核心参数
仪器种类: 恒温浴槽
循环功能: 内外循环
温控功能: 制冷/加热型
水浴槽容积: L
温度范围: -20到90℃
温度稳定性: ±0.05℃
LAUDA-Noah POU
在线使用(POU)温度控制系统与压缩机系统相比可以节省最高到90%的能量。可选择安装在地板下面选项使系统的占地很小,节省了洁净室的空间。
LAUDA-Noah POU
热电工艺过程恒温器是用在半导体行业提供从-20到90℃的温度控制
满足苛刻的工艺过程快速和精确的温度控制
热电在线使用(POU)温度控制系统为等离子刻蚀工艺提供稳定的温度控制。系统动态地控制静电卡盘(ESC)的温度并可以用在任何的刻蚀工艺中。 LAUDA-NoahPOU热电温度控制系统设计的基础是基于帕尔帖元件的温度变化原理。这些原件可以实现快速且准确的温度控制,满足了当今生产尺寸越来越小器件的要求。
动态、稳定的温度控制 占地小
重要功能
? 低能耗,没有压缩机和制冷剂的系统
? 工业领域占地小,如果放置到地板下方则没有占地空间要求
? 极低的导热液体填充量
标配附件
? 带有手动泵的加液罐
选配附件
? 可以远程控制的通信模块(RS-485通信协议)
企业名称
南京金实仪器设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320113MA255W990R
成立日期
2021-02-02
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:实验分析仪器制造;其他通用仪器制造;仪器仪表销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
南京金实仪器设备有限公司
公司地址
南京经济技术开发区恒谊路1号第2期1区18号楼5层
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