200mm焦距四光栅光谱仪

衍射单元

单一的可手动更换光栅的位置支架

单一的可手动更换光栅的位置支架

四光栅塔轮

四光栅塔轮

光学系统

标准

像散补偿(成像）

标准

像散补偿(成像）

光学设计

C-T非对称光学结构

接口

1个输入，2个输出

波长范围

185nm-60μm

F/#（入射）

1/3.6

焦距（出射）

200mm

扫描范围

0-1300nm（@ 1200l/mm）

基础镜片

球面镜

散射光

3×10^-5（20nm@激光波长632.8nm）

焦平面

26×10mm

成像（仅限于MS2001i和MS2004i）

水平放大

1.18

垂直方大

1.48

垂直空间分辨率

< 40μm

驱动

马达

微步进电机

驱动

蜗杆

步长

1.62 角秒

精度

±1 步长

最大速度

10 000步长/秒

光学参数

色散倒数

4.12nm/mm

光谱分辨率

PMT(狭缝宽度10μm）

0.11nm

数码相机（14μm/p）

0.12nm

重复性

±0.036nm

波长精度

±0.122nm

平均扫描步长

0.012nm

光栅

尺寸

40×40×6mm

旋转

光栅工作表面

定位

4光栅塔轮或1光栅支架

光栅切换波长重复性（光栅1200l/mm）

±0.03nm（@4光栅）

光栅切换垂直成像重复性

±40μm（@4光栅）

光栅切换波长重复性（光栅1200l/mm）

±0.05nm（@1光栅）

光栅切换垂直成像重复性

±40μm（@1光栅）

接口

入/出射口

1个输入，1或2个输出

出射口重复性（自动）

±0.03nm

切换时间

5s

光谱狭缝

宽度

自动（马达驱动）或手动（千分尺）

平行度

0-20mm，±1μm

精度（缝宽 1mm）

±10μm

重复性

±1μm（±1.5μm@手动）

读出精度（千分尺）

2μm

步长

2 μm

高度

0-10

集成快门

透光率（快门关闭）

<0.001%

开关时间

约100ms

最大重复频率

1Hz

控制系统

内部控制

板载CPU

外部控制

PC

外部接口

RS-232

尺寸重量

外观尺寸

300×200×160mm

重量

9kg （标准配置）

单色光谱仪

单色光谱仪

单色光谱仪

单色光谱仪

光学结构

切尔尼-泰纳

切尔尼-泰纳

切尔尼-泰纳

切尔尼-泰纳

输入/出口

1 输入

1 输入

1 输入

1 输入

2 输出

2 输出

2 输出

2 输出

波长范围

185 nm – 60μm

185 nm – 60μm

185 nm – 60μm

185 nm – 60μm

F/#

1/3.6

1/3.8

1/5.4

1/8.9

焦距（mm）

200

350

520

750

光栅尺寸（mm）

40 х 40 х6

70 х 70 х10

80 x 70 x 10

80 х 70 х10

杂散光（20nm，632.8nm波长）

3 x 10^-5

1 x 10^-5

1 x 10^-6

5.5 x 10^-7

焦平面尺寸（mm）

26 х 10

28 х 10

28 х 10

28 х 10

水平放大

1.18

1.09

1.07

1.05

垂直方大

1.48

1.49

1.29

1.125

垂直分辨率

< 40 μm

< 35 μm

< 20 μm

< 15 μm