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原子层沉积

品牌: --
产地: 其他
型号: AT650T/AT-臭氧发生器/AT650P/AT200M
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产品介绍

  • 占地面积小(38.1 厘米;15 英寸宽)台式等离子 ALD

  • Inchfab 紧凑型高效远程 300 瓦 ICP 源

  • 集成匹配网络

  • 可容纳直径为 6 英寸的样品,带有可选的可定制卡盘。

  • 带有 40 – 400°C 加热样品架的暖壁铝制腔室

  • 3 种有机金属前体可以加热到 185C,另外一种可以在标准条件下加热。

  • 多达 4 个氧化剂/还原剂源,每个都带有超快 MFC(2 个标准)


  • 具有超快 MFC 和集成惰性气体吹扫的高温兼容快速脉冲 ALD 阀

  • 静态处理模式可实现高曝光


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 1次线上培训
免费仪器保养:
保内维修承诺: 因产品质量问题免费保修各种消耗品除外仪器提供全面维护使之处于正常工作状态
报修承诺: 产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应除节假日外以最快的速度派遣
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其它常用设备AT650T/AT-臭氧发生器/AT650P/AT200M的使用方法?

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工商信息

企业名称

迈可诺技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

民营

信用代码

39982968-000-11-23-9

成立日期

2008-02-21

注册资本

139万

经营范围

通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务

联系方式
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