MKS-MultiGas 2032-实时在线高纯气体分析仪

MultiGas^TM 2032气体纯度分析仪是一款傅立叶变换红外光谱气体分析仪，能够精确分析大宗高纯度气体(如NH3,NF3 SiF4,H2)在批量生产过程中的杂质气体。MultiGas^TM 2032由一个高灵敏度的红外光谱气体分析探测器，高光通量且内壁抛光的采样单元和专用的气体分析软件组成，同时集成了进样气体的自动烘焙功能，所以对于大宗气体的杂质分析可以提供无与伦比的精度和准确性。

特点与优势

• 大宗工艺气体的实时在线纯度分析；

• 对于NH3,NF3,SiF4和H2等大宗工艺气体，可以跟踪探测ppb级别的杂质气体；

• 气室可以适用于具有腐蚀性的高纯气体；

• 专业化自动零点校正功能和自校准软件系统；

市场应用案例：

• 高纯NH3中的杂质气体分析，如：H2O, CO, CO2, N2O and CH4

• 高纯NF3中的杂质气体分析，如：H2O, CO, CO2, N2O and HF in NF3

• 高纯H2中的杂质气体分析， 如：H2O, CO, CO2, HF, HCI, NH3, CH2CI2 and CHCI3

• 高纯N2O中的杂质气体分析，如：H2O, CO, CO2, CH4, and NH3