3D打印 | 增材制造正在引发产业变革什么是 3D 打印？典型的 3D 打印自 20 世纪 80 年代出现，当时称为快速成型。如今，3D 打印（也称为“增材制造 - additive manufacturing”）正在引发整个产业的变革。在家打印零配件不再仅仅是愿望，而已成为现实。今后，利用这种技术将有可能避免供应链的产生，从而对环境发展作出积极贡献。典型的 3D 打印通常是把塑料逐层堆积形成的。这种工艺流程被称为挤出，在这个过程中，塑料被熔化，然后层层堆积。然而，目前市场上的工艺流程众多，这只是其中之一。尤其是在工业上，经常使用其他工艺，使增材制造得以使用其他材料。它们的共同点是，材料是层层堆积的。这样就可以生产复杂的三维形状，而这些形状用其他机器的话很难或不可能进行制造。现在，利用一种增材制造工艺，还可以用金属粉末制造部件。这样就避免了对金属块工件进行铣削、车削、钻孔或切割等耗时费力的工作。优势显著：这种工艺可以生产出传统金属加工工艺因为技术或经济原因无法生产的复杂部件。最后但同样重要的一点就是，时间可以大大缩短。用金属粉末生产 3D 打印部件的一种特殊方法是电子束熔融(EBM)，在这种工艺里，真空技术必不可少。图 1：EBM 3D 打印机 Q10© 由 Arcam AB 提供3D打印 | 电子束熔融(EBM)电子束熔融(EBM)电子束熔融(EBM)是一种增材制造技术，其产品由金属粉末制成。这种工艺与选择性激光熔融(SLM)类似。两种熔融工艺的主要区别是能量源，电子束熔融的能量源是电子束而不是激光束。这就是为何这种工艺只有在真空中才能实现的原因。下图显示了一部 Arcam EBM 3D 打印机的结构示意图。EBM 系统主要由电子束枪、电子束柱和形成元件的制造室组成。电子束枪里含有一根细丝，通常是钨丝。电子束就是在这里生成的。电子束柱由三组电子透镜组成：消象散透镜、聚焦透镜和偏转透镜。电子束柱的任务是校正电子束形状并调整电子束焦点。它还用作偏转单元。制造室设计成真空室，因为需要真空条件。制造室里包含存储金属粉末的储粉舱、取粉器和工作台。除了取粉器系统或垂直移动的工作台，制造室里没有移动部件。图 2：Arcam EBM 系统，略图© 由 Arcam AB 提供图 3：金属粉末逐层熔化工艺流程如下：钨丝在真空下加热至 2500°C 而发出电子。电子通过电磁体加速，然后以光速的一半聚焦并投射到粉末表面。这会引起粉末颗粒升温，因而选择性地熔化一层薄薄的金属粉末。一层成型后，工作台就一次下降一层高度，然后粉末床上重新铺满来自储粉舱的金属粉末。组件在粉末床上一层接一层地堆积成型。一旦打印流程完成，就可以把部件从机器里取出，并去除多余的粉末。复杂形状和悬垂部分需要支撑结构，因此所有组件都固定在升降台上。打印完成后，这些支撑必须去除。之后，可能需要进行表面处理，如抛光。在某些情况下，可能还需要在烤箱中固化以消除打印过程中出现的应力。相应地，这种热处理有时在真空炉中进行，例如当使用热等静压时。电子束熔融的特性EBM 工艺流程具有多种优势。主要优势之一就是，能够用具有较高熔点和高活性的材料实现高度复杂的几何形状。因此，钛合金和钴铬合金通常用于 EBM，但也使用其他合金，如 Ti6Al4V、ASTM F75 或合金718。因此，与原有金属相比，打印产品的机械、动态和化学性能相同甚至更好。图 4：用于 3D 打印的金属粉末；通常用钛合金和钴铬合金© 由 Arcam AB 提供特别是用钛进行的打印，为增材制造开辟了新的应用。一般来说，EBM 流程是一种“热”流程。粉末在工艺流程之前就加热，从而减少了部件变形和对支撑结构的需求。此外，在真空下打印部件还可以防止在热金属中形成气泡。这种脱气效果会使打印部件的金属层非常均匀。真空的另一个积极作用，也因此成为 EBM 的优点，是可以防止熔融金属粉末的氧化。因此，粉末在加热时不会锈蚀或生锈，在打印过程结束后可以直接回收大量非熔化粉末。因此，这种工艺流程非常令人感兴趣，特别是对于航空工业。相比 SLM，这种工艺的优势之一是打印速度。通过分裂电子束，可以同时在多个位置熔化粉末，从而加速打印过程。这一点之所以能实现，是因为电子束的偏转率极高(> 1,000 m/s)。然而，可实现的部件尺寸较小，最大直径为 250 mm，高度为 380 mm。精确度与精密度也低于 SLM 工艺，因为与激光束相比，电子束的宽度稍大。但是别忘了，EBM 能够加工高活性材料，而 SLM 做不到。EBM 工艺流程的特点如下：■ 最大建构尺寸：350 x 350 x 380 mm■ 最小建构尺寸：0.1 mm■ 精确度+/- 0.2 mm（可通过后续精加工提高）■ 最小层厚：0.05 mm■ 典型表面质量：203 - 25.4 μm RA（可通过后续精加工提高）■ 密度：高达 99.9%图 5：用金属粉末制造的 3D 打印飞行器涡轮发动机图 6：用 EBM 打印的植入物示例对真空的技术要求EBM 工艺中的真空有多种用途。首先，它可以防止氧化，避免产生气泡。其次，电子束枪产生电子束以及精准熔融工艺也需要真空。如果电子束与气体粒子碰撞会发生偏转，而在真空中则不会。这里的决定性因素是高平均自由程长度，它与压力的降低成正比。因此，需要极高的极限真空才能实现高平均自由程。对于 EBM 工艺，需要低于5 · 10-5 mbar 的高真空。当更换组件的时候，需要尽可能快的抽真空时间以缩短准备时间。在打印过程中，向部件注入分压为 4 · 10-3mbar 的氦气以确保环境清洁且受控。这一点对于满足组件构建材料的化学要求很重要。一般来说，真空设备应对灰尘和颗粒不敏感，具有良好的耐热性。EBM 的应用领域EBM 工艺对于用高活性材料进行打印尤为重要，这些材料往往还需要生成复杂的几何形状。其中一种合金金属是 Ti6Al4V，这种合金由于比强度和良好的耐腐蚀性，在航空航天工程领域具有很大的价值。由于生物相容性良好，这种合金也做成假肢和植入物，越来越多地用于医疗技术。钛合金还有 TiAl 等其他牌号，此外植入物医疗技术以及牙齿修复体还常常用到 CoCr。CoCr 具有高刚度和耐磨的特点，并且具有生物相容性。通过使用 3D 打印，植入物或假体可以精确适应患者的特定要求。图 7：髋臼杯，人工髋关节的一部分© 由 Arcam AB 提供用于电子束熔融的产品组合普发真空针对电子束熔融提供全系列的产品组合。产品包括用于对制造室和电子束枪抽真空的前级泵和高真空泵、用于测量从大气到高真空压力的真空计（可选装校准设备）、定制真空腔室、连接真空部件的阀门和法兰组件以及用于定位泄漏的检漏仪。设计普发真空向客户提供大力支持，为 EBM 打印机设计全套真空系统。支持的内容包括提供特定尺寸的前级泵和高真空泵，并对所需其他部件提供建议。设计时考虑到了泵的特性、管道造成的流失、内部腔室表面的泄漏和解吸效应。在设计过程中，使用了专门为此开发的先进计算程序。3D打印 | 抽真空制造室抽真空制造室在通入氦气之前需要达到低于 5 · 10-5 mbar 的极限真空，而整个打印过程中都要设定 4 · 10-3 mbar 的持续过程真空度。根据制造室的体积，可以制定不同的高真空和前级泵组合。在选择高真空泵时，也必须考虑到解吸率。原因是：气体分子（主要是水）与制造室的内表面以及金属粉末结合，在真空下会逐渐释放。表面的解吸率导致气体的积累随着时间的推移而减少。要达到的极限真空越高，解吸的影响就越大。解吸对抽真空时间有负面影响，在设计过程中考虑到这一现象很重要。作为用作这一用途的高真空泵，HiPace 涡轮分子泵系列产品已经成熟。该系列泵用于 EBM 工艺的优势在于：■ 尺寸紧凑■ 振动极低■ 抗尘性能优良■ 极限真空高■ 可靠■ 使用寿命长■ 运营成本极低■ 性能出色■ 输送压力相对较高普发真空涡轮分子泵的抽速介于每秒 10 到 2,700 升之间。这种泵经济性和灵活性高，令人印象深刻。泵的轴承系统久经考验，可靠性高，而且普发真空涡轮分子泵有两种不同的轴承系统可以选择：复合轴承，一种在前真空侧的陶瓷球轴承和在高真空侧的永磁径向轴承的组合；还有主动的磁轴承，其转子运转过程中没有任何接触或磨损。转子设计精密，具有高抽速、临界前级压力和气体吞吐量值以及优良的轻气体压缩值。特别是带复合轴承的 HiPace 700，在制造室抽真空方面久经考验。为了在所需时间内达到合适的前级真空压力以打开涡轮分子泵，需要适当规格的前级真空泵。普发真空可提供咨询，帮助客户选择正确的前级泵。EBM 工艺中的典型前级泵要求如下：■ 适应全球电压，理想情况下是单相■ 低噪音水平，提供理想的工作环境■ 更换组件时，泵送速度高、周期短（通常为 10 l/s）■ 运营成本低（拥有成本）- 维修间隔时间长- 低功耗（待机模式）普发真空可以提供旋片泵作为后备泵，或者如果需要无碳真空的话，则提供涡旋泵。产品概览3D打印 | 抽真空对电子束枪抽真空涡轮分子泵通常用于电子束枪，在高真空范围内产生并保持压力。由于电子束枪的抽真空过程对时间通常要求不严格，因此使用中小型涡轮分子泵（HiPace 80 或 HiPace 300）。也可以将小型前级泵（如旋片泵、涡旋泵或多级罗茨泵）用作前级泵。电子束枪的一个关键点是磁场。磁场会受复合轴承和相关的单边磁悬浮轴承的负面影响。为了尽量减少这种影响，可以用 HiPace 系列的特殊版本。HiPace Plus 系列通常用于电子显微镜，磁场低、振动极小，令人印象深刻。由于磁悬浮轴承经过改进，电机内部有屏蔽且杂散磁场低，因此磁场极为有限。这样，泵对敏感设备的影响就降低了。此外，该系列泵还有特殊嵌入的轴承，可大幅度减少振动。图 8：HiPace Plus3D打印 | 真空测量真空测量为了测量制造室和电子束枪的压力，坚固而可靠的 RPT 200 型和HPT 200 型真空计组合（压电/皮拉尼变送器和皮拉尼/贝阿德-阿尔珀特变送器），作为普发真空 DigiLine 系列产品的一部分，已经在实践中得到证明。数字信号转换使测量误差降低，系统集成更加轻松。电子束不受磁场干扰。坚固、紧凑的压电/皮拉尼变送器（普发真空 RPT 200 DigiLine）通常用于测量高真空泵的前级真空压力。为此，主要使用 DigiLine 系列带有 Profibus 信号输出的真空计。此外，普发真空还提供一系列其他接口，从而满足客户对控制信号的要求。产品概览3D打印 | 校准校准为了确保真空测量的准确性和可重复性，以及长期的工艺稳定性，必须定期校准真空计。由于传感器存在污染颗粒或冷凝物以及长期使用引起的老化，测量信号可能会发生变化。因此，校准是质量保证的一个必要组成部分，其中对测量仪器的测量信号与参考真空计的信号进行了比较。参考真空计。标准真空计必须由经过认证的实验室进行校准（例如，德国认证的 DAkks [Deutsche Akkreditierungsstelle GmbH = 德国认证机构]、美国 NIST 认证）并且可以追溯到国家标准。工厂和 DAkkS 校准普发真空提供工厂级别和 DAkkS 认证级别的校准服务。校准按照高质量标准进行，并符合 ISO 3567 标准。记录的测试条件和差异记录在发布的校准证书中。普发真空校准系统当使用大量真空计时，直接内部校准比外部校准更具成本效益。为此，普发真空提供专门开发的校准泵组，有基本和专业型号。这些系统包含一个集成的涡轮分子泵组，以提供准确零点调整所需的压力。符合 ISO 3567 标准的真空室可确保均匀的压力分布，并确保真空计在相同高度处对称排列。进气口和泵输入口也位于对称轴上。使用普发真空校准系统和相应的参考真空计，可以轻松进行校准，特别是在与冷冻干燥相关的压力范围内。*校准证书样例产品概览3D打印 | 泄漏检测泄漏检测在 EBM 工艺中，要达到所需的极限真空并保证过程中的真空度，需要良好的泄漏密封性。特别是在高真空内，即使是小泄漏也会阻碍真空度的达到。对于 EBM 系统，累积泄漏率小于 1·10-5 mbar 是最低要求，这样系统制造商才可以保证不会因系统泄漏而出错，并且在客户工厂里不会发生任何后续错误。普发真空提供各种配置的氦气检漏仪，用于检测所需的泄漏率。氦气检漏仪检测灵敏度高、测试时间短且易于操作，是泄漏定位的理想选择。测试可以通过多种方式执行。一种方法是将系统抽真空并用喷枪从外部、密封点、焊缝和其他潜在泄漏处喷吹氦气。如果有泄漏，氦气会流入抽空的真空室，然后被检漏仪吸入并检测到。为了实现较短的响应时间，大型系统对现有真空系统用分流的方式使用检漏仪。另一种方法是嗅探测试。在这里，系统用氦气等示踪气体加压。然后，嗅探器探针经过系统。发生泄漏时，检漏仪会发现逸出的示踪气体，进而确定泄漏的位置。由于氦气通常在 EBM 工艺中添加，因此无论如何，这种方法也可以用来保证氦气的供应。如果终端客户不仅打算测试系统，还要测试打印的组件是否泄漏，则建议采用累积检测法。在这种情况下，将组件充满示踪气体，然后放置在真空测试室里。如果发生泄漏，示踪气体将从部件中逸出到测试室，并被检漏仪检测到。普发真空的 ASM 340 是一款功能强大且普遍适用的检漏仪。紧凑便携的 ASM 310 适用于是移动应用，例如供服务工程师使用。产品概览普发真空服务我们的服务 – 您的优势每家客户对产品都有特殊要求，并且这些要求可能还会受到特定应用的参数影响。我们灵活的维修服务方案以预防性维修服务为重点，为您提供恰到好处的解决方案。备件 – 原装零件可延长预期使用寿命 普发真空的备件和工具早在产品开发阶段即可确定。这可确保其量身定制的适用性及品质。我们量产产品的每项改进也都会纳入备件中。这意味着每次完成等级 3 维护或维修之后，产品都将处于新技术水平。咨询 – 协助您解答问题除了我们的个性化方案和备件的高质量外，我们的员工及个人化的联系方式更使我们的服务与众不同。技术支持 – 专家权威咨询由于涉及我们产品的事项并不都是不言自明的，而购买前后也都可能出现疑问，为此有普发真空技术支持为客户提供帮助。我们团队的每一名成员都专精于我们产品组合的某一领域，从而能够在产品相关技术问题上为客户提供有力帮助。我们的团队还与我们的开发人员和应用专家紧密合作。现场服务技术人员从调试新的真空组件和系统到故障排除，再到维护及维修，我们为客户提供全面的现场服务。我们的服务驻地可确保在紧急情况下与客户保持联系并提供快速帮助。服务协议 – 根据您的项目单独定制我们提供针对特定项目的服务协议，以便我们的客户对维护或服务干预措施做好长期计划。这些协议既可事后订立，也可早在项目规划阶段便确定。为了顾及客户各不相同的需求，协议既可包括我们提供的全部服务，也可选择部分服务。部件和阀门 | 真空系统中的连接您的优势和好处真空系统是由各种单独零部件组合而成的统一单元。而普发真空所提供的不只是标准解决方案。部件可以修改以满足您的要求，定制解决方案更可配合您的需求。■ 将有直接联系人负责您和您的项目■ 主动支持和权威咨询■ 使订购更加方便■ 交货周期短■ 交货可靠性高■ 供应安全性高■ 库存超过 50 万件■ 上线时间长■ 节省成本 - 无需自行库存■ 真空部件网店有售■ 随时方便地在线订购■ 为您提供关于价格、交货时间和条款的信息仅限中国大陆定制真空室 | 针对您的真空应用单独设计的真空室由于我们多年的经验，我们熟悉几乎所有可能的任务，并且可以就系统规格、设计和施工提供专业指导。我们的物理学家、设计师、项目经理和生产专家，在一切细分市场的许多应用中都具有丰富的经验。任务基于您的需求：我们通往成品的起点，形式涵盖草图到完整蓝图。我们提供一站式真空解决方案普发真空代表着为客户在世界范围内提供创新的、定制化的真空解决方案，出色的技术，全方位的支持和可靠的服务。完整的产品线从一个配件到复杂的真空系统：我们能提供完整的产品线和技术服务。理论与实践的精妙结合得益于我们的专业技术和完善的培训体系！我们提供给您完整的生产技术提升方案和全球统一的出色的现场服务。

