LiteScope™是一种独特的扫描探针显微镜(SPM)。 它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜(SEM)中。 组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。使用LiteScope™及其可更换探针系列,可以轻松进行复杂的样品分析,包括表面形貌,机械性能,电性能,化学成分,磁性能等的表征。
相关探针和电子显微镜™(CPEM)结合了SPM和SEM技术。 CPEM可以同时在同一协调系统中同时获取同一区域的SPM和SEM图像。 结合SPM和SEM成像方法可以得到分析区域的更广泛的信息光谱,从而揭示两种图像中可能存在的等同性和不一致性。
将样品连接到压电扫描仪。 电子束焦点和SPM探针在CPEM图像采集期间仍然是。感兴趣的区域由压电扫描器逐点扫描并发出信号同时对SEM检测器和SPM探针进行采样,以便进行测量放在同一个协调系统中。 在SPM探针和该范围内的聚焦电子束之间存在恒定的探针/点偏移数百纳米。 如果减去这样的探针/点偏移,则SEM和SPM图像具有完美匹配和优异的相关性可以获取CPEM图像。
CPEM提供多维相关成像 - 来自扫描电子显微镜的图像被扩展为3D。
使用CPEM,可以快速准确地区分SEM图像中的地形和材料对比度。
CPEM以适当的方式将两个或多个SEM信号与测量的地形相关联,例如SE,BSE,EBIC等。
CPEM可以在相同的条件下同时测量AFM和SEM试样条件,相同的测量速度等
组合的AFM和SEM扫描系统可实现精确的图像相关,消除漂移和其他不准确性。
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