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拉曼光谱测定半导体晶向

2019-03-13 10:28

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资料摘要:

晶向是影响半导体工艺和器件性能的一项参数。随着半导体薄层材料制备技术和应用的发展,薄层晶向的测定日益显得重要。然而,对于厚度仅为微米量级的薄层,常规的晶体定向方法或由于腐蚀破坏作用(光散射法),或由于穿透深度过大(X射线術射法),或由于信息图案过于复杂(电子衍射法)都极难测定其晶向。拉曼光谱,由于其反映晶格对称性和穿透深度小的特点,曾作为薄层晶体的定向工具。鉴别了特殊晶向,利用拉曼散射光极值法则能测定任意取向的金刚石结构薄层晶向。

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常见的化合物,按照官能团的不同可以分为如下十大类,其红外光谱特征总结如下: 9. 卤化物,含硅、硼、硫、磷元素有机物 含有卤素、硅、硼、硫、磷等元素的有机化合物特征性较强,可同时参考表1-10中的伸缩振动和弯曲振动加以分析。再次强调,若要判定某个官能团是否存在,不能只看某一个特征峰,而应该是几个特征峰综合在一起进行分析。

常见的化合物,按照官能团的不同可以分为如下十大类,其红外光谱特征总结如下: 8. 双键、累积双键与三键 图1-28为庚腈的红外光谱图,其特征吸收为2247cm-1附近的C≡N的伸缩振动峰,由于该振动峰与C≡C或C=C累积双键的伸缩振动有重合,因此除2200cm-1的特征吸峰外,还应结合其他谱峰一起进行解析。表1-9中列出的是含有杂原子的双键、累积双键和三键化合物的类别及其主要官能团的特征吸收,可参考进行分析。

常见的化合物,按照官能团的不同可以分为如下十大类,其红外光谱特征总结如下: 7. 羰基化合物 羰基的吸收在红外光谱中很强,通常位于1800cm-1~1700cm-1之间,易于识别。然而不同物质的羰基吸收位置差别较小,若要判断物质类别的归属,需要同时参考其他振动峰,例如,庚酮、庚醛及庚酸的羰基伸缩振动峰均在1715cm-1附近(参见图1-23~图1~25)。

常见的化合物,按照官能团的不同可以分为如下十大类,其红外光谱特征总结如下: 5.醇、酚 醇或者酚的结构中均含有羟基,最特征的谱峰位于3330cm-1附近的羟基O-H强吸收峰,若是游离羟基,该峰为强尖峰;若存在分子间的缔合,则为中等强度的宽峰(如图1-21所示)。此外,醇或者酚中OH的弯曲振动以及C-O(H)的伸缩振动会在1400cm-1~1250cm-1区域以及1275cm-1~1100cm-1区域内产生较强的吸收(酚羟基的吸收峰波数会略高于醇羟基)。

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