► 欧洲最大的用于真空组件的零部件仓库之一► 客户特定的真空室与真空解决方案► 应用于国内外各种行业阿斯拉尔，2022 年 10 月 10 日。今年，德国哥廷根基地的Pfeiffer Vacuum Components & Solutions GmbH庆祝其成立 25 周年。该公司拥有欧洲最大的用于真空组件的零部件仓库之一。除了标准真空室外，专家们还提供客户特定的真空室和真空解决方案，其所具功能广泛并采用先进技术制造。占地总面积12,660m²以上，约有140名员工致力于公司的成功。“ 让我们感到自豪的是，我们公司近年来不断开发并投资于新技术。尤其是近两年来，许多重大项目赢得了国内外客户的青睐。我们的产品被应用到许多令人兴奋的领域。  例如，半导体芯片的制造、空间模拟系统、能量存储、氢气罐或用于检测指纹的法医系统。——Guido HamacherPfeiffer Vacuum Components & Solutions销售董事总经理”Pfeiffer Vacuum Components & Solutions是Pfeiffer Vacuum Technology AG的100%子公司，主张创新的真空技术、高质量标准和优质的客户服务。普发真空在全球拥有3500多名员工，拥有10个生产基地和20多家销售和服务公司。Pfeiffer Vacuum Components & Solutions GmbH的前身为Trinos Vacuum Systems GmbH，是一家成立于1997年的真空组件贸易公司。2010 年，Trinos Vacuum Systems被普发真空集团收购，并自此逐步融入普发真空集团。2017 年，被更名为 Pfeiffer Vacuum Components & Solutions GmbH。▲ 位于哥廷根的 Pfeiffer Vacuum Components & Solutions GmbH▲ 在焊接领域的核心竞争力

人类的进步和生活方式的改变，与科学的发展和变革息息相关。从古代人对天文地理编制的美丽神话“盘古开天”，到21世纪好莱坞科幻大片中的“星际穿越”，人类对于广袤宇宙的向往和探索从未停止过。纵观近现代 “群星闪耀”的基础物理发展史，从牛顿，麦克斯韦到爱因斯坦，从万有引力，相对论到量子力学，超弦理论，这些重大发现和著名物理学家不断涌现，推动了现代科学的快速发展。然而，近50年的时间里，基础物理学稍显停滞，并没有出现能够与相对论、量子力学等重大理论突破相提并论的新发展。正因为此，很多拥有伟大物理梦想的科学家和研究人员在着力推动基本粒子和暗物质粒子探测研究，期待可以直达真理，不断探索宇宙的终极秘密。在“标准宇宙学模型”中，宇宙由68%的暗能量（Dark energy）、27%的暗物质（Dark matter）和5%的普通物质（matter）组成，但迄今还没有暗物质观测的直接数据。当前探测暗物质粒子主要包括三类实验方案：一是对撞机探测，通过对撞机实验来产生暗物质粒子，进而探测出来；二是间接探测，包括卫星试验和空间站实验，例如2008年美国发射的名为Fermi的γ射线探测卫星，2015年我国发射的“悟空”暗物质粒子探测卫星；三是直接探测，通过暗物质粒子与原子核作用对暗物质粒子进行探测，但由于作用信号非常微弱，很容易湮没在大量本底环境中，因此需要把探测器放在地底深处的实验室以屏蔽宇宙射线干扰。* 图1：HiPace 300 涡轮分子泵中国PandaX暗物质探测项目持续推进在暗物质粒子的直接探测实验领域，全球有三大最先进的研究项目实验组；中国的PandaX，美国的LUX-ZEPLIN，意大利的XENON。PandaX（熊猫计划）是“粒子和天体物理氙探测器”（Particle and Astrophysical Xenon Experiments）的英文简写，是我国开展的首个百公斤级大型暗物质实验。这些实验都是利用液氙（Xe）作为探测媒介来寻找暗物质。PandaX项目组依托于上海交通大学粒子与核物理研究所和李政道研究所，并与中国科学技术大学，北京大学，山东大学和南开大学等相关实验室直接合作。在2016年PandaX二期实验（500公斤级液氙）已经取得了世界领先的暗物质探测灵敏度。据上海交通大学制冷与低温工程研究所的巨永林教授表示，目前正在进行四吨级液氙探测实验PandaX-4T，将暗物质探测灵敏度向前推进了1-2个数量级。暗物质直接探测需要稳定的低温真空环境尽管直接探测实验在全世界已经开展了约30年的时间，实验灵敏度有了巨大的提高，但是到目前为止，还没有发现令人信服的暗物质散射的信号。因此，PandaX-4T探测项目通过使用4吨液氙全面增大了灵敏度，但同时在整体实验设计上也会有很多新挑战并需要各种性能优化。“考虑到探测机制原理，关键就是把其他已知粒子带来的信号全部排斥在外。考虑到探测机制原理，要探测未知的暗物质跟已知的氙原子可能产生的微弱的闪动光信号，并将其转换成电信号放大来测量，关键就是把其他已知粒子带来的信号全部排斥在外。在PandaX-4T实验项目中，包括了八个子系统：时间投影室探测系统、光电探测系统、前端电子学系统、触发和数据获取系统、气体存储和处理（又称气体纯化）系统、低温系统、精馏系统、低本底控制系统等。其中，低温制冷系统和气体纯化系统都使用了真空泵组作为必要的设备部件，来实现两个基本保障：首先是稳定的低温真空工作环境（零下95度左右），减少外界环境的漏热，将探测介质氙的温度波动控制在大概±0.1k；同时，需要先将材料表面、阀门管道和管线等烘烤加快杂质气体释放，然后抽真空处理，这样氙和极少量的残余气体流经纯化系统，此过程中会吸附气体杂质（避免杂质对后期微弱信号捕捉的干扰），保障氙的纯度。* 图2：两台 HiCube 300H Pro 涡轮分子泵组和一台ASM 340检漏仪普发真空泵为客户提供高性能低温真空解决方案PandaX从最开始的250公斤氙的用量，到现在的PandaX-4T，即4吨有效探测量的氙，计划未来将进行30吨级暗物质探测实验，全面覆盖暗物质的参数空间。所以，系统越大就越复杂，探测设备的尺寸越大，绝缘结构和隔热结构的层数就越多，管线数量大大增加。因而对真空泵的数量或者抽速就带来很高的要求，比如理想的夹层真空度一般需要达到10-3帕。因此，实验项目组选择真空泵的主要性能参数（技术指标）就包含了极限真空度，真空泵抽速，密封性，尺寸规格等。“计划未来将进行30吨级暗物质探测实验，全面覆盖暗物质的参数空间。据上海交通大学制冷与低温工程研究所的巨永林教授表示，目前PandaX实验组已经购买了10台普发真空泵（其中6台用于低温系统和液氙存储系统，4台用于精馏系统），主要有以下几个方面的原因：首先，普发真空产品的主要技术指标能够满足严苛的实验条件；其次，产品性能足够优异的基础上，价格合理；再次，普发真空的辅助测量系统使用便捷而稳定，能对持续大半年的不间断探测运行提供可靠的支持；最后，普发真空的售后服务也很完善，能够提供各种技术支持和泄露检测解决方案等等，从而有力地支持了整个PandaX项目运行。* 图3：HiCube 80 Eco 泵站集成到箱架系统从现在到未来，普发真空不断助推暗物质探测目前，普发的真空泵HiCube 300Pro和HiPace 300已经在PandaX-4T实验项目中得到了成功实践。一方面，真空泵作为必要备件被部署于上海研发实验室的暗物质探测器的子系统中，配合优化和升级的需要；另一方面，普发真空泵被部署于位于世界岩石覆盖最深的四川锦屏地下实验室暗物质探测系统中，实现稳定运行。从实际探测过程看，普发真空泵基本保障了整个探测系统的低温真空环境，为确保探测的灵敏度和精度保驾护航。值得一提的，由于系统运行的特殊地理环境等因素，可靠实时地保障系统各层级的极限真空度，系统部件必须确保极低的漏率，因此PandaX-4T项目还使用了ASM 340D系列检漏仪。通过采用该设备，可以有效地监测出来细微到10-13 Pa•m3/s 的泄漏。“未来对高性能真空泵的需求也是非常大的。“在目前PandaX-4T项目的基础上，实验室还在研发30吨液氙的探测项目，希望把精度推向下一个数量级。在我们的计划中，从2025年到2035年，这一项目预计总投资将达到数十亿人民币，需要购买47吨液氙来进行暗物质探测。”对于未来的研究计划，巨永林教授满怀信心，也满怀期待，“毫无疑问，液氙的量级越高，对于低温真空环境的稳定性要求也会越高，未来对高性能真空泵的需求也是非常大的。我们希望，以普发真空为代表的企业，能为我们的基础物理研究不断提供更好的工具支持。”*图4：ASM 340 D 干式检漏仪参考文献链接https://www.cas.cn/kx/kpwz/201805/t20180530_4647791.shtmlhttps://zhuanlan.zhihu.com/p/105548733https://luxzeplin.org/https://pandax.sjtu.edu.cn/pandax4https://www.guancha.cn/Science/2014_08_25_260007.shtml

