SmartWLI 便携式白光干涉三维轮廓仪

测量系统

量测原理    

白光干涉

Z轴定位系统

压电效应调节系统

高度量测范围

最大可达400 μm

干涉物镜系统

放大倍数

10×

20×

视场范围（μm2）

480 × 360

320 × 240

最小可分辨横向宽度（μm）

1.20

0.90

工作距离（mm）

7.4

4.7

注：上述数据皆为估算值。

垂直分辨率

小于1 nm

光源系统

LED

外观尺寸

270  mm（高）× 127 mm （宽） × 165 mm（长）

毛重

3 Kg

约值，取决于具体配置。

操作界面

笔记本电脑、Windows 7操作系统、DVD刻录。

量测时间

通常小于1分钟

软件系统

SmartWLI

基于微软Win7操作系统，64位表面形貌测量软件、三维数据可通过接口直接传输至MountainsMap®分析软件。

MountainsMap®

三维数据分析软件，轮廓及三维影像结果输出、测量数据预处理及后处理、德标（DIN）欧标（ EN） ISO标准粗糙度及高度测定、串行处理及测试日志。

输出文件格式

ASCII,  SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF