KSI 9300系列隔振平台设备

9300系列隔振平台设备

特点/优势

l  空气悬挂垂直隔振Air suspension for vertical isolation

l  钟摆式悬挂增强水平隔振

l  优秀的阻尼

l  刚性阻尼平台

l  相比设备名义高度增高4.5"

l  自动水平校准

l  超低固有频率

l  许多标准仪器的预制设备

l  客户可自定义形状，图样和切口

l  提供灵活布局

BaseMate系列9300隔振平台是为较大型设备提供灵活多样的隔振选择而设计的。通过16个经过时间考验的设计模块，可以根据客户的应用需要找到最完美的配置方案。BaseMate平台系统相比于其他地基平台系统具有无法比拟的有时候。

BaseMate设计特点是通过一个二级平台摆锤专利技术和空气耦合系统结合，提供全方位的隔振控制。第一平台，是一个低刚度/高性能主动空气水平支持系统，具有极低的垂直固有频率，已达到最大化垂直隔振。第二平台使用三线摆组合装置与空气耦合系统联动使用，提供稳定的隔振源，达到极低的水平固有频率。二者结合黏滞阻尼，最大化隔振效率。由于BaseMate的摆锤组合装置去掉了其他厂家都采用的边角垂直提升，其产生的共振被消除，所以能够立即达到最好的隔振效果。

为了方便和稳定性考虑，自动水平仪和高度控制合并在一起。标准的BaseMate平台是一个3”厚的刚性阻尼环氧复合“三明治”，其中1/2英寸厚的上下两个钢板，中间夹着2英寸厚的具有我们独家的技术的约束阻尼垫层。

刚性可以与3英寸厚的固体钢板相比较，但是重量只是钢板的1/3，同时阻尼效果更优秀。平台的结构增强了非刚性较大仪器的基底，降低重心高度，以增强稳定性。更大尺寸的平台（7英尺以上）和其他设计的平台，可以提供更厚的平台（4英寸到6英寸）可选非磁性材料装配和Class10级无尘清洁室安装。标准的毛载重可达25,000lbs（11,330kg），能使BaseMate完美的适配大多数仪器的解决方案。

典型应用

 SEM，TEM， CMM，光刻机，掩模对准系统等设备

配置

三维

性能

注：典型的性能表现是微扰动下