真空炉为您的真空炉应用一手打造的最优真空解决方案真空的优点每一天，我们都会与真空炉中制造的产品打交道：例如汽车变速箱中的齿轮、工业或 DIY 应用所需的特殊硬质钻头。如果没有真空，高强度材料将难以生产。待加工的工件在真空炉中加热，此时通过真空泵建立低氧气体环境。这种方式可以防止工件氧化。真空炉广泛用于多种不同的工业应用，例如刀具行业硬质合金生产中的真空烧结，或电气行业真空开关室生产中的真空钎焊。真空淬火则用于诸如汽车行业中制造齿轮所需的高合金钢。真空炉中的真空起到了保护气氛的作用，以防止工件氧化。真空烧结能够提升工件的表面质量。由此大幅度减少对机械再加工的需求。同时，更大密度、更低孔隙度和更高强度也使机械性能获得了优化。在真空钎焊中，钎缝强度的增进实现了接头质量的提高。此外，真空钎焊还可以确保工艺过程的高可重复性。真空淬火在保证出色表面质量的同时，将变形减小到最低水平。这种工艺的另一个优势在于：高表面质量允许在硬化后直接进行氮化处理。适用于真空炉的产品系列普发真空提供了庞大的产品系列，特别是针对真空炉的应用。从抽真空炉所需的真空泵到真空测量设备，从校准泵组到用于泄漏定位的检漏仪，应有尽有。我们的组件和阀门让您能够一站式获得整套真空设备。工艺对于真空炉内的工艺过程而言，在既定时间内达到特定压力尤为重要。通过缩短抽真空时间而达到的时间节省有利于提高经济效率。此外，在抽真空的过程中，诸如氧气等多余物质可以从干燥室中去除。泵的选择真空泵的选择标准包括尽可能低的极限真空和高抽速。采用这些标准即可达到所需的抽真空时间，并在工艺气体的进气过程中保持恒定的压力。设计无论是规划真空泵的规格尺寸，或是推荐诸如灰尘分离器、真空计、检漏仪以及配件等附加组件，普发真空将为您的整套真空系统设计提供支持。并且，泵的特有性能以及管道造成的损耗和泄漏均被考虑其中。设计过程中会使用专门为此目的开发的先进计算程序。真空炉真空烧结技术要求对烧结炉内真空泵的主要技术要求包括抽速、必要的工作压力以及脱脂工艺过程所需的足够坚固性。在脱脂过程中，粘结剂蒸发。所生成的物质必须被迅速可靠地抽出。因此，通常使用旋片泵和罗茨泵的组合以将炉内抽真空。通过这种方式，可以迅速可靠地达到 10-1 至 10-2hPa 高真空范围内所需要的最终压力。泵的选择普发真空的 UnoLine Plus 旋片泵已经在特别是 HIP 烧结过程中证实了其价值，并以其高抗腐蚀粉尘和极高坚固性为特色。得益于低抽速和大油箱，产生的工艺气体对泵而言毫无问题。此外，轴承与工艺过程的单独润滑延长了维护间隔时间。除 UnoLine Plus 之外，普发真空进一步发展了有油压缩和干式真空泵，如 HeptaDry 螺杆泵和DuoLine 双级旋片泵。不仅如此，我们的 HiLobe 与 OktaLine 罗茨泵以及 CombiLine 泵组同样适用于真空烧结，致力获得更高抽气量。如需了解更多信息，请参阅“真空淬火”部分产品概览。真空炉真空钎焊技术要求真空钎焊对真空系统提出了很高的要求。在需要将炉内冲洗用载气氩气抽空的中真空范围内，这些挑战已然出现。同样地，在这个阶段也需要抽空工件冲洗过程中连带产生的水蒸汽。此外，由于粘结剂从焊料中脱气，所使用的焊料也对真空泵构成了挑战。如果使用的是活性焊料，则钛金属将从中脱气。与此同时，所有生成的碳氢化合物也必须被抽空。有基于此，在高真空范围内（10-5 至 10-6hPa）的抽速成为泵的一项重要技术要求。所使用的泵为螺杆泵或旋片泵与罗茨泵的组合。通常，采用油扩散泵和涡轮分子泵生成高真空。泵的选择作为双级旋片泵，DuoLine 尤为适用于这一工艺过程。双级设计实现了较高的极限真空，为 DuoLine 在真空钎焊中的使用预备了先决条件。此外，长使用寿命也是该泵的突出特点之一。DuoLine 覆盖了从 1.3 至 300 m3/h 的抽速范围。配备磁耦合装置的 DuoLine泵型无需对轴封进行维护保养。同时，普发真空还提供了例如HeptaDry 螺杆泵等干式泵作为此项应用的前级泵。真空炉真空淬火基本要素均匀加热、穿透加热和淬熄是真空淬火中防止工件变形的必备要素。由于在较低温度范围内，通过辐射进行的热传递可能导致不规则现象的产生，因此需采用高纯氮气的热对流方式。之后，必须使用真空泵将引入到工艺过程中的氮气抽空。因此，通常使用旋片泵和罗茨泵的组合以将炉内抽真空。借助这种组合，可以迅速可靠地达到最高至 1 mbar 的中真空范围内所需的最终压力。泵的选择作为一款旋片泵，来自普发真空的 HenaLine 对其实力作出了突出证明。该泵以单级设计为特点，长期以来一直是中真空范围内工艺运用最为广泛的产品之一。长使用寿命同样是其优势。在抽速上，HenaLine 系列几乎涵盖了所有工业应用。如果需要采用干式真空泵，则建议使用 HeptaDry 螺杆泵。罗茨泵OktaLine 和 HiLobe 系列中提供了适用的罗茨泵。内置溢流阀使OktaLine 有效避免了热过载。HiLobe 的运行采用新式驱动方案，与传统罗茨泵相比，抽真空时间缩短了约 20％。由此，其运行成本较传统罗茨泵可减少达 50％。智能接口技术便于状态检测，增加了使用寿命和操作安全性。泵组通过旋片泵与罗茨泵组合而成的 CombiLine 系列泵组，普发真空为每种应用均提供了一体化解决方案。CombiLine 系列泵组覆盖了大范围可实现的抽速和极限真空要求。同时，泵组还可以根据客户需求设计和定制，以满足要求严苛的应用情况。产品概览选型指南真空炉真空测量对于所有真空应用来说，准确且可重复的真空测量必不可少。这是对工艺流程开发与控制的保证。普发真空通过多种测量方式覆盖了广泛的真空测量范围。常用测量方式例如：皮拉尼、皮拉尼/冷阴极和电容式真空计。皮拉尼真空计（压力范围最高 1·10-3 hPa）借助脉冲技术，普发真空的创新型真空计能够提供比传统皮拉尼真空计更高的精度。压力测量范围介于 10 hPa 至 1·10-3 hPa。皮拉尼真空计是具有最佳成本效益的真空计之一。电容式真空计（压力范围最高 1·10-3 hPa）对比皮拉尼真空计，电容式真空计的精度更高。二者的使用均与气体类型无关。绝对压力取决于膜片的挠度。因此，电容式真空计在1,000 hPa 至 1·10-3的测量范围内提供了最佳性能。只有参照工作压力才能作出合适的选择。皮拉尼/冷阴极真空计（压力范围最高 1·10-9 hPa）皮拉尼/冷阴极真空计属于 FullRange 真空计。该类型的真空计将两台传感器集成在一个外壳内，以超广的测量范围脱颖而出，特别适用于中真空和高真空。对于炉内压力测量，PKR 真空计以其可靠性和坚固性著称。皮拉尼/电容式真空计（压力范围自 1,500 hPa 至 5·10-5 hPa）由于皮拉尼/电容式真空计同样将两台传感器集成在一个外壳内，因此也属于 FullRange 真空计。与皮拉尼/冷阴极真空计相比，这种组合方式的优势在于价格低廉。但是，其与皮拉尼/冷阴极真空计的不同之处无法测量低于 10-5 hPa 的压力。在普发真空的产品系列中，包含此类以 PCR 命名的真空计。产品概览真空炉真空真空为了确保真空测量的准确性和可重复性，以及长期的工艺稳定性，必须定期校准真空计。由于传感器存在污染颗粒或冷凝物以及长期使用引起的老化，测量信号可能会发生变化。因此，校准是质量保证的一个必要组成部分，其中对测量仪器的测量信号与参考真空计的信号进行了比较。参考真空计。标准真空计必须由经过认证的实验室进行校准（例如，德国认证的 DAkks [Deutsche Akkreditierungsstelle GmbH = 德国认证机构]、美国 NIST 认证）并且可以追溯到国家标准。工厂和 DAkkS 校准普发真空提供工厂级别和 DAkkS 认证级别的校准服务。校准按照高质量标准进行，并符合 ISO 3567 标准。记录的测试条件和差异记录在发布的校准证书中。真空炉校准普发真空校准系统当使用大量真空计时，直接内部校准比外部校准更具成本效益。为此，普发真空提供专门开发的校准泵组，有基本和专业型号。这些系统包含一个集成的涡轮分子泵组，以提供精确零点调整所需的压力。符合 ISO 3567 标准的真空室可确保均匀的压力分布，并确保真空计在相同高度处对称排列。进气口和泵输入口也位于对称轴上。使用普发真空校准系统和相应的参考真空计，可以轻松进行校准，特别是在与冷冻干燥相关的压力范围内。*校准证书样例产品概览真空炉泄漏检测泄漏的定位如果泄漏率超过所需阈值，则须定位并补漏，这非常重要。氦气检漏仪检测灵敏度高、测试时间短且易于操作，是泄漏定位的理想选择。利用这种方法将冷冻干燥系统抽空。使用喷枪从外部将氦气局部喷射到密封点、焊缝和其他潜在的泄漏处。在泄漏的情况下，氦气流入抽空的真空室，被泄漏探测器检测到并吸入。为了实现较短的响应时间，泄漏探测器用于大型系统中，部分流入现有的真空系统（参见泄漏检测图）。普发真空的理想解决方案普发真空提供的 ASM 340 检漏仪功能强大且通用。紧凑便携的ASM 310 是移动应用的首选，例如供维修技师使用。在大型系统上，泄漏探测器部分流向现有真空系统产品概览普发真空服务我们的服务 – 您的优势每家客户对产品都有特殊要求，并且这些要求可能还会受到特定应用的参数影响。我们灵活的维修服务方案以预防性维修服务为重点，为您提供恰到好处的解决方案。预防性维护 – 避免停机时间我们的预防性维修服务方案可根据每种产品提供维修服务周期建议。目标是避免故障，并实现有计划和可预测的维修服务。维护等级 1包括各种液体更换，非常有助于保持产品良好工作状况维护等级 2外加更换所有易损件 维护等级 3，将更换产品的所有易损件，且产品将接受大修。为了最大程度地减少停机时间，我们可在维护期间为我们的许多产品提供临时备用品。我们提供等效的备用产品， 并确保我们的客户能够立即开始使用。服务一览■ 用户培训和产品培训■ 普发真空原装备件和工具■ 我们技术支持团队的故障排除和建议■ 由我们的服务技术人员提供全面的现场服务■ 在我们全球各地服务中心进行的维护和维修■ 个性化服务协议■ 备用产品■ 针对测量设备和氦气泄漏检测的校准服务备件 – 原装零件可延长预期使用寿命普发真空的备件和工具早在产品开发阶段即可确定。这可确保其量身定制的适用性及品质。我们量产产品的每项改进也都会纳入备件中。这意味着每次完成等级 3 维护或维修之后，产品都将处于最新技术水平。咨询 – 协助您解答任何可能的问题除了我们的个性化方案和备件的高质量外，我们的员工及个人化的联系方式更使我们的服务与众不同。技术支持 – 专家权威咨询由于涉及我们产品的事项并不都是不言自明的，而购买前后也都可能出现疑问，为此有普发真空技术支持为客户提供帮助。我们团队的每一名成员都专精于我们产品组合的某一领域，从而能够在产品相关技术问题上为客户提供有力帮助。我们的团队还与我们的开发人员和应用专家紧密合作。现场服务技术人员从调试新的真空组件和系统到故障排除，再到维护及维修，我们为客户提供全面的现场服务。我们的服务驻地可确保在紧急情况下与客户保持联系并提供快速帮助。服务协议 – 根据您的项目单独定制我们提供针对特定项目的服务协议，以便我们的客户对维护或服务干预措施做好长期计划。这些协议既可事后订立，也可早在项目规划阶段便确定。为了顾及客户各不相同的需求，协议既可包括我们提供的全部服务，也可选择部分服务。部件和阀门真空系统中的连接您的优势和好处真空系统是由各种单独零部件组合而成的统一单元。而普发真空所提供的不只是标准解决方案。部件可以修改以满足您的要求，定制解决方案更可完全配合您的需求。■ 将有直接联系人负责您和您的项目■ 主动支持和权威咨询■ 使订购更加方便■ 交货周期短■ 交货可靠性高■ 供应安全性高■ 库存超过 50 万件■ 上线时间长■ 节省成本 - 无需自行库存■ 真空部件网店有售■ 随时方便地在线订购■ 为您提供关于价格、交货时间和条款的信息仅限中国大陆定制真空室针对您的真空应用单独设计的真空室由于我们多年的经验，我们熟悉几乎所有可能的任务，并且可以就系统规格、设计和施工提供专业指导。我们的物理学家、设计师、项目经理和生产专家，在一切细分市场的许多应用中都具有丰富的经验。任务基于您的需求：我们通往成品的起点，形式涵盖草图到完整蓝图。我们提供一站式真空解决方案普发真空代表着为客户在世界范围内提供创新的、定制化的真空解决方案，完美的技术，全方位的支持和可靠的服务。完整的产品线从一个配件到复杂的真空系统：我们是唯一能提供完整的产品线和技术服务的供应商。理论与实践的完美结合得益于我们的专业技术和完善的培训体系！我们提供给您完整的生产技术提升方案和全球统一的一流的现场服务。

