瑞士Femto Tools纳米力学测试系统

公司简介：

FemtoTools是一家瑞士高科技公司，研发团队依托于瑞士联邦理工学院-机器人与智能系统研究所（ETH-IRIS）Bradley Nelson 教授课题组，为微纳米尺度的机械测试和机器人处理研发超高精度仪器，充分满足半导体技术、微系统开发、材料科学、微型医学和生物技术等领域的挑战性要求。FemtoTools的微机械处理和测量仪器配备高灵敏度的微力传感探头和力传感微钳，这是基于特殊开发的微机电系统（MEMS）的制造工艺成果。其产品及技术以创新系统的无与伦比的灵敏度和准确性重新定义了微米和纳米领域中精确定量研究的标准，迄今已获得多项重要奖项，包括瑞士技术创新大奖、国际机器人与自动化大会颁发的学术贡献奖（ICRA）等。FemtoTools主要产品有压力传感器探针、纳米移动平台和定位系统、数据采集控制系统等等，可以在光学显微镜、探针台或电镜环境下，结合其独有的微纳力学传感探针或微钳，对样品进行力学性能测试或微纳尺度的操纵。产品已经在生物与生物工程、材料科学、MEMS 表征、微型机械手臂、纳米技术等广为应用，不断为客户创造令人兴奋的新的可能性。

产品型号：

FT-MTA03

产品简介：

FT-MTA03微力学测试与组装系统是一款用途广泛的精密测试系统，其不仅能精确测试微纳米尺度样品的机械性能，而且能测量微纳结构的尺寸/几何形貌。FT-MTA03集纳米压痕仪、微拉伸仪、轮廓仪和多功能微结构分析仪的众多功能于一体。其测力范围为±200mN，力学分辨率达0.5nN（9个数量级），XYZ三轴位移测量范围从0.1nm至29mm（8个数量级）。FT-MTA03多样灵活的测试模式能满足用户各种不同的应用和要求，为微观结构分析提供了一套全面完整的解决方案。

功能特点：

多样的机械性能测试模式，例如纳米压痕、压缩/拉伸、弯曲、蠕变、疲劳和断裂测试

大高宽比样品的形貌扫描（接触力的分辨率为亚纳牛）

定量微纳米机械性能测试的同时可实时观测测试过程

力学测量范围为±200mN,力学分辨率为0.5nN（9个数量级）

位移测量范围为0.1nm-29mm（8个数量级）

自动三维扫描样品的机械性能和表面形貌

多样的测试角度（垂直、水平、各种角度测试）

基于MEMS紧凑设计的微力传感探针拥有极小信号偏移和高信噪比

多种微力传感探针尖端可供选择，如大长径比的钨针尖、球形尖端、金刚石Berko-vich三棱锥和圆锥形尖端

人性化的软件和直观的用户界面方便用户获取准确数据

用户可设计个性化的测量步骤和原理

硬件层面的力传感器保护模式，防止传感器过载

可兼容Femto Tools FT-S系列微力传感探针实现机械性能测试，也可兼容FT-G系列

微镊实现微结构的操作和组装

显微镜模块：

对微小样品进行力学测试或微操作要求工作距离大的高分辨率显微镜，从而保证微力传感探针或微镊工作的同时清晰观测样品，FT-MTA03微力学测试和组装系统的显微镜模块可围绕样品平面实现180

℃旋转，这样可以实现微力传感探针/微镊与样品的精确对准，同时避免探针或微镊阻挡显微镜的观察视野。显微镜模块配置有高性能数字显微镜，其具有95mm的极大工作距离，由光圈调节的大景深和300万像素的CMOS USB接口相机。显微镜可实现7：1的电动光学变焦和电动聚焦，其观察视野从9.5mm x 7.1mm到1.4mm x 1.0mm。根据样品反射率和观察角度的不同，模块配置有三种不同的LED照明方式：同轴透镜照明、环形光照明和漫射背光照明。三种照明方式可相互组合搭配来实现优异的图片效果。此外，有些测试应用需要附加设备，例如电探针来实现电学测试。为此，FT-MTA03的面板上留有M6螺孔，用于固定附加辅助设备。