目.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
森泉光电有限公司
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青岛市黄岛区峨眉山路396号光谷软件园57号楼501
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