在我国制造业升级和双循环大趋势下，绿色制造、智能制造和服务型制造对热处理技术装备提出更高要求。真空热处理作为热处理生产技术领域的先进工艺，具有高质量、低消耗、无污染和高效益的优势。随着科学技术的飞速发展和现代生产的迫切需要，真空热处理技术在国内的应用越来越广泛。法垄热工技术（上海）有限公司创建于2013年，立志于生产技术先进、可靠的热处理设备，在吸收引进国际先进真空热处理理念的基础上，开发了具有完全独立自主知识产权的LPC真空低压渗碳和气体渗氮的专家系统，打造出立足于中国并面向国际的高端热处理装备。时至今日，法垄热工培养出了顶尖的工艺以及工程团队，拥有广泛的客户基础，已成为国内领先的热加工技术公司。真空热处理行业的三大趋势：模具更大、冷却更强、信息化能力更高过去的2021年是中国“十四五”规划的开局之年，也是制造业迎来新机遇的一年。质量强国、碳中和、智能制造成为制造业转型升级的关注重点，这为法垄热工的三大业务板块带来了前所未有的发展新契机。第一大板块是被称为“工业之母”的工/模具加工。目前，真空热处理加工已成为工/模具生产中不可替代的先进技术。这一行业体量巨大的板块，近年来出现新趋势，即新能源车企引入的一体压铸工艺。在传统的冲压工艺中需要70～100个零件进行拼接的车盘底座，现在只需一次压铸即可得到成品，可大幅降低时间、生产线和人力成本。这种工艺的升级要求压铸的模具更大，真空炉的装炉吨级从2吨增加到10吨以上，热加工企业亟需突破对大型模具处理的关键技术。第二大板块针对传统的机械行业。以钢材的渗碳处理为例，传统的做法是油封冷却，而现在绿色制造要求技术的转型发展，逐渐使用气取代油，即采用真空高压气淬技术。为了提供较快的冷却速度，需要的压力越来越高，原有的老旧热处理设备已无法满足现在的生产需求。所以，热加工企业需要将很多老旧设备更新换代，迭代成具有更强冷却能力的新设备和新技术。第三大板块是大型船舶等高端应用。作为十四五规划中的重点支持行业，高端应用已经迎来了发展的“黄金五年”，政府和企业持续加大投资力度，更多高端应用制造商将加速完成旧设备向新设备的转化，实现产线的并线和自动化，最终向“黑灯工厂”即智慧工厂发展。如此大规模的市场增量，给国内提供高性能产品且拥有信息化能力的热加工企业迎来空前的增长机会。除此以外，法垄热工也在积极向新兴业务板块拓展，如3D打印和非金属材料的加工成型。选择普发真空泵组，为客户提供高性能真空热处理解决方案作为真空技术与热处理两个专业相结合的综合技术，用于热处理加工的真空炉需要高性能真空设备的加持。自2015年起，法垄热工开始与普发真空合作，到目前为止，法垄有超过300台的设备在市场上运行，其中配备普发真空泵的设备已超过200台。对于法垄热工来说，与普发真空的长久合作基于普发产品的三大优势：第一，美观紧凑的工业设计，普发产品设计既耐用又符合法垄热工的审美要求；第二，值得信赖的高端品质，普发产品高质量、低能耗、及具有数字传感能力的特点与法垄热工和其客户对高性能产品的需求相一致；第三，可靠的技术支持与服务，普发真空在本地拥有成熟的服务团队和维修中心，可以实现全方位的技术支持和零部件供应。通过应用普发真空产品，法垄热工进一步为广大制造业客户提供先进的工艺能力、更高的自动化程度、以及出色的产品投资回报。“ 我感触最深的是普发真空的极限性能，远远超过我们的预期，这是毫无疑问的。— 陈溢 法垄热工技术（上海）有限公司总经理”法垄热工的真空回火炉配有普发真空Okta 1000罗茨泵和Hena 302 单级旋片泵，在真空度及抽气速率方面的表现，远超用户的期望，为中国台湾的螺纹工具制造商客户交了满意的答卷。除了强劲的真空性能外，高端制造对热加工设备的规范性和稳定性也具有很高的要求，而真空系统作为真空热处理中核心的关键系统，其稳定性直接决定了整个设备的稳定性。按照行业标准，真空热处理设备需要同时达到AMS2750热处理标准和AMS2769真空热处理标准，而普发真空泵的可靠性能完全可以满足这些要求。作为中国高质量发展的新引擎之一，数字化和智能化是第四次工业浪潮的核心。在精密加工领域，法垄热工利用真空热处理设备ModuleHeat模块化全自动低压渗碳生产线提供自动化整合解决方案，为高端刀具制造商客户打造全自动产线，支持其智能制造的发展。其中配备的普发真空泵组OKTA2000+HENA302具备包括温度、转速和变频等多个数据传感器，可满足智能化生产需求，帮助法垄热工的设备实现自动化能力。普发真空的前级泵和罗茨泵产品全部欧洲进口，凭借先进的机械制造工艺以及秉持的工匠精神，使得性能优异，在耐用性、可靠性和节能性方面可以帮助制造业客户降低总体拥有成本，较其他品牌的同等投入，可获得更高效益。基于3C行业零部件生厂商客户的反馈，法垄热工认为使用普发真空产品前期投入虽然较高，但其强劲的性能可以保证稳定可靠的合格交付，避免加工的高价值产品发生氧化或发黄等风险，造成巨额成本消耗。不仅如此，普发真空泵低能耗和极低的维护成本确保了其卓越的性价比。普发真空OktaLine系列罗茨泵普发真空HenaLine系列单级旋片泵“ 普发真空与法垄热工长期的合作基于我们的一致理念：无论从产品定位，还是技术性能，我们都始终坚持以高质量为客户提供价值，助推行业升级转型，更好地支持中国的绿色制造和智能制造，向工业4.0迈进。— 陈溢 法垄热工技术（上海）有限公司总经理”未来，制造业将迎来新一轮技术变革和生产设备升级，持续为企业创造新机遇。法垄热工将继续携手普发真空，积极引入数字化、智能化、低能耗的真空热处理解决方案，高质量地支持中国制造业积极健康发展。

材料选择、表面处理和设计执行在超高真空中的影响是什么？应用中实际需要的抽气功率是多少？以及为什么会难以达到良好的极限压力？根据定义，超高真空（UHV）压力要达到10-7mbar，这意味着在这个压力范围内，表面放气对极限压力变得至关重要。超高真空中的流动是气体是分子式的，平均自由路径长度超过1公里。如果压力继续下降到10-12毫巴，自由路径长度就会增长到10000公里。留在真空室中的剩余颗粒现在只经历与容器壁的相互作用，而不是，或几乎不是相互作用。在这个范围内，真空室的材料和表面变得非常重要。那么，在设计、制造和操作这一压力范围的真空室和部件时，你需要考虑什么？# 材料选择的标准Criteria for material selection首先，你需要室壁的高气密性，以及低的内在蒸汽压力和低的外来气体含量。如果这一点不能避免，材料至少应该快速放气，以便任何麻烦的残余气体可以被快速抽出。在UHV中，腔室容积不是一个重要的因素，最多是在泵关闭或推开后的压力上升过程中起到缓冲作用。在这种情况下，残留的气体来自于容器壁或装置的表面和体积。强度和耐腐蚀性是进一步的标准。由于密封面在1 bar的压力差下不能变形，因此需要足够强度的材料。耐腐蚀性也必须在困难的条件下得到保证，如在大气中烘烤或化学活性的工艺气体。因此，测试材料的耐腐蚀性是很重要的。在温度变化过程中需要有良好的稳定性和适应性的膨胀行为，以确保腔体是并保持紧密。法兰和密封垫的材料必须匹配。不锈钢和铜具有相似的热膨胀系数，因此是一个很好的组合。不锈钢和铝只是有限的匹配，因为在温度超过150℃后，法兰连接在冷却后往往不再紧密。性能其次是材料的处理和可用性，因为它们应该能够以合理的可负担的努力进行加工，当然还必须有可用的材料。由于超高真空技术的低需求，没有自己的材料开发，我们必须使用已经存在的材料。奥氏体不锈钢特别适合于超高真空应用。图1｜真空室表面和周围气体之间的相互作用。# 超高真空中的效应Effects in ultra-high vacuum以下术语描述了在超高真空中发生在表面的效应。吸附：气体沉积在固体或液体的表面，如颗粒粘在室壁上。吸收：气体被困在固体或液体中。吸收通常在吸附之后。以前只附着在表面的颗粒现在嵌入到室壁中。解吸：将吸附的气体释放到环境中。被前两种效应保留下来的颗粒再次从室壁上分离出来。渗透作用：气体通过液体或固体的运输。渗透 = 吸附 + 扩散 + 解吸。加压、吸附和吸收都不是问题，因为颗粒被固定住，不会干扰真空。这两种效应都发生在所有与大气接触的表面上，也发生在每次通风时。解吸是达到良好极限压力的主要对手。这是因为在渗透过程中，附着在室外的颗粒会通过室壁扩散，增加了对真空室的解吸。# 工作压力的定义Definition of working pressure现在已经描述了关于材料要求的一些基本情况。接下来，必须确定所需的工作压力pWork，以便继续建造一个真空室。前级泵，最高可达10-3mbar，抽出体积后，具有适当抽气能力的高或超高真空泵提供工作压力。为此，有必要计算或至少估计由解吸、渗透、泄漏和工艺气体产生的气体负荷。  下面将解释不同的气体负荷Qi是如何被影响的。它们与泵的有效吸力Seff相对应，这取决于气体、压力和安装类型。pEnd泵的最终压力，取决于泵的选择。Seff有效的泵送速度，取决于气体、压力和安装类型。QDesorption由于解吸而产生的气体负荷。它取决于材料和表面的选择，包括清洁度。解吸是通过烘烤来加速的。QPermeation渗透也取决于材料的选择以及室的尺寸。QLeakage泄漏是通过适当的制造技术来防止的。QProcess工艺气体和内在蒸汽压力，取决于应用。多级罗茨泵ACP，立方室和真空阀。ISO-KF组件# 解吸Desorption随着时间的推移，由于金属表面的解吸作用，气体负荷会减少。假设从时间t>t0开始，下降是线性的。t0被假设为一小时。因此，解吸流程可以描述如下。  wobeiQDesM金属的解吸流量[Pa·m3/s]。qDesM金属的解吸流密度（面积比）[Pa ·m3/s ·m2]。AM溶解气体分子的金属面积[m2]，以及t表面处于真空状态的时间[s]。在UHV中，金属的解吸没有塑料那么重要。特别是垫圈，会释放溶解在其中的气体。因此，经过较长时间后，塑料的解吸可能比金属表面的解吸占优势。垫圈的表面积相对较小，但随着时间的推移，其解吸率的下降速度较慢，这一点被抵消了。假设时间上的减少是随着时间的平方根发生的。因此，塑料表面的气体积聚可以描述如下。  缓解QDesK塑料的解吸流量 [Pa·m3/s]。qDesK塑料的解吸流密度（面积比）[Pa ·m3/s ·m2]。AK塑料的面积[m2]，气体分子从中分离出来，和t表面处于真空状态的时间[s]。然而，只有具有能量Ekin >EDes的粒子才会解吸。解吸的流量密度。 α 提高温度，也就是烘烤室，是提供这种能量的最简单方法。表面的具体属性（如生产、进一步加工、清洁）对与面积有关的气体排放qDes有很大影响。变化10倍或更多，需要增加10倍的抽气功率。图2｜解吸和渗透--计算示例，试验室（a）未加热，（b）已烘烤。一个典型的例子室的计算说明了这一点。1. 不锈钢圆柱形主体    a）直径600毫米，长度1,000毫米，面积约25,000平方厘米    b）各种法兰出口（金属密封）导致额外的面积约为8,000平方厘米，不锈钢总面积。33,000 cm²。2. 带氟碳橡胶（FKM）O型圈的主法兰盘    a）直径640毫米，帘线厚度7毫米，沟槽深度5.25毫米 FKM真空面积：约106平方厘米    b）宽度（压制）：约7.3毫米3. 安装聚四氟乙烯（PTFE）板 50 · 50 · 10mm3    a）PTFE面积：70 cm²。你也可以为主法兰盘采取一个金属垫片。然而，由于这只能使用一次，必须在每次开放后更换，每次开放将导致约1000欧元的成本。此外，在制造腔室的过程中还有法兰和密封件的损耗。这些额外的费用只有在特殊情况下才是值得的，因此在我们的例子计算中没有考虑。由于配件而产生的气体负荷由PTFE板来代表。这是一个相当小的区域，具有很高的解吸率。图2中的图表说明了解吸的计算。假设一个干净的受体表面。表面的解吸量取决于清洁度，很可能是1·10-7hPa·l/s的五倍。图2显示，1,000 l/s的有效泵送速度导致三天后的压力p72h 为1.8·10-8hPa。图3｜配件解吸# 渗透率Permeation渗透率是指材料的气体渗透率或其渗透流导。  其中QPerm渗透流量[Pa·m³/s]。qPerm渗透常数（材料特定）[m2/s]。A处于真空状态的面积[m2]。d壁厚，分子覆盖的路径长度[m]，和Δp压差。因此，渗透作用与时间无关，并不断提供最终压力的增加。它对压差的依赖性可以用来减少压差。所谓的差压泵，意思是指带有级间泵的双密封，将Δp从1巴减少到1至10毫巴的三至四个数量级。这也会导致渗透流量减少100或1000倍。然而，渗透率也取决于温度以及介质和材料的某些组合。一些材料对某些介质的渗透性要比其他的强，例如熔融石英对氦气的渗透。例如，弹性体的渗透率相对最高，这也与温度密切相关。它们的渗透率在温度增加100K的情况下会增加100倍。然而，温度超过150°C是不可能使用弹性体的，因为O形环会变成椭圆形。作为一个原则问题，不要将极低压力（-8 hPa）下的渗透与真正的泄漏混淆。渗透率现在被添加到我们图2的解吸计算示例中：渗透率作为一个与时间无关的常数在图3中以平行于时间轴的线条出现。使用与之前相同的泵，三天后达到2·10-8 hPa的压力p72h。图4显示了对加热室进行同样计算的结果：由于烘烤，表面的解吸作用比以前小了一百倍，渗透作用是主要的影响。三天后的最终压力为p72h= 3.5·10-9 hPa。# 渗漏Leakage可能的泄漏是在局部或整体泄漏检测过程中发现的。在这两种情况下，真空室都处于真空状态（真空法）。局部泄漏检测（真空法）的泄漏率：10-10 Pa·m3/s ≈ 0.1 μm 毛细管直径。整体检漏的泄漏率（真空法）：10-9 Pa·m3/s ≈ 0.3 μm 毛细管直径。在泄漏测试开始时，剩余的气体负荷应在10-7Pa -m3/s的范围内。偶尔也需要10-10或10-11 Pa·m3/s 的数值。然而，这些要求是学术性的，因为它们没有提供任何新的发现，尽管需要的时间大大增加。经验表明。如果在10-7 Pa·m3/s 时没有发现泄漏，在10-10或10-11 Pa·m3/s 时也不会发现。在对系统进行泄漏测试时，重要的是要注意，没有指示不等于没有泄漏，因为测试气体氦气的抽气速度和室中的真空度会影响信号。如果有泄漏，气体会流入室中，分散开来，并以相对较低的概率击中与检漏仪的连接。此外，如果过程太快，信号也会被掩盖。必须考虑到时间常数  例1:Seff(He) 检漏仪的：1 l/s箱体容积：315升→ T= 315 s只有在至少5分钟后，才能期待检漏仪的指示。例2:用涡轮分子泵提高抽气速度 检漏仪的Seff(He): 1,300 l/s箱体容积：315升→ T= 0,24 s可以预期检漏仪会在一秒钟内发生反应。I通常建议熟悉测试设备。这可以通过测试泄漏来轻松完成。# 接头和内在蒸汽压力Fittings and intrinsic vapor pressure接头代表额外的解吸表面。这种影响可以通过使用低放气率的材料、干净地工作和事先对部件进行放气来减轻。本身的蒸汽压力对油和油脂起着重要作用。由于它限制了最终的真空压力，它应该足够低。这种影响也存在于金属中。例如，在温度超过100 °C时，黄铜中的锌分压会大量增加，所以不建议在这个领域使用。在施工过程中，应消除通风不良的体积（虚拟泄漏）。如果不能避免高的气体负荷，例如因为引入了气体，必须使用高放气率的材料或需要溅射表面，泵的有利选择和定位可以改善这种情况。# 配件解吸的计算实例The actual design of a UHV chamber为了更好地表示图3中的图表，现在的例子室是完全金属密封的。主法兰的弹性密封图被省略了，但聚四氟乙烯板的解吸图则以黄色显示。三天后达到3.5·10-10 hPa的最终压力p72h 。# 超高真空室的实际设计The actual design of a UHV chamber对于真空室没有一套强制性的规则，与压力容器如气瓶或油罐车相当不同。然而，制造一个安全产品的责任仍然存在。设计是根据 "良好工程实践 "的经验进行的。因此，设计责任由设计室的人承担。一个合同制造商被看作是一个扩展的工作台。对于真空室的设计，可以参考相关规则和标准，如压力容器的AD 2000。通常使用压力容器（数据表B0）、圆柱形外壳（数据表B6）或圆盘底部（数据表B4）的计算。也可以使用有限元方法（FEM）进行计算。然而，这种情况下，必须考虑到压力比是相反的，特别是在对称的部件和管道的情况下。在真空室中，压力从外部作用，这就是为什么会发生弹性弯曲和塑性变形。此外，必须考虑到真空室的所有操作条件。例如，烘烤过程中温度升高会导致材料强度下降。还有一些额外的负载，如腔体上的脚，会给主管带来侧向负载。# 机械指令和风险评估Machinery directive and risk assessment没有真空室获得CE标志，这是为什么？一个部件必须在欧盟指令的范围内，该指令规定了CE标志，才能获得CE标志。由于真空室不是一台机器，这不适用于真空室。因此，没有符合性声明，没有CE标志，也没有合并声明。然而，如果在真空室上安装的部件是机器，这就改变了。然后，产品责任在于将产品投放市场的人，即可能是经营者。整个系统要根据EN ISO 12100进行风险评估，它遵循安全设计的三阶段理论。这些要求是（按优先级递减）。首先，必须通过设计来消除危险。如果没有危险点，就不存在风险。如果不能避免危险，就必须采取技术保护措施，如封闭危险区域。如果这也无法实施，则必须在操作说明中让用户了解危险。# 焊接Welding焊接是真空容器制造的核心过程。通过从内部进行焊接，可以避免体积的夹杂。如果有必要，有支持性的焊缝，从外面看是不连续的。如果焊缝在内部和外部都是连续的，可能会出现虚拟的泄漏。在这种情况下，无法发现内部焊缝的泄漏，而且很难抽出困在焊缝之间的体积。例如，如果由于空间的限制，不可能从内部进行焊接，则只焊接外部。这些焊缝是完全通过焊接而成的，这样就不会在真空侧留下狭窄的缝隙。由于强烈的局部加热，会发生焊接变形。因此，有经验的焊工事先确定要焊接的焊缝顺序，以便将变形控制在最低限度。功能面如密封面一般需要额外返工。资格认证可以用来确定一个公司是否具有必要的焊接经验。焊接和程序资格测试可以了解执行工作的公司的能力。钨极惰性气体（TIG）焊接、激光焊接和电子束焊接，是真空焊缝最常见的焊接工艺。焊接会导致焊缝的微观结构差异，机械、磁性以及化学性能在这一领域发生变化。必须特别注意的是磁性能。快速冷却会导致马氏体转变，从而增加相对磁导率μr。这特别影响到使用磁场的应用，例如在粒子加速器中。腔体材料和外部磁场的相互作用必须非常小，几乎感觉不到。真空部件的焊接# 超高真空的清洁Cleaning for UHV最后，真空室必须清洁，以达到适合特高压的清洁度。然而，在真空室的制造过程中，通过使用清洁的材料和避免污染，例如低碳钢，奠定了这个基础。锻造过程中形成的水垢层被完全清除。机器使用的润滑剂是水溶性的，不允许在上面干燥。作为精加工的一部分，焊接产生的污垢通过刷子、研磨（使用碳化硅SiC）、玻璃珠钢化、酸洗或电子抛光来去除。在这个过程中只使用干净的工具。最后，污染物在清洗槽（如超声波）中被完全清除，任何最后的清洁剂残留都通过完全去矿物质或去离子水的彻底冲洗来清除。最高程度的清洁是通过真空退火实现的，也称为低氢退火或退磁退火。在这个过程中，奥氏体不锈钢在950 - 1,050 °C下，在p -4 hPa的真空下进行退火。在氮气环境中冷却时，必须在半小时内通过900-550℃的温度范围。然而，法兰的切割边缘有足够高的强度是退火的先决条件，所以它们应该由1.4429ESU制成，这是一种通过电渣重熔工艺获得的高纯度钢，而不是1.4307。

