PECVD石墨舟为什么会导致色差？

随着全球对“双碳”目标的共识越来越高，绿色能源成为全球能源转型的重要方向，光伏产品的需求将持续走高。在光伏行业的蓬勃发展的背景下，晟鼎精密利用等离子技术，研发出国内首创等离子石墨舟干式清洗设备与工艺。

石墨舟干法等离子清洗可用于去除石墨舟表面的氮化硅镀层，提高硅片的转化效率和生产良率，为光伏行业带来了重要的创新和进步。

石墨舟清洗的必要性

石墨舟是什么？在光伏电池片制程中，硅片会进行氮化硅镀层，氮化硅膜具有减反射作用和钝化作用，能提高硅片的太阳能转化率，而硅片在PECVD过程中会用到了石墨舟作为工装载具。

石墨舟作为镀膜工序中硅片的载具使用，表面也会被沉积上氮化硅薄膜,膜层厚度积累到一定程度会影响到硅片的镀膜工艺。

例如：

①局部氮化硅膜脱落，引起舟的表面状态发生变化；

②氮化硅膜很厚会引起舟的导热性能发生变化，局部过厚会引起镀膜不均匀及色差片的产生。使用一定次数后需要定期清洗去除表面的膜层。

石墨舟传统湿法清洗的五大弊端

目前清洗石墨舟采用的都是传统湿法清洗工艺，但现有湿法清洗技术存在五大弊端：

①清洗时间过长

湿法清洗一个石墨舟直到烘干需要16-20个小时左右，清洗效率低，石墨舟流转缓慢，需购买较多的石墨舟用于周转；

②成本高

成本主要包含①化学品费用；②能耗费用和纯水费用；③ 人工费用；④因为清洗时间长，企业一般要多买实际用量的2倍左右的石墨舟参与周转;

③HF挥发性强，强腐蚀及剧毒，作业安全要求高，人体危害及环境破坏大。

④HF对陶瓷配件腐蚀快，一般需要对舟体拆解后分开清洗，工程量大；

⑤清洗流程长，设备占地面积大；

石墨舟干法清洗的优势

基于传统石墨舟湿式清洗工艺的诸多缺点，晟鼎利用等离子技术，研发出国内首创等离子石墨舟干式清洗设备与工艺。

技术创新是产品发展的内核，晟鼎11年以来一直专注等离子技术的研发及应用开发，结合行业发展，在新领域的不断拓展，石墨舟干法清洗方式也将在光伏行业中发挥更大的作用，为行业的绿色转型贡献更多力量。