关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-859-9786
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
产地类别： 进口
仪器种类： 多功能摩擦磨损试验机
仪器尺寸： 394x 610x 775mm
最大摩擦力： 200N
摩擦力分辨率： 10mN
最高温度： 1000℃
产品简介：
TriboLab CMP 利用其前身产品 （Bruker CP-4） 超过 20 年的 CMP 领域专业知识，为业界领先的 TriboLab 平台带来了一套完整的功能。基于本套设备产生的高精度和高可重复性使得在整个 CMP 流程中能够进行高效的鉴别、检查和连续功能测试。TriboLab CMP 是市场上唯一能够提供广泛的抛光压力 （0.05-50 psi）、速度（1 至 500 rpm）、摩擦、声发射和表面温度测量的工艺开发工具，可准确、完整地描述 CMP 工艺和耗材。
产品参数：
| TriboLab CMP | |
| 测量能力 | 桌面型化学机械抛光测试平台 |
| 系统属性 | 集成高速/大扭矩旋转马达 |
| 同服控制精准加载载台;电动定位水平载台 | |
| 负载/摩擦力传感器，用于抛光和抛光垫修正负载控制，测量和记录原位声发射和温度测量与记录 | |
| 机械零件的腐蚀防护;可编程双泵和冲洗泵系统 | |
| 软件 | 布鲁克 CMP 操作和数据分析软件 |
| 电脑系统 | Windows7,32位操作系统,2GB内存,＞250GB硬盘 |
| 垂直定位系统 | 最大行程:100mm |
| 分辨率:0.5um | |
| 速度:0.001-10mm/s | |
| 水平定位和移动系统 | 最大行程:75mm |
| 分辨率:0.25um | |
| 速度:0.001-10mm/s | |
| 晶圆头 | 转速:1-500rpm |
| 2英寸晶圆头压强范围:0.29-29psi | |
| 4英寸晶圆头压强范围:0.07-7.2psi | |
| 其它尺寸品圆头压强范围:0.9-90psi(4-400N) | |
| 分辨率:20mN | |
| 底盘 | 转速:1-500rpm |
| 底盘尺寸:直到9in(228mm) | |
| 修正器 | 加载范围:2-200N |
| 分辨率:10mN | |
| 修正头尺寸:直到4.25 in | |
| 扭矩能力 | 5Nm，100RPM；2.5Nm，500RPM |
| 温度测量 | -25-1000℃ |
| 声发射响应范围 | 0.2-5.0MHz |
| 可编程泵（选项） | 流速:2.2-480mL/min |
| 电源要求 | 220VAC.2.5kW |
| 系统尺寸 | 394mm(宽)x610mm(深) x775(高) |
产品特点：
专业的研发用小型ＣＭＰ系统
全面再现晶圆抛光工艺条件
提供无与伦比的测量重复性和细节
使用小晶片而不是整个晶圆作测试，节省大量成本
在线实时诊断，可以更好地了解抛光过程
更好地观测瞬时抛光特性
收集整个测试过程的数据，从晶圆基底接触抛光垫开始到测试结束
提供更完整、更详细的数据，帮助工艺开发早期做决定
灵活的样品类型、尺寸、和安装配置提供最广泛的适用性
可抛光任何平面材料，使用任何修正盘，抛光液和抛光垫
可容纳小晶片到100mm 晶圆，接受多样品夹具
布鲁克摩擦磨损试验TriboLab CMP 的工作原理介绍
摩擦磨损试验TriboLab CMP 的使用方法?
布鲁克TriboLab CMP 多少钱一台?
摩擦磨损试验TriboLab CMP 可以检测什么？
摩擦磨损试验TriboLab CMP 使用的注意事项？
布鲁克TriboLab CMP 的说明书有吗？
布鲁克摩擦磨损试验TriboLab CMP 的操作规程有吗？
布鲁克摩擦磨损试验TriboLab CMP 报价含票含运吗？
布鲁克TriboLab CMP 有现货吗？
企业名称
Jeio Tech Co. Ltd.
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
1989-10-27
注册资本
5000
经营范围
仪器仪表，实验室仪器及耗材销售，机械设备的安装维修
Jeio Tech-China Partner
公司地址
上海市闵行区中春路6818弄718室
客服电话
公司名称： Jeio Tech-China Partner
公司地址： 上海市闵行区中春路6818弄718室 联系人： Market 邮编： 201101 联系电话： 400-859-9786
仪器信息网APP
展位手机站