   适用于无油无颗粒的高洁净真空工艺应用；                    对轻度腐蚀性气体具有耐受力；                    可实现大量可冷凝气体泵送。                    德国阿斯拉尔，2022 年 7 月 12 日。作为世界领先的真空技术供应商之一, 普发真空再次推出新型多级罗茨泵 ACP 90，该泵专为大气压到 3x10-2 hPa 压力范围内的无油无颗粒应用而设计，满足了干燥、灭菌、涂层，以及半导体和研发应用等需要高洁净干燥真空环境的用户需求。            新型多级罗茨泵 ACP 90                        新型多级罗茨泵ACP 90独特的泵送单元设计可以承受频繁的排空，增强了泵的坚固耐用性。其中，所使用的高价值材料，例如镀铝和不锈钢，可以提高这些泵对轻度腐蚀性气体的耐受力。不仅如此，ACP 90对环境空气或中性气体还具有高稀释能力，非常适用于在干燥应用、高湿度环境或大型隔热体积中泵送大量可冷凝气体。我们非常自豪能够实现入口级和泵出口之间的智能化管理，这种管理方式可以在高压下实现高泵送速度，在进行大型体积泵送时具有至关重要的作用。而且，ACP 90在大气压下的功耗相当低，仅为2千瓦，对于这种类型的使用，ACP 90可作为一种出色的节能解决方案。Jean-Philippe Briton普发真空产品经理此外，新型多级罗茨泵ACP 90符合CE和UL/CSA标准。                    ◄◄◄                        长按识别左侧二维码                        获取更多 ACP 90 相关信息                            

人类的进步和生活方式的改变，与科学的发展和变革息息相关。从古代人对天文地理编制的美丽神话“盘古开天”，到21世纪好莱坞科幻大片中的“星际穿越”，人类对于广袤宇宙的向往和探索从未停止过。纵观近现代 “群星闪耀”的基础物理发展史，从牛顿，麦克斯韦到爱因斯坦，从万有引力，相对论到量子力学，超弦理论，这些重大发现和著名物理学家不断涌现，推动了现代科学的快速发展。然而，近50年的时间里，基础物理学稍显停滞，并没有出现能够与相对论、量子力学等重大理论突破相提并论的新发展。正因为此，很多拥有伟大物理梦想的科学家和研究人员在着力推动基本粒子和暗物质粒子探测研究，期待可以直达真理，不断探索宇宙的终极秘密。在“标准宇宙学模型”中，宇宙由68%的暗能量（Dark energy）、27%的暗物质（Dark matter）和5%的普通物质（matter）组成，但迄今还没有暗物质观测的直接数据。当前探测暗物质粒子主要包括三类实验方案：一是对撞机探测，通过对撞机实验来产生暗物质粒子，进而探测出来；二是间接探测，包括卫星试验和空间站实验，例如2008年美国发射的名为Fermi的γ射线探测卫星，2015年我国发射的“悟空”暗物质粒子探测卫星；三是直接探测，通过暗物质粒子与原子核作用对暗物质粒子进行探测，但由于作用信号非常微弱，很容易湮没在大量本底环境中，因此需要把探测器放在地底深处的实验室以屏蔽宇宙射线干扰。中国PandaX暗物质探测项目持续推进‍在暗物质粒子的直接探测实验领域，全球有三大最先进的研究项目实验组；中国的PandaX，美国的LUX-ZEPLIN，意大利的XENON。PandaX（熊猫计划）是“粒子和天体物理氙探测器”（Particle and Astrophysical Xenon Experiments）的英文简写，是我国开展的首个百公斤级大型暗物质实验。这些实验都是利用液氙（Xe）作为探测媒介来寻找暗物质。PandaX项目组依托于上海交通大学粒子与核物理研究所和李政道研究所，并与中国科学技术大学，北京大学，山东大学和南开大学等相关实验室直接合作。在2016年PandaX二期实验（500公斤级液氙）已经取得了世界领先的暗物质探测灵敏度。据上海交通大学低温制冷与液化研究室负责人巨永林教授表示，目前正在进行四吨级液氙探测实验PandaX-4T，将暗物质探测灵敏度向前推进了1-2个数量级。暗物质直接探测需要稳定的低温真空环境 尽管直接探测实验在全世界已经开展了约30年的时间，实验灵敏度有了巨大的提高，但是到目前为止，还没有发现令人信服的暗物质散射的信号。因此，PandaX-4T探测项目通过使用4吨液氙全面增大了灵敏度，但同时在整体实验设计上也会有很多新挑战并需要各种性能优化。考虑到探测机制原理，要探测未知的暗物质跟已知的氙原子可能产生的微弱的闪动光信号，并将其转换成电信号放大来测量，关键就是把其他已知粒子带来的信号全部排斥在外。在PandaX-4T实验项目中，包括了八个子系统：时间投影室探测系统、光电探测系统、前端电子学系统、触发和数据获取系统、气体存储和处理（又称气体纯化）系统、低温系统、精馏系统、低本底控制系统等。其中，低温制冷系统和气体纯化系统都使用了真空泵组作为必要的设备部件，来实现两个基本保障：首先是稳定的低温真空工作环境（零下95度左右），减少外界环境的漏热，将探测介质氙的温度波动控制在大概±0.1k；同时，需要先将材料表面、阀门管道和管线等烘烤加快杂质气体释放，然后抽真空处理，这样氙和极少量的残余气体流经纯化系统，此过程中会吸附气体杂质（避免杂质对后期微弱信号捕捉的干扰），保障氙的纯度。普发真空泵为客户提供高性能真空解决方案PandaX从最开始的250公斤氙的用量，到现在的PandaX-4T，即4吨有效探测量的氙，计划未来将进行30吨级暗物质探测实验，全面覆盖暗物质的参数空间。所以，系统越大就越复杂，探测设备的尺寸越大，绝缘结构和隔热结构的层数就越多，管线数量大大增加。因而对真空泵的数量或者抽速就带来很高的要求，比如理想的夹层真空度一般需要达到10-4帕。因此，实验项目组选择真空泵的主要性能参数（技术指标）就包含了极限真空度，真空泵抽速，密封性，尺寸规格等。据上海交通大学制冷与液化研究室负责人巨永林教授表示，目前PandaX实验组已经购买了10台普发真空泵（其中6台用于低温系统和液氙存储系统，4台用于精馏系统），主要有以下几个方面的原因：首先，普发真空产品的主要技术指标能够满足严苛的实验条件；其次，产品性能足够优异的基础上，价格合理；再次，普发真空的辅助测量系统使用便捷而稳定，能对持续大半年的不间断探测运行提供可靠的支持；最后，普发真空的售后服务也很完善，能够提供各种技术支持和泄露检测解决方案等等，从而有力地支持了整个PandaX项目运行。从现在到未来，普发真空不断助推暗物质探测目前，普发的真空泵Hicube300Pro和Hipace300已经在PandaX-4T实验项目中得到了成功实践。一方面，真空泵作为必要备件被部署于上海研发实验室的暗物质探测器的子系统中，配合优化和升级的需要；另一方面，普发真空泵被部署于位于世界岩石覆盖最深的四川锦屏地下实验室暗物质探测系统中，实现稳定运行。从实际探测过程看，普发真空泵基本保障了整个探测系统的低温真空环境，为确保探测的灵敏度和精度保驾护航。值得一提的，由于系统运行的特殊地理环境等因素，可靠实时地保障系统各层级的极限真空度，系统部件必须确保极低的漏率，因此PandaX-4T项目还使用了ASM 340D系列检漏仪。通过采用该设备，可以有效地监测出来细微到10-13 Pa•m3/s 的泄漏。 “在目前PandaX-4T项目的基础上，实验室还在研发30吨液氙的探测项目，希望把精度推向下一个数量级。在我们的计划中，从2025年到2035年，这一项目预计总投资将达到数十亿人民币，需要购买47吨液氙来进行暗物质探测。”对于未来的研究计划，巨永林教授满怀信心，也满怀期待，“毫无疑问，液氙的量级越高，对于低温真空环境的稳定性要求也会越高，未来对高性能真空泵的需求也是非常大的。我们希望，以普发真空为代表的企业，能为我们的基础物理研究不断提供更好的工具支持。” 关于普发真空普发真空- (Stock Exchange Symbol PFV, ISIN DE0006916604)-作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的复合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵, 同时还拥有各种旋片泵，干泵，罗茨泵，多级罗茨泵，检漏仪，真空计， 质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。 从普发真空发明涡轮分子泵至今, 我们在全球分析仪器、工业、科研、半导体和前端技术领域，始终代表着创新的解决方案和高品质的产品。公司自1890年创立至今百余年始终走在世界前沿， 在全球拥有 3,400 多名员工，20 多个办事处和 10 个制造工厂。

