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核心参数
仪器种类： 原子力显微镜
产地类别： 国产
定位检测噪声： x-y<0.15nm RMS,z=35pm RMS,典型成像带宽
样品尺寸： 直径<15mm,厚度<5mm
样品台移动范围： 180mm*180mm可视区域
HFM-HLI型可溯源原子力显微镜可将原子力探针与白光干涉结合，实现原子力探针扫描超精密表面微纳形貌和结构测量。
1.产品型号：HFM-HLI
2.产地：中国武汉
3.产品介绍：HFM-HLI型可溯源原子力显微镜可将原子力探针与白光干涉结合，实现原子力探针扫描超精密表面微纳形貌和结构测量。
4.技术指标：
型号 指标 | HFM-HLI |
垂直分辨率 (μm) | 1nm |
垂直范围(mm) | 3μm |
水平分辨率(μm) | 2nm |
水平范围(mm2) | 50μm╳50μm |
5.应用实例
（1）107.3±2nm NT-MDT TGZ标准纳米样板测试结果
（2）517.5±2.5nm NT-MDT TGZ标准纳米样板测试结果
（3）光刻二维光栅表面测量结果
型号 指标 | HFM-HLI |
垂直分辨率 (μm) | 1nm |
垂直范围(mm) | 3μm |
水平分辨率(μm) | 2nm |
水平范围(mm2) | 50μm╳50μm |
武汉红星杨科技有限公司（简称“红星杨科技”）是致力于光机产品制造商和系统解决方案提供商的创新型企业。
红星杨科技通过资源整合吸纳了包含高校和研究所在内的高端科研技术资源，为公司远景发展创造了坚实的基础；主营业务包含：精密位移平台、精密运动控制、光学平台、光学调整架、光机系统仪器、作物表型仪器、进口光机产品。红星杨科技将立足于光电产业，坚持高科技、高价值、高效益三大目标，打造实力品牌优势、系统优势和价值优势的知名光电企业。
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