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TMC STACIS& III主动隔振系统光学平台
STACISIII是先进的主动振动隔离系统。采用先进的惯性振动传感器，复杂的控制算法，和先进的压电致动器。STACIS通过连续测量地板活动、扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时隔离振动。
最初被设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振，STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。
STACIS III包括一个新型改进的数字控制器----DC - 2020。它的前后面板上有新型双核处理器，以太网和USB串口，这个新型先进控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。
拥有在世界各地的数百个成功安装案例，STACIS对于大部分振动敏感仪器来说都是理想的振动消除系统。
Specifications-
Performance Specifications
| Active degrees of freedom | 6 |
| Active bandwidth | 0.6 Hz - 150 Hz |
| Passive natural frequency | 18 Hz vertical and horizontal |
| Effective active resonant frequency | 0.5 Hz |
| Isolation at 1 Hz | 40% - 70% |
| Isolation at ≥2 Hz | ≥90% |
| Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction) | 0.3 sec |
| Internal noise | <0.1 nm RMS |
| Operating load range per isolator | Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg) Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg) Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg) |
| Static lift capacity per isolator | 9000 lbs (4090 kg) |
| Stiffness (1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator) | 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m) |
| Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator | <0.02 μG broadband RMS |
Isolator Design, Dimensions, and Environmental and Utility Requirements
| Environmental and safety | CE and RoHS compliant |
| Active isolation elements | high-force piezoelectric actuators that receive signal from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC |
| Passive isolation element | single stiff isotropic elastomer (no compressed air supply required) |
| Vibration sensor elements | downward facing geophone type inertial sensors that measure floor vibration below the isolator and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion |
| Active feedback control loop | Floor vibration is measured, processed and attenuated below the spring supporting the isolated surface |
| Isolator dimensions (WxDxH) | 11.75 x 12.5 x 10.8 in. 300 x 320 x 275 mm |
| Isolator weight | 75 lb (34 kg) |
| Operating temperature | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| Storage temperature | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| Humidity (operating) | 30 - 60% |
| System power requirements | 100, 120, 230, 240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W CE compliant |
| Floor displacement | <480 μin. (12 μm) below 10 Hz |
| Isolator count per system | minimum of 3 |
| Options | laminated stainless steel platforms, frames, risers, leveling devices, earthquake restraints, lifthoods |
DC-2020 Controller Specifications
| Dimensions (WxDxH) | 19 x 8.5 x 1.75 in. 483 x 216 x 45 mm |
| Weight | 6.3 lb (2.9 kg) |
| Processor | 150/75 MHz dual core |
| Sampling rate | 10 kHz |
| Analog outputs | 16 channels |
| Analog inputs | 16 channels |
| Status light | single LED |
| Front panel ports | 1x serial USB 2.0 1x serial Micro-USB 1x Ethernet RJ-45 2x BNC |
| Rear panel ports | 1x serial USB 2.0 1x Ethernet RJ-45 1x RS-232 DB-9 legacy serial for legacy STACIS 2100 isolators |
| User interface | Front panel LCD display Character menu on HyperTerminal Extended GUI for Microsoft Windows Embedded Ethernet GUI |
Performance-
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
更多详细信息请联系我们！
应用案例：
TMC光学平台STACIS& III的工作原理介绍
光学平台STACIS& III的使用方法?
TMCSTACIS& III多少钱一台?
