一.激光干涉仪概述
SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组与激光配合,得到不同的干涉信号,然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据,将数据通过计算机进行显示和动态分析。
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,而且及时处理数据,为机床误差修正提供依据。
二.激光干涉仪原理
中图SJ6000激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
![6000-5.jpg](https://img1.17img.cn/17img/images/201601/uepic/59cbb326-2247-4618-a915-becfa625385f.jpg)
三.激光干涉仪用途
1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线,为机床的修正提供可靠依据。
2.激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、 平行度、垂直度等形位误差,在现场使用尤为方便。
3.激光干涉仪可方便地安装在测长机上,取代原测长机的坐标系统,作为一般计量室中的长度基准。
4.激光干涉仪又是一种高精度的位移传感器,可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统,使定位精度大为提高。
5.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能,仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作。
6.激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高精度长度—角度比相计,可作为机床传动链,丝杆螺旋线等误差的测量系统。
![3.jpg](https://img1.17img.cn/17img/images/201601/uepic/330d3073-850b-447e-8527-36f9540d2d3c.jpg)
![检测机床.jpg](https://img1.17img.cn/17img/images/201601/uepic/f1723e3f-a752-4b62-8457-581c30738bad.jpg)
四.激光干涉仪维护说明
1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动 时,应托住底座,以防导轨变形。
2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。
3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分,应用T5精密仪表油润滑。
4、使用时,各调整部位用力要适当,不要强旋、硬扳。
5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀,用毕后,仍保持不失油状态。
6、 经过精密调整的仪器部件上的螺丝,都涂有红漆,不要擅自转动。
五.SJ6000激光干涉仪技术参数
![参数1.jpg](https://img1.17img.cn/17img/images/201601/uepic/e63bc497-cbf8-4935-9195-9eae5b8b8a28.jpg)