简介:
激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的一种计量测试方法,是公认的高精度、高灵敏度的检测手段,在高端制造领域应用广泛。
中图仪器SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组与激光配合,得到不同的干涉信号,然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据,将数据通过计算机进行显示和动态分析。
![SJ6000new1-500.jpg](https://img1.17img.cn/17img/images/201607/uepic/00384409-741f-40db-931e-e90abd5108c2.jpg)
功能:
中图仪器SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,而且及时处理数据,为机床误差修正提供依据。
![检测机床.jpg](https://img1.17img.cn/17img/images/201607/uepic/453401ed-c65a-4a64-8f78-7d80dad4ad2c.jpg)
性能特点:
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3 软件界面友好
① 使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
技术参数:
系统性能
2 测量方式:单频
2 稳频精度:0.05ppm
2 动态采集频率:50 kHz
2 预热时间:5-10分钟
2 工作温度范围:0~40℃
2 环境温度范围:0~40℃
2 存储温度范围:-20℃~70℃
环境补偿示值误差
2 空气温度传感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
2 材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
2 空气湿度传感器:±6% (0-95%)
2 大气压力传感器:±1mBar (650-1150mbar)
线性测量
2 测量距离:0-40m
2 测量精度:0.5ppm (0-40℃)
2 测量分辨率:1nm
2 测量最大速度:4m/sec
角度测量
2 轴向量程:0-15m
2 测量范围:±10°
2 测量精度:±0.6%R±0.5±0.1M μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)
2 测量分辨率:0.1μm/m
直线度测量
2 轴向量程:0.1-4.0 m
2 测量范围:±2.5 mm
2 测量精度:±0.5% R±0.5±0.15M2 μm(M为光学镜移动距离,单位:m)
2 测量分辨率:0.01μm
垂直度测量
2 测量范围:±3/M mm/m
2 测量精度:±0.5% R±2.5±0.8M μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)
2 测量分辨率:0.01μm/m
平面度测量
2 轴向量程:0-15 m
2 测量范围:±1.5 mm
2 测量精度:±0.6% R±0.02 M2 μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)
2 测量分辨率:0.1μm
回转轴分度精度测量
2 角度测量范围:0-360°
2 精密转台角度增量:5°
2 精密转台分度精度:±1秒
2 精密转台重复性:0.2秒