新型高性能罗茨泵可节省约20%的抽真空时间，并将维护和能耗成本降低 50％以上新型罗茨泵适用于粗真空、中真空应用各式罗茨泵站为多种应用提供高抽速的可靠解决方案2022年3月8日作为全球领先的真空技术供应商之一，普发真空推出新型高抽速紧凑型罗茨泵以拓展其HiLobe®系列产品组合。相比传统罗茨泵，该产品可节省约20%的抽真空时间，并将维护和能耗成本降低 50％以上，从而为电子束焊接、真空炉、冷冻干燥，锁定室或泄漏检测系统等众多工业真空领域内具有快速抽空需求的用户带来更可靠、更高效的创新型应用。此款紧凑型罗茨泵采用了全新的驱动设计与变频器，额定抽速范围最高可达13,600 m3/h。一方面，其独特的转速控制器功能使这款泵能够满足不同客户的具体要求。另一方面，强大的驱动设计也让HiLobe®罗茨泵比传统罗茨泵节省大约 20％的抽真空时间。快速抽空不仅降低了成本，还能有效提高生产设备的效率。与传统罗茨泵相比，HiLobe®罗茨泵能将维护和能耗成本降低 50％以上。这要得益于高效节能的驱动装置和优化了泵的转子几何形状。此款罗茨泵最大积分泄漏率为 1 · 10-6 Pa m3/s，极好的密封性使其不再需要动态密封，仅需每四年维护一次，从而降低维护成本。另外，控制和通信是提高系统可用性的关键因素。HiLobe®罗茨泵的智能接口技术可以很好地调整和监控工艺，因此可以提高工作的前瞻性和效率。通过集成“状态监控（Condition Monitoring）”，用户能够实时获得有关真空系统状态的信息，从而做到合理并有预见性地规划维护措施，有效避免生产中断带来的高昂成本，在提高设备可靠性和操作安全性的同时延长产品寿命。此外，HiLobe®罗茨泵可以垂直或水平安装，做到最大限度地提高泵送速度，并且更实际、更有效地利用生产空间。除单个组件外，普发真空还提供配备不同前级泵、分级部件和配件的各式罗茨泵站。这种罗茨泵站适用于粗真空和中真空，是一种在过渡区域（大气压最高至 10-3 hPa）具有高抽速的可靠解决方案。不同真空泵的正确组合为各种在生产和研究领域的应用提供了最佳的解决方案。HiLobe®罗茨泵是普发真空研发历程中一座重要的里程碑。自2019年亮相中国市场以来，它以紧凑的结构尺寸和显著降低的功率消耗广受好评，我们很高兴能够通过推出新款罗茨泵来继续完善现有的 HiLobe®系列。安德烈亚斯·维尔茨(Andreas Würz)普发真空产品经理

自1958年发明以来，涡轮分子泵（简称分子泵）一直被认为是高真空技术的驱动力。由于其可靠的真空生成能力，它已成为半导体生产和其他行业中不可缺少的组成部分。它的发明者Willi Becker，当时在Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik GmbH（今天的Pfeiffer Vacuum GmbH）担任了13年的技术实验室负责人，他几乎想不到在63年后，一束激光将引领分子泵进一步革新。这是因为激光动平衡是最新、最有效的平衡技术方法，可以提高涡轮分子泵的使用寿命和性能。激光动平衡是在普发真空开发的，并获得了专利。--这个地方就是当年Willi Becker发明涡轮分子泵的公司。涡轮分子泵的结构Structure of the turbopump时至今日，涡轮分子泵仍然是产生无油高真空和超高真空的关键。被发明后，它立即逐渐取代了原有的真空产生的抽气原理。在20世纪60年代，人们对高真空的需求开始越来越多，于是迅速将涡轮分子泵确立为在各种应用中作为高真空和超高真空产生的标准。离开了它的使用，半导体制造或镀膜的许多工艺步骤就不可能实现。涡轮分子泵的设计类似于涡轮机。在泵的内部，几个转子盘被安装在一个轴上（图1）。在它们之间是定子盘，其叶片方向与转子叶片方向呈镜像反转。因此，要泵送的气体分子从高真空法兰沿着各个涡轮级被输送到前级真空法兰。涡轮分子泵的转子有一个无刷三相同步电机驱动。这使得旋转频率可以达到1500Hz。转子轴的轴承则由高真空侧的永磁轴承和前级真空侧的高性能球轴承组成。尽管球轴承有少许的润滑油，但该泵产生的是无油真空。“结合非常高的速度，平衡涡轮泵的转子是一个特别的技术挑战。这种复合轴承在机械工程中很少见，它代表了轴承的一个特殊应用，因此也代表了它的动平衡技术，与通常的轴承技术不同。结合非常高的速度，涡轮分子泵转子的动平衡是一项特别具有挑战的技术。这是因为动平衡质量对涡轮分子泵的使用寿命和性能有很大影响。图1 | 混合轴承涡轮泵的剖面模型，显示了带有永磁轴承和球轴承的转子轴轴承布置。转子平衡的背景Background to rotor balancing在实践中，每个旋转部件都会表现出一定的不平衡，这是不可能完全避免的。为了能够在以后的运行中尽可能地减少振动，必须采取适当的措施来减少越来越快的旋转转子的不平衡。最典型的过程可能是平衡汽车轮胎的过程。如果车轮表现出不平衡，这将通过方向盘的振动而变得明显。这种物理现象也被称为离心力。DIN ISO标准的定义将转子的不平衡描述为：由于不平衡的离心力，振荡力和运动被传递到轴承上的情况。即使是视觉上看起来对称的物体，在现实中也会出现质量分布的轻微不平等。例如，这可能是由于部件的制造过程或原材料密度的不均匀性造成的。不平衡这一术语描述了这种不平衡的质量分布。其他原因可能来自于设计或装配。此外，由于磨损或沉积，不平衡也可能在运行中发生。不平衡的情况可以用一个轴向延伸最小的盘状转子的例子来描述（图2）。这个转子以角频率ω.旋转。每个质量粒子m_i产生一个离心力\vec{r_i}，作为其半径\vec{F_i}的函数，其方向由\vec{r_i}：给出。\vec{F_i}=m_i·\vec{r_i}·ω^2公式1所有单个离心力\vec{F_i}的矢量总和给出了所产生的离心力\vec{F}，它作用于转子的轴承。\vec{F}=\sum_{i=1}^{n}m_i·\vec{r_i}·ω^2公式2如果现在有一个合成后的离心力（\vec{F}≠0），那么转子就有一个不平衡（图3）。这种情况可以用一个单一的不平衡u\vec{r}，来描述，它与结果离心力\vec{F}：相对应。图2｜在盘形转子上，每个质量粒子都会产生m_i离心力\vec{F_i}.在完全平衡的质量分布下，所有离心力在旋转过程中都会抵消。图3｜盘形转子的不平衡状态可以用单个不平衡u\vec{r}来描述（a）。由于旋转，循环的离心力导致了振动（b）。\vec{F}=\sum_{i=1}^{n}m_i·\vec{r_i}·ω^2=u·\vec{r}·ω^2公式3消除方程两边的速度影响，可以得到以下计算不平衡速度\vec{U}：的公式。\vec{U}=\sum_{i=1}^{n}m_i·\vec{r_i}=u·\vec{r}公式4其中不平衡度的单位是kg-m或通常是g-mm。根据这个例子，很明显，当一个有不平衡的物体被设置为旋转时，会产生不理想的旋转力（图3b）。产生的力取决于旋转速度和不平衡的高度。它们会导致轴承上的额外负载和更高的磨损。此外，还产生了振动，这些振动通过轴承传递到轴承座以及其他机械连接部件。这些振动也会导致损坏。“涡轮泵的转子速度最高可达90,000转/分。涡轮分子泵的转子达到每分钟90,000转或每秒1,500转的速度。由于由此产生的力随着速度的增加而呈四次方增加（公式3），因此对不平衡的最小化要求非常高。在几毫克的范围内，最轻微的不平衡已经可以对泵的运行产生很大影响。因此，高质量的平衡对于转子的平稳运行和涡轮分子泵多年的无损坏运行至关重要。它还能确保最大限度地减少传递到真空室和客户应用中的振动。传统的转子平衡Conventional rotor balancing从技术上讲，即使在今天，也不可能造一个没有不平衡的转子。所描述的发生不平衡的原因清楚地表明，每个转子都有自己的不平衡分布--即使是在批量化生产中。不平衡的公差决定了转子的质量分布是否符合要求。检查和纠正转子的质量分布是通过平衡过程描述的。不平衡可以通过在垂直于转子轴线的修正平面上施加或移除质量来进行修正（图4），因此，以下情况是成立的图4｜盘状转子表现出不平衡的现象\vec{U}（a）.这可以通过应用额外的质量来纠正\vec{u_a)}（b）或在相同的角度位置移除质量(-\vec{u_a}))来纠正。图5｜一般转子的不平衡状态在本例中由八个盘状转子元件描述，每个元件都有自己的不平衡向量U_i在每种情况下都有自己的不平衡矢量。\vec{U}+u_a·\vec{r_a}=0公式5从公式5可以看出，修正质量和修正半径的乘积必须是\vec{r_a}，对应于转子现有的不平衡度\vec{U}。在这种情况下，质量分布的修正可以在不平衡的同一角度位置进行，也可以在相反的方向进行。在传统的平衡技术中，额外的质量被应用，这种了校正--类似于汽车轮胎的平衡。在这里，平衡砝码被拧入不平衡的另一侧的特殊孔中（图4b）。另一种流行的方法是借助于加工工艺，在不平衡的相同角度位置上去除质量，进行质量校正（图4c）。这包括，例如，磨去材料或通过钻孔或铣削去除。图6｜传统平衡涡轮泵转子的说明：a ）测量和平衡平面的位置，b ）垂直于旋转轴的平衡平面的说明，有相应的孔用于容纳平衡砝码。由于转子有一定的轴向长度，现在要从三维角度考虑一般转子的不平衡状况。沿着转子轴线可以出现无限多的不平衡。由于真正的不平衡在实践中无法测量，一般转子被分解成几个转子元件。这些又对应于盘形转子（图 5）。因此，一般转子的不平衡状态可以通过所有转子元件的有限数量的不平衡向量\vec{U_i} 来合理准确地描述。然后根据不平衡状态，在一个或多个修正平面（也称为平衡平面）进行质量平衡。在传统平衡中，转子被安装在一个特殊的平衡系统中，并加速到特殊的固定平衡速度。由于不平衡，在轴承中产生离心力，这反过来又导致转子的振动。借助于距离传感器，在两个轴承位置的测量平面上，测量由振动引起的径向偏移（图 6a）。由此产生的不平衡向量\vec{r}是借助于专有的计算算法和所谓的影响系数矩阵A，从径向偏移\vec{U} 中确定的。\vec{U}=-A^{-1}·\vec{r}公式6开始时，这些系数必须根据转子的情况，通过拧入几个测试不平衡来确定。为此，将已知质量的特定测试砝码安装在转子的规定位置，并测量反作用力。使用单个测量的径向偏移和拧入的测试不平衡，可以计算出所需的矩阵和单个影响系数。然后，它们描述了来自给定实际转子和平衡系统的系统。它们对具有相同几何形状或相同设计的所有系列转子都有效。为了减少转子的总不平衡，它沿着旋转轴被分成几个垂直于轴的平衡平面。为了容纳平衡砝码，在转子的这些平面周围径向钻有孔。平衡孔的定义位置被称为固定位置平衡。平衡算法确定每个平衡平面的平衡砝码，通常将它们各分为两部分。然后沿着各个平面的圆周手动拧入平衡砝码。转子的不均匀质量分布被减少了 - 剩余的不平衡也随之减少。因此，规定的公差得以保持。在整个过程中，不平衡被确定在不同的速度下，并逐渐被纠正。这样就可以减少转子的振动，使之达到额定速度。图7｜在两个不同的平衡平面上，激光烧蚀后的分段几何形状照片。图8｜激光平衡涡轮泵转子的插图，显示测量和平衡平面以及激光束方向的示意图。激光动平衡法The Laser Balancing Method对涡轮分子泵的要求分为主要和次要性能。虽然主要性能涉及泵的基本性能，但自过去十年以来，对涡轮分子泵的应用要求在次要性能方面也在增加。因此，高速转子需要不断地进一步发展。这包括，除其他外，转子的使用寿命、振动噪音产生以及与部件和表面的排气行为有关的清洁度。振动噪音产生是泵在壳体处发出的声音和振动。导致振动噪音产生增加的主要原因是转子不平衡。新型激光动平衡系统弥补了这一问题，使涡轮分子泵转子的平衡更加有效，通过省去平衡孔和砝码，传统的平衡过程得到了优化。平衡过程的完全自动化在这里也起到了关键作用。首先，要平衡的转子被安装在自动激光平衡系统中。在该系统内，激光器被封装在一个特殊的室中。这意味着，激光辐射不会对环境造成危害。质量平衡以及测量和确定不平衡的各个步骤是以不同的的速度反复进行的。这使得在所有速度范围内获得精确和有效的平衡转子成为可能。与传统的平衡一样，涡轮泵转子的径向偏移是在轴承附近的两个测量平面上用距离测量传感器测量的。在不平衡被先进的平衡法确定后，质量平衡被抵消。在不平衡矢量的相同角度位置，用激光除材料。不平等的质量分布因此得到了纠正。高能脉冲激光束对平衡平面内的转子材料进行局部加热，使其发生汽化或者升华。在这个过程中，材料可以在沿圆周的任何一点以确定的分段几何形式被移除（图 7）。“高能脉冲激光束对平衡平面内的转子材料进行局部加热，使其发生气化和/或升华的熔化。与传统的平衡方式相比。即用螺丝拧紧平衡砝码或用铣或钻的方式去除质量，激光烧蚀的工作方式更为精确。因此，可以实现明显较低的残余不平衡度。材料特性不受影响。结合一个可以相对于激光器移动的镜子系统，即使是单一的加工激光器也可以达到不同的平衡平面（图8）。这使得新转子的设计以及平衡平面的定义和排列更加灵活。由于没有几何定义的平衡孔，以及激光的精确性，允许在第一道平衡中烧蚀段的任何位置。这正好纠正了各个平衡平面的必要角度位置的质量分布不均。在随后的平衡过程中，平衡系统的算法考虑到已经处理过的烧蚀段，并相应地放置其他段。一旦整个速度范围内的残余不平衡按照公差得到纠正。转子就会从自动系统中取出。图9｜带有集成涡轮泵的电子显微镜的两幅图像的比较：a ）高真空（HV）凸缘处较强的振动（~20纳米）导致高倍率下的图像模糊，b ）较低的振动（~5纳米）获得更清晰的图像（图像由捷克TESCAN公司提供）激光动平衡法的优点Advantages of the Laser Balancing Method在许多集成涡轮分子泵的设备和应用中，转子的低振动和/或安静运行是其运行的先决条件。因此，激光平衡转子代表了其应用领域的一个重大进步。与基本的计算算法相结合，它们确保在现代自动平衡系统中更有效地纠正剩余不平衡。如果残余不平衡U_{Rest}减少，这对转子的平衡质量等级也有影响。在这种情况下，平衡质量高的转子意味着平衡质量等级G的数量少。ω：转子的速度[Hz] ；m：转子的质量[kg]和G：通常以mm/s为单位。G=U_{Rest}·\frac{ω}{m}公式7根据不平衡公差，这将减少残余不平衡。从而使平衡等级降低约50%。因此，由不平衡引起的离心力被最小化了。转子材料，特别是轴承所承受的压力也因此减少。由于这个原因，带有激光平衡转子的涡轮分子泵有更长的使用寿命。此外。较低的振动通过轴承传递到泵壳。在操作过程中，这对泵和敏感部件或与涡轮泵机械耦合的过程的噪声排放有积极的影响。在激光烧蚀过程中产生的颗粒已经被提取和过滤了。此外，随后对激光平衡转子的清洗保证了最大的表面清洁度。“带有激光平衡转子的涡轮泵具有更长的使用寿命，并将更少的振动传递给泵壳。应用实例是离子迁移率光谱仪，它被用作实验室工作站的台式设备。在这种情况下，集成涡轮分子泵的低噪音运行是必须的。另一个例子是电子显微镜，只有通过振动优化的转子和低振动噪音产生才能实现清晰的高分辨率图像（图 9）。所描述的创新激光平衡的优势说明了与传统平衡的转子相比，激光平衡的转子的技术进步。随着转子寿命的延长和涡轮泵振动和噪声排放的减少，该工艺代表了真空技术的另一个里程碑，为新的涡轮分子泵转子的设计提供了更大的灵活性。

