艾里卡特 - MCD系列双向质量流量控制器

您从未见过的流量控制！

Alicat 隆重推出全球首款双向质量流量控制器，可正向或反向控制流经气体的流量，或用于控制密闭系统内的流量而无需额外排气阀。

通用性最强的流量控制器

• 双向测量气体的质量流量、体积流量、绝对压力和温度

• 控制来自压缩气体或真空泵的气体的质量流量或体积流量

• 控制流经气体的绝对压力或背压

• 控制密闭系统内绝对压力(自带排气)

设备参数：

• 可控制从-0.5 ～ +0.5 SCCM 到-3000 ～ +3000 SLPM的满量程的任何流量，量程可调比为200：1

• 精度&重复性：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)   (注：该处F.S.为双向满量程之和)

• 控制响应时间：＜100毫秒

• 最大入口压力：145 psig (MCD & MCDS)、50 psig (MCDW)

• 2.1″ 英寸单色数字显示屏(可选配TFT背光彩色显示屏)

产品优势：

操作简单

MCD系列双向质量流量控制器操作极其简单。用户可通过多功能数字显示屏调节参数，无需连接电脑或其它任何复杂的编程软件。

精确控制

MCD系列双向质量流量控制器的精度为±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)。

高重复性

Alicat 的专利技术使得质量流量控制器几乎没有可移动部件，所有零件都被内置固定，腔体内不存在物理变化，从而具有较高的一致性和重复性。MCD系列双向质量流量控制器的重复性可达±0.2% F.S。

高性价比

MCD系列双向质量流量控制器本身耗电极小，从而降低了系统运营的成本。相比与同类产品，Alicat 产品压损相对较小，降低压损意味着更多气体进入到系统中，而不是停留在测量&控制设备中。除质量流量外，MCD双向质量流量控制器还可同时测量体 积流量、压力和温度，您无需另外采购和安装其它设备。

反应灵敏

测量响应小于10毫秒及控制响应100毫秒使Alicat 质量流量控制器成为目前市场上反应最灵敏的质量流量控制器之一。

性能卓越

Alicat 质量流量控制器可测量与控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量，配有多种模拟信号输出&输入，使用累加器(TOT)功能可显 示流经气体总量，是监控整个应用过程及减少气体浪费的最有效的方法。该系列控制器也可用于出口端要求为真空的应用，模块化设计使之可用于真空驱动的系统 中。

值得信赖

艾里卡特质量流量控制器主要应用于医药、半导体、燃料电池、如：科学研究、泄漏测试、环境 监测、真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量&控制等。所有Alicat 设备均具有NIST可溯源校准证书。