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SPM-FIB-SEM系统联用在集成电路失效分析中的应用
2019/01/19 15:22
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方案摘要：
产品配置单：
Nenovision原子力显微镜（电镜原子力关联）
型号： LiteScope™
产地： 捷克
品牌：
¥100万 - 150万
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方案详情：
SPM-FIB-SEM系统联用在集成电路失效分析中的应用
相关探针和电子显微镜（CPEM）是一种结合扫描电子显微镜（SEM）和扫描探针显微镜（SPM）的新技术。 集成电路中的目标层可以通过SEM和SPM在同一地点，同时和相同的协调下进行分析系统。CPEM图像包含表面形貌信息以及典型的SEM细节,SPM / FIB / SEM技术的集成显着简化了用于故障分析，质量控制和集成电路研发的去层过程.
质量控制，去层后的平面性,下图是晶体管接触层的SEM图像。
判定表面粗糙度
精确的SPM探针导航，深度剖析
SPM探针接近晶体管接触层。
晶体管接触层的SPM（AFM）图像，RMS粗糙度2.5纳米。
深度剖析
相关成像，表面表征
通孔层的SEM，SPM（AFM）和CPEM图像，RMS粗糙度为3.3nm。
3D逐层重建
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