光学平台STACIS& III可以检测什么？
光学平台STACIS& III使用的注意事项？
TMCSTACIS& III的说明书有吗？
TMC光学平台STACIS& III的操作规程有吗？
TMC光学平台STACIS& III报价含票含运吗？
TMCSTACIS& III有现货吗？
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阻尼的概念及光学平台台面的作用
阻尼的概念（光学平台台面的作用）：抑制共振，减少共振振幅 阻尼（damping）是指任何振动系统在振动中，由于外界作用或系统本身固有的原因引起的振动幅度逐渐下降的特性，以及此一特性的量化表征。 阻尼的作用主要有以下五个方面 ： （1）阻尼有助于减少机械结构的共振振幅，从而避免结构因震动应力达到极限造成机构破坏； （2）阻尼有助于机械系统受到瞬时冲击后，很快恢复到稳定状态； （3）阻尼有助于减少因机械振动产生的声辐射，降低机械性噪声。许多机械构件，如交通运输工具的壳体、锯片的噪声，主要是由振动引起的，采用阻尼能有效的抑制共振，从而降低噪声； （4）可以提高各类机床、仪器等的加工精度、测量精度和工作精度。各类机器尤其是精密机床，在动态环境下工作需要有较高的抗震性和动态稳定性，通过各种阻尼处理可以大大的提高其动态性能； （5）阻尼有助于降低结构传递振动的能力。在机械系统的隔振结构设计中，合理地运用阻尼技术，可使隔振、减振的效果显著提高。
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消除低频地面振动，使超精密光学元件制造的产量加倍
越来越多的，低频、低振幅的建筑地面振动已成为超高分辨率微制造工具性能的限制因素。在这些工具中有金刚石车床，用于制造超精密光学元件。 一家主要的消费类电子产品制造商在制造用于高精度光学器件的模具时，遇到了严重的产量问题。模具镶件是由Precitech的Nanoform 250 Ultra金刚石车床加工。
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什么时候使用主动隔振系统？哪种方法适合您的应用程序？（第四部分）
主动系统隔振         本章节将帮助工程师和科学家对主动隔振系统有一个大致的了解，它们是如何工作的，什么时候应该应用，以及它们有什么限制。由于半导体制造业在这一领域出现了许多应用，因此得到了特别的关注。
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什么时候使用主动隔振系统？哪种方法适合您的应用程序？（第三部分）
主动系统隔振         本章节将帮助工程师和科学家对主动隔振系统有一个大致的了解，它们是如何工作的，什么时候应该应用，以及它们有什么限制。由于半导体制造业在这一领域出现了许多应用，因此得到了特别的关注。
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什么时候使用主动隔振系统？哪种方法适合您的应用程序？（第二部分）
主动系统隔振         本章节将帮助工程师和科学家对主动隔振系统有一个大致的了解，它们是如何工作的，什么时候应该应用，以及它们有什么限制。由于半导体制造业在这一领域出现了许多应用，因此得到了特别的关注。
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什么时候使用主动隔振系统？哪种方法最适合您的应用程序？（第一部分）
主动系统隔振         本章节将帮助工程师和科学家对主动隔振系统有一个大致的了解，它们是如何工作的，什么时候应该应用，以及它们有什么限制。由于半导体制造业在这一领域出现了许多应用，因此得到了特别的关注。
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隔振平台设计，哪种台面最适合您的应用-花岗岩，夹层还是蜂窝？
高性能台面         台面是进行许多类型的测量和过程的平台。它们可以作为不同组件之间的机械参考(如激光、镜头、胶片等)，也可以简单地提供一个安静的工作表面。顶部通常使用三种结构之一：复合层压板，固体材料（花岗岩）或轻质蜂窝结构。构造的选择取决于应用的类型和大小。
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如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量？
  为了减少振动，弹性体垫块被有效地用金属垫片短路，从而导致更刚性、非共振结构，但这几乎没有改善。振动标准不符合任何版本的基座和模式，质量仍然很差。         基座支撑结构被移除，并安装了STACIS®主动压电消振系统。STACIS基座被直接放置在现有的底座下面。将工具支撑在STACIS上，显著降低了整体地震振动水平，并达到了制造商的地面振动规范。更重要的是，STACIS在模式质量方面提供了显著的改进。
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主动压电隔振与气浮隔振的完美结合
主动压电隔振与气浮隔振的完美结合： CleanBench Aktiv™实验台是TMC在高性能地面振动控制方面的新突破。 它将TMC的Everstill主动消振技术与MaxDamp气浮隔振器相结合。 Everstill可从0.5至0.7 Hz开始提供出色的低频消振性能，而MaxDamp可提供高频率的良好隔振性能补充。
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森泉TMC LaserTableBase隔振技术应用案例
森泉光电LaserTable Base主动隔振技术案例 应用案例： •应用于中科院的一台LTB系统 •用户应用：精密光路搭建，全频段隔振（低频+高频） •位于一楼的实验室 •4支柱隔振系统 •良好的现场地面情况，未进行灌浆处理
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【应用】基于STACIS®的主动压电隔振系统应用案例
?为什么选用主动的隔振控制系统？ ?优越的低频隔振效率。（具体效率请见红蓝隔振曲线图） ?主动“Hard-Mount”架构提供了比被动气浮隔离器快10倍的稳定时间。（黑色稳定速度曲线图） ?避免气浮系统重力不稳定的风险。 ?可以与任何设备自带的隔离系统“堆叠串联”。
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关于微振动的评估和测量，你了解多少？
如何评价实验室是否达到实验/应用的微震需求？ 如何判定实验设备需要/不需要进行隔振处理？ 今天我们来分享一种评判环境振动程度的评估准则： Vibration Criterion (VC) Curves——振动准则(VC)曲线。
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STACIS®III主动隔振系统
STACIS®III是最先进的主动震动隔离系统。采用先进的惯性震动传感器，复杂的控制算法，和最先进的压电致动器，STACIS通过连续测量地板活动，扩大和收缩压电致动器过滤地板震动来进行实时振动隔离。
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