核心参数
产地类别: 进口
射线能量: X射线源:20 – 160 kV
穿透能力: 最大14456 x 14456 x 2630 px for 16 MP 探测器,最大11840 x 11840 x 2150 px for 11 MP 探测器
空间分辨率: 60 nm 最小像素尺寸 <500 nm 低对比度分辨率(10% MTF)
密度分辨率: 标称分辨率:< 0.35 μm for 16 MP 探测器 < 0.45 μm for 11 MP 探测器
检测范围: 样品尺寸:最大直径75 mm 最大高度70 mm
尺寸测量精度: X射线探测器:16 MP, 4904 x 3280 px or 11 MP, 4032 x 2688 px 14-bit冷却式CCD探测器, 通过光纤与闪烁体1:1耦合
密度测量精度: 标称分辨率:< 0.35 μm for 16 MP 探测器 < 0.45 μm for 11 MP 探测器
设备尺寸: 1800x950 x1680 mm
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