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核心参数
产地类别: 进口
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硅片厚度测量仪(SIT-200)由精确可调激光光源,聚焦传感器,光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上,由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案,经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。
产品特点:
l 全光学,非接触硅片厚度测试
l 高动态范围测量粗糙表面
l 湿法刻蚀过程中实时测量
高灵敏度 高精度 快速测量 远程控制
结构示意图
SIT-200
产品参数:
测量目标
硅片
测量厚度
10-500μm
光源
1515-1585nm扫描
功率
0.6mw,Class1
指示光源
红光,Class1M
测量时间
20ms
重复性
0.1μm
输出监控
干扰信号(电学)
PC接口
网口
供电
100-240V,50/60Hz
尺寸
364 x 147 x 391mm
重量
9kg
企业名称
上海屹持光电技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310113001436435
成立日期
2015-11-19
注册资本
100
经营范围
从事光电产品、机电设备、机械产品、电子元器件、计算机网络领域的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;激光设备、通讯器材、机电设备、机械设备、电子产品、计算机相关设备、软件的销售;从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
公司地址
上海市闵行区剑川路955号707-709室
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公司名称: 上海屹持光电技术有限公司
公司地址: 上海市闵行区剑川路955号707-709室 联系人: 薛经理 邮编: 201108
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