普发真空历史上的一个重要里程碑是在1955年发明了涡轮分子泵。从那时起，公司约3400名员工持续致力于改进真空技术。就在最近，激光平衡技术的发明又成为一大革新。它提供机器更长的使用寿命，同时能明显降低振动和噪音排放。但是，让我们从头开始。传统的涡轮分子泵工作原理的基础是什么？以及如何为您的应用选择合适的（前级）泵？涡轮分子泵的发明第一台涡轮分子泵是在1955年发明的。当时，Willi Becker博士在Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik GmbH（现在的Pfeiffer Vacuum）已经任职13年，担任技术实验室负责人。他关注的问题是如何防止扩散泵中的油回流到泵壳中。为此，他将一个旋转风扇轮作为挡板。通过这种方式，气体粒子沿压力梯度方向流动，没有明显的传导损失。在这相反方向，倒流的油分子被旋转的风扇轮反射。这阻止了分子到达高真空一侧。在进一步的研究中，贝克尔博士注意到，这种设计不仅减少了扩散泵油回流的问题，同时还产生了较低的总压力。然后，他应用了一个转子-定子组合和多个串联的泵级。在这种设计中，他使用了左右两侧对称流模式--一个由皮带驱动的转子，速度达到16,000转/分钟。该泵重62公斤，抽速为900立方米/小时，在1956年获得专利，是今天所有涡轮分子泵的先驱。1958年，在比利时纳穆尔举行的国际真空大会上，该泵首次被展示。如果没有这项发明，我们的现代生活将是不可想象的--因为没有涡轮分子泵，半导体生产的许多制造步骤以及无数的真空镀膜工艺将不可能实现。*威利-贝克尔博士，1958年在阿瑟-普发真空技术有限公司（今天的普发真空）的实验室里图1｜涡轮分子泵的工作原理工作原理和压缩比涡轮分子泵是如何工作的？从快速旋转的叶片到被抽气的气体分子的动量转移是转子和定子叶片排列的泵送作用的基本原理（图1）。撞击到叶片上的分子被吸附在那里，并在短时间内再次离开叶片。叶片速度v被叠加到分子热运动速度c。分子热运动速度c是分子离开泵的速度。分子流动必须在泵中占主导地位。否则，叶片传递的速度分量将通过与其他分子的碰撞而丢失。因此，平均自由路径T必须大于通道高度h。在泵送气体的过程中，动能泵中会出现背压，导致倒流。S0 表示没有前级压力的抽速。它随着前级压力的增加而减少，在最大压缩比K时达到0值。压缩比K0，可以根据Gaede[1]来估计。对于视觉密集型叶片结构（图1），Gaede的公式适用。图2 ｜转子和定子叶片的排列方式 （） Gaede的公式其中： pV = 前级真空压力 pA = 吸气压力 v = 叶片速度  = 平均分子热运动速度 L = 通道长度 h = 通道高度 g = 用于指定平均冲击距离的系数，是通道高度的倍数（1在图中用v-cos α替换公式v，用b替换L，用t-sin α替换h，我们可以得到 （α） 根据Gaede的估计，假设叶片是视觉密集的，因此满足cos α = t/b的条件（见图1）。对于较大的叶片间距，这意味着压缩量减少。 （α） 几何比率取自图1。因子g在1到3之间[2]。K0 因此，随着叶片速度v和   aaan的增加呈指数增长。 π R 是通用气体常数。T 是热力学温度和。M 是分子质量。因此，氮气的压缩比要比氢气的压缩比高得多。抽气速度的计算抽气速度S0 与吸气面积A和叶片的平均圆周速度v，即旋转速度成正比。如果考虑到叶片角度α，就可以得到这个结果。 ααα 考虑到法兰盘的进口流导  和45°的最佳叶片角度，重质气体（分子量>20）涡轮分子泵的有效泵送速度Seff近似于以下公式 （） 通过将有效泵送速度除以最上层圆盘的叶片进口面积，并考虑辅助系数df≈0.9和叶片厚度堵塞的面积，可以得到涡轮分子泵的最大特征泵送速度SA（图2中以氮气为例绘制的曲线）。 （） 图3的Y轴上画出了以l·s-1 ·cm-2为单位的比抽速，X轴上画出了循环频率f和叶片的外半径（Ra）和内半径（Ri）的平均叶片速度v=π-f-（Ra+Ri） 。从X轴上的一个选定点垂直向上移动，与曲线的交点显示了该速度下泵SA的最大特征泵送速度。乘以输入盘的叶片面积：A=（Ra2-Ri2）·π ，就可以得到抽气速度。图3｜涡轮泵的具体泵送速度图4｜泵送速度是相对分子量的函数图3中输入的点是根据所示的Pfeiffer Vacuum泵的测量值确定的。远高于曲线的点在实际上是不可能的。以这种方式确定的泵送速度还不能说明轻质气体的数值，例如氢气（图4）。如果涡轮分子泵是为低极限压力而设计的，就会使用不同叶片角度的泵级，并对氢气的最大泵速进行分级优化。这样就能同时为氢气（约1000）和氮气提供足够的压缩比的泵。由于空气中的氮气分压很高，压缩比应该在10的9次方左右。对于由转子和定子盘组成的纯涡轮分子泵，由于其分子流的要求，前级真空压力需要达到约10-2 hPa（图5）。图5｜抽速与抽气压力的关系图6｜霍尔韦克级的工作原理霍尔韦克级的特殊功能Holweck级（图6）是一个多级Gaede分子泵，有一个螺旋形的泵通道。由于转子的旋转，进入泵通道的气体分子在泵通道的牵引方向上得到一个速度。由于转子和分离分隔Holweck级的挡板之间存在间隙，因此会出现回流损失。为了尽量减少回流，间隙的宽度必须保持较小。圆柱形套筒（1）被用作霍尔韦克平台的转子，它在定子（2）的螺旋通道中旋转。如果定子被安排在转子的外部和内部，两个霍尔韦克级可以很容易地被整合到一个泵中。这样，被泵送的气体颗粒首先通过转子外侧的定子通道，然后再通过转子内侧的定子通道向上输送。从那里，它们通过一个收集通道，到达前级泵。现代涡轮分子泵有时有几个这样的"折叠式"霍尔韦克级，其泵送速度S0是相同的。 α 这里，b - h是通道的横截面，v - cos α是通道方向的速度分量。随着通道长度L和速度v - cos α α 压缩比就会增加。图7｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵的压缩比今天，涡轮泵配备了Holweck级，是为了使极限压力在0.5-5hpa之间，以隔膜泵为前级建立起涡轮分子泵系统，这些被称为涡轮拖动泵。由于涡轮泵的高压缩比，只需要很小的泵送速度就可以为Holweck级产生低的本底压力。因此，排气通道--特别是通道高度和到转子的间隙--可以保持得非常小，分子流可以保持在1 hPa范围内。氮气的压缩比同时增加了所需的10的3次方数量级。在图9中，我们可以看到压缩比曲线向更高压力的方向移动了大约10的2次方。在为高气体吞吐量而设计的涡轮分子泵中，在气体吞吐量、前真空兼容性和颗粒容忍度之间做出了妥协。在这种情况下，Holweck级的间隙距离尺寸要大一些。图8｜带有隔膜泵的HiCube Eco涡轮分子泵站图9｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵对氢气的压缩比选择正确的前级泵涡轮分子泵和前级泵的压缩在获得最低的压力范围方面起着重要作用。这对于氢气等轻质气体来说尤其如此。在以前的超高真空应用中，前级泵已经能够提供10-2hPa左右的低压。涡轮分子泵的压缩比可以在此基础上确定。旋片泵、多级罗茨泵或泵站等前级泵可以提供这样的低前级压力。尽管旋片泵是比较经济的选择，但当涡轮泵关闭时，有油倒流的风险，特别是在错误操作的情况下。干式前级泵甚至泵站，能产生很低的前级真空，其价格要高得多，而且需要相对较大的空间，这在许多应用中是一个不利因素。这里最理想的解决方案是使用一个小型的、低成本的干式前级泵。图10｜前级泵 - DuoLine旋片泵和ACP多级罗茨泵大多数涡轮分子泵是全能型的。除了良好的压缩性能，它们还提供大的泵送速度和高的气体吞吐量。然而，在极少数超高真空应用中，高气体吞吐量根本没有发挥任何作用。相反，泵送速度和对轻质气体的出色压缩比才是最重要的。涡轮分子泵的霍尔韦克级为最大压缩值进行了优化，这不可避免地减少了泵的气体吞吐量。然而，这对上述应用来说是次要的。然而，备用泵和涡轮分子泵的总压缩比的很大一部分可以转移到涡轮泵上的事实是非常有利的。因此，带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵可以在明显高于前级压力的情况下排气，以达到相同的极限压力。因此，在使用带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵时，一个小型隔膜泵就足以产生超高真空（见图9，表1）。表1｜使用Hipace300H和不同的前级泵所能达到的极限压力图11｜HiPace 300 H涡轮分子泵这种优化的涡轮分子泵具有很高的真空兼容性，因此隔膜泵毫无疑问仍然可以在间歇模式下运行。只有当前级的真空压力达到一个不允许的高值时，才需要开启它。众多的应用表明，隔膜泵的运行时间不到总时间的10%。除了由此带来的能源节约外，前级泵较低的热辐射和最终在实验室中几乎无噪音的运行也不应被低估。此外，为了保持极低的压力（见图9和表1），通常连接在涡轮分子泵下游的离子捕集泵就不再需要了。因此，通过现代涡轮分子泵中Holweck级的智能互连，可以大大增加压缩比，特别是对轻质气体。简单、小型的前级泵可用于在低UHV范围内产生非常低的压力。与过去使用的选择相比，这是一个非常大的优势。然而，同样重要的是指出这些解决方案的局限性。高压缩比的涡轮泵不太适合大气体负荷。激光平衡技术2021年，Pfeiffer真空公司推出了激光平衡技术。这是一种新颖的方法，为涡轮泵的转子提供更有效的平衡。不再将平衡配重拧入平衡孔，而是借助于高能激光束去除材料。因此，质量平衡的方法是完全相反的。这种方法确保显著降低残余不平衡，从而减少振动和噪音排放，延长球轴承的使用寿命。因此，Pfeiffer真空公司的涡轮分子泵可以被更有效率的使用。该技术已获得专利，在全球市场上独一无二。图12｜作为激光烧蚀的先驱，普发真空公司能够在纳米级范围内平衡转子HiPace 80 Neo震撼发布搭载专利 Laser Balancing™ 激光平衡技术，适用于振动敏感应用更出色的温度管理、更坚固的轴承材料、更卓越的润滑性能，确保高可靠性体积小巧紧凑，打造便捷高效的使用体验普发真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型 HiPace 80 Neo 涡轮分子泵，同时问世的还有普发真空专为涡轮泵转子开发的 Laser Balancing™ 激光平衡技术。采用这项专利技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。

► 适用于粗真空、细真空的ATEX 认证；► 具最高运行安全性的严格密封；► 大抽速范围。德国阿斯拉尔，2021 年 5月。针对潜在爆炸性环境中的工艺过程或爆炸性气体的排空，全球领先的真空技术供应商普发真空推出并升级适用于粗真空与中真空的磁耦合式罗茨泵产品，该系列符合欧洲ATEX防爆指令（2014/34/EU1或 1999/92/EG），耐压力波动性为PN16，满足最高级别的防爆保护要求。该系列罗茨泵排除了爆炸性气体的区域夹带，应用领域从化学、生物技术和制药行业进一步扩展到真空炉或热处理等工业应用。扩展后的防爆罗茨泵抽速范围可从280至8,100 m3/h ，根据不同应用情况，客户可在设备类别2G和3G之间进行选择，所有泵均适用于T3温度等级，无需附加阻火器即可安装，保证了整个抽速范围的有效性。►►►  普发真空扩展防爆 OktaLine ATEX 罗茨泵系列另外，OktaLine 罗茨泵可靠性高，长期运营成本低，不仅能有效帮助客户降低运营成本约20%，还可显著减少维护成本。可变压差和可变转速促进了应用灵活性，所有泵均可在-20 °C~ +40 °C 的环境温度下予以使用。通过标准化磁力耦合器，OktaLine 罗茨泵能够达到最低泄漏率 10-6 Pa m3/s ，抗压力冲击能力高达 1600 kPa。磁力耦合器免除了轴用密封圈，解决了压力冲击、工艺过程污染和需要频繁维护的问题。振动测量选配件也进一步增强了运行安全性。此外，磁力耦合器可防止区域夹带，集成的温度传感器可防止热过载。这将监控出口区域的气体温度，保障运行过程更加安全。OktaLine 罗茨泵可以在没有旁路的情况下运行，即使在被动转动时也可以实现ATEX防爆保护。通过使用符合 IEC 标准的 ATEX 电机，客户可进行现场更换，便于本地维护。◄◄◄长按识别左侧二维码获取更多 OktaLine ATEX 相关信息

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当电子束焊接系统遇上真空泵和泵组，时长02:19普发真空和Steigerwald Strahltechnik建立了长期合作关系，把真空技术融入设备设计和生产的整个过程中。Steigerwald Strahltechnik找到了普发真空，作为其可靠的合作伙伴，为电子束焊接系统所需的真空泵和泵组提供最佳技术解决方案。Ingo Heitz, 普发真空的应用和项目经理，在泵组设计的所有问题上为客户提供支持。“ 从最初的想法，到真空系统的咨询和设计，再到现场服务。我们和普发真空协力共事，一同为客户提供定制化解决方案。”Steigerwald Strahltechnik GmbH董事总经理Patrick Meixner在过去的130年中，普发真空持续合作，共创可持续发展的解决方案。在真空技术的领域中持续创新未来，就是普发真空的目标。

全新硅谷创新中心（SVIC）普发真空在未来半导体技术领域与客户开展协作硅谷创新中心将帮助客户测试和评估新的真空解决方案普发真空专家团队提供专业技术与知识支持2021年12月14日全球领先的真空解决方案供应商普发真空全新建立了一个规模达一万平方英尺的硅谷创新中心 (SVIC)，这座最先进的真空技术研发中心位于美国加州圣何塞市白令大道2381号，启动后可创造20多个高科技工作岗位。凭借其在半导体领域丰富的应用实践以及集成化的产品，普发真空持续为半导体市场以及分析、工业、研发市场提供领先的真空解决方案。新建的硅谷创新中心将致力于为北美客户解决有关高真空技术的所有技术问题，便于客户在早期开发阶段就能测试和评估为其应用设计的新真空解决方案。此外，创新中心的专家和研究人员将为所有普发真空产品直接提供专业技术支持，并与全球普发真空研发部门建立无缝连接。普发真空致力于为半导体行业的客户推动创新，并支持未来技术的发展。为了践行这一愿景，我们打造了硅谷创新中心。Britta Giesen 博士普发真空技术股份公司首席执行官在半导体工业中，真空技术被用于生产微处理器、存储介质、高清显示器等，主要涉及大量中型和大型前级泵，以及涡轮泵和测量仪器。另外，借助污染分析和泄漏检测系统，芯片制造商可以显著提高产量。随着微处理器生产的复杂性不断增加，与硅谷客户的直接合作对我们来说越来越重要。为了与我们的客户进行更密切的合作，高效地设计出能解决他们技术挑战的真空产品和解决方案，硅谷创新中心及其专家团队将扮演至关重要的角色。—— 普发真空北美销售副总裁 Ming Lee普发真空打造全新硅谷创新中心 助力未来半导体行业发展

普发真空支持科研项目资助2021年度伦琴奖得主奖金用于研究治疗年龄相关性黄斑变性的新方法普发真空和雄克集团（Schunk Group）长期支持青年科学家2021年11月29日阿斯拉尔德国吉森大学（JLU）公布2021年度伦琴奖的获奖人，普发真空与路德维希·雄克基金会（Ludwig Schunk Foundation）共同捐赠15000欧元奖金，以资助其研究项目。获奖人达莎·埃琳娜·内利多娃（Dasha Elena Nelidova）博士是一位生物学家和医生，在巴塞尔分子和临床眼科研究所 （IOB）从事博士后研究员工作，她将把该奖金用于研究治疗年龄相关性黄斑变性的新方法。伦琴奖始于1960 年，伦琴奖的设立是以纪念于 1879 年至 1888 年在德国吉森大学物理系担任教授的、第一位诺贝尔物理学奖获得者威廉·康拉德·伦琴，该奖项每年都对在辐射物理学和辐射生物学等基础研究领域取得重要科研成果的青年科学家进行表彰。去年，吉森大学和捐助者共同制作了迷你版著名吉森伦琴纪念碑，以实体承载该奖项。本年度获奖者，内利多娃博士开发了一种基于红外辐射接收的新方法，用以恢复因黄斑变性导致的视力问题——这在工业化国家中是最常见的失明原因。她将纳米技术与基因治疗相结合，开发了一种近红外传感器，使患者能够再次从视觉上感知周围环境。该方法已在老鼠和人体的视网膜上测试成功。在未来，内利多娃博士除了在巴塞尔分子与临床眼科研究所进行科研外，还将在大学附属医院的眼科学领域工作。此前，她的研究就已斩获多个奖项，并获得两项发明专利。在吉森大学举行颁奖典礼之前，获奖人还参观了普发真空公司，并进行了研究成果报告。作为科学领域领先的真空设备供应商，普发真空长期支持青年科学家开展研究项目，为前沿科学研究贡献力量。生物学家和医学博士 Dasha Elena Nelidova 博士获得伦琴奖。普发真空和雄克集团助力年轻科学家研究发展。德国吉森大学JLU罗恩根奖。照片：JLU/Katrina Friese

为德国北黑森州学生研究中心青年研究团队提供支持助力院校科研项目，帮助青年研究人员开发新技术为扫描电子显微镜提供尖端泵技术，助其减少碳足迹2021年11月10日上海近日，普发真空向德国北黑森州学生研究中心 （SFN）捐赠一个HiScroll前级泵，为来自不同学科的青年研究人员提供基础设施支持和实践机会，以帮助他们获得新一代的工艺与产品开发思路，以科学实验为制造商提供决策依据。为了给独立式住宅开发一种将二氧化碳转化为氧气的过滤器，并使转化流程更加稳定，北黑森州卡塞尔大学的学生研究中心使用一台由蔡司（ZEISS）公司捐赠的扫描电子显微镜承担此项任务。电子显微镜是一种能看到最小结构的仪器，要运行这种类型的仪器并使其保持能量平衡，必须使用能帮助电子显微镜提高能源利用率并减少碳排放的真空泵。由于目前无法量化电子显微镜的能量平衡，卡塞尔大学的Frank Zeismann 博士指导学生们用科学方法研究电子显微镜的碳足迹，他表示：“在用普发真空的 HiScroll 泵更换电子显微镜的旧泵后，它的低噪声排放令我们印象深刻。学生们正在计划观察其功耗，并对其碳排放进行科学记录，为电子显微镜制造商的决策提供科学依据。普发真空的尖端泵技术与北黑森州学生研究中心的蔡司扫描电子显微镜配合使用“普发真空非常关注对青年科学家的培养和支持。我们很高兴为学生研究中心提供目前最先进的无油前级泵，助力他们尽早优化显微镜的碳足迹，同时为可持续发展做出贡献。本次捐赠的新型涡旋泵是对仪器内已安装的普发真空涡轮分子泵的理想补充。需要在真空环境中运行的大型电器具有巨大的节能潜力，而我们可以通过使用现代技术和智能控件善用这种潜力。我很高兴看到青年研究人员正朝着这一目标努力。” 普发真空R&D行业负责人 Andreas Schopphoff如此讲道。，时长03:39长按识别左侧二维码下载获取有关HiScroll前级泵更多信息如需了解更多内容，敬请留言给我们哟

中国新能源汽车产业正迎来高速增长。据中汽协发布的最新数据显示，2021年8月，中国新能源汽车产销量首次均超过30万辆，同比均增长1.8倍，再创历史新高。其中，纯电动汽车产销量分别完成25.2万辆和26.5万辆，同比均增长1.9倍，新能源汽车渗透率已提升至17.8%。业内专家表示，按照这样的态势发展，中国有望提前实现2025年新能源汽车20%市场份额的中长期规划目标。NEVtech2021年9月28日-29日，第十一届新能源汽车技术论坛在上海隆重召开。该论坛围绕丰富的会议主题，畅谈中国新能源汽车发展战略、市场前景与技术突破。作为新能源汽车的心脏——动力电池的性能与安全也成为业内关注的焦点。根据保险数据统计，2021年8月动力电池装车10.26GWh，相较于去年同期，今年增长了98.2%。分析人士称，全球经济已经进入了“创新驱动”阶段，面对着越来越激烈的竞争，企业正通过不断加强技术创新、改进生产方式等各个方面满足客户和消费者的需求，寻求更高突破。不过一直以来，新能源汽车的安全性始终是消费者最为关心的问题之一，也是新能源汽车整个产业链的立身之本。业内人士指出，虽然动力电池技术不断提升，但目前新能源汽车多搭载磷酸铁锂电池和三元锂电池。尽管近年来，国内动力电池企业也正在试着通过研发升级、产品迭代，来提升竞争优势，锂电池技术有了很大的提高，但仍存在不少安全隐患。尤其电池泄漏极易引发电动汽车起火，现场还有可能有大量有毒气液渗出，造成环境污染的同时，对人们的健康造成危害。这些都要求进一步做好关键材料研发、动力电池全生命周期的安全防护设计等，为新能源汽车的发展筑牢基础。在9月28日下午，第十一届新能源汽车技术论坛“动力电池技术及电池安全”分论坛上，普发真空就“动力电池泄漏检测方法 安全可靠的残余气体分析法”发表演讲。重点讲解普发真空如何依托于在汽车制造行业内的丰富经验，为不同的汽车零部件，尤其动力电池方面提供全面的气体泄漏检测以及真空解决方案。普发真空是全球领先的真空设备和气体泄漏检测解决方案供应商之一，产品几乎涵盖所有真空和气体泄漏检测相关的设备，可在电池生产和检测各个工艺环节发挥良好作用。合浆：在真空的帮助下，防止气泡产生，生产出均匀的浆液。真空干燥：在真空下干燥电池的涂层电极可以保证小的水份残留，为下一步生产准备好电极。注液：电解液在真空下由高精度的定量喷枪引入，并通过交替抽空和惰性气体吹扫电池，确定压力曲线，激活毛细管效应，以此保证电解液的均匀分布，提高电池的质量和寿命。化成/脱气：在有真空保护的环境下，将电池形成过程中产生的气体提取出来，避免气体毒性和爆炸风险。最终测试：在生产结束后，对电气安全、密封性以及终端客户的订单规格进行最终测试，确保电池达到制造商要求的质量水平。泄漏检测：对电池组件、冷却、电池模块和电池组进行系统安全检测，保障电池的长期性能和安全运行。电池回收：在真空条件下实现电池回收工艺，减少资源浪费，促进可持续发展。残余气体泄漏检测微流量气体检测氢氦示踪气体检漏仪特别在电池检测方面，普发真空解决方案通过四极杆质谱法，配合普发真空多款产品，尽可能从源头杜绝电池泄漏，有效保障电池及新能源汽车安全。具有可靠、环保、安全，检测周期短、广泛适用于多种电解液环境等诸多优点。，时长02:38独特的在线质谱检测方法可以在电池完成封装后，测试密封性，填补了行业空白从一个配件到复杂的真空系统，普发真空能提供完整产品线和技术服务。新能源汽车是未来的大势所趋，谁掌握了汽车电池技术，谁就在新能源汽车的时代占据了主动优势。普发真空愿以高度的专业性和适用性，与众多车企携手，共同助力新能源汽车行业行稳致远。

BCEIA 2021第十九届北京分析测试学术报告会暨展览会 展会时间：2021年9月27日 - 29日 展会地点：中国国际展览中心天竺新馆 普发真空展位：E2-2353北京分析测试学术报告会暨展览会(简称“BCEIA”)，作为展示国际新技术、新仪器、新设备的窗口一直以来受到国内外众多专家、学者、科技人员的关注，近年历届展会所展示的新仪器、新设备均超过3000余台，展品包括分析仪器、生命科学仪器、实验室器材、试剂、软件和分析测试服务等，参展商以先进的分析测试理念、产品和技术、解决方案和观众进行面对面交流。01020304050607滑动查看更多现场精彩普发真空携一众产品亮相，带来了分流泵SplitFlow 200、分子泵 HiPace 10和Hipace 30、隔膜泵MVP003。现场还带来了GSD350实机，以便大家近距离深入了解产品地特点，并和现场地专业技术人员进行沟通。

作为极具规模及影响力的光电产业综合性展会，第23届中国国际光电博览会于2021年9月16-18日在深圳国际会展中心举办，同期六展覆盖信息通信、激光、红外、紫外、精密光学、镜头及模组、传感等版块。普发真空3号馆    3A83左右滑动查看更多现场照片普发真空HiLobe罗茨泵组3D打印模型首次亮相，模型采用了1：3缩放比例，精确还原了产品的模块化设计，可以直观展现HiLobe立式罗茨泵与HeptaDry螺杆泵的互装组合。现场还带来了Hicube™ RGA残余气体分析仪等产品，欢迎大家点击视频，跟随我们的技术应用工程师一探究竟。普发真空，空降 2021 CIOE光博会 #普发真空 现场直击#视频号不看的原因确定内容质量低不看此公众号

 2022 年 4 月 7日，上海——作为全球领先的真空技术供应商之一，普发真空推出新型高抽速紧凑型罗茨泵以拓展其HiLobe®系列产品组合。相比传统罗茨泵，该产品可节省约20%的抽真空时间，并将维护和能耗成本降低 50％以上，从而为电子束焊接、真空炉、冷冻干燥，锁定室或泄漏检测系统等众多工业真空领域内具有快速抽空需求的用户带来更可靠、更高效的创新型应用。图片说明：普发真空新型高性能HiLobe®罗茨泵此款紧凑型罗茨泵采用了全新的驱动设计与变频器，额定抽速范围最高可达13,600 m³/h。一方面，其独特的转速控制器功能使这款泵能够满足不同客户的具体要求。另一方面，强大的驱动设计也让HiLobe®罗茨泵比传统罗茨泵节省大约 20％的抽真空时间。快速抽空不仅降低了成本，还能有效提高生产设备的效率。与传统罗茨泵相比，HiLobe®罗茨泵能将维护和能耗成本降低 50％以上。这要得益于高效节能的驱动装置和优化了泵的转子几何形状。此款罗茨泵最大积分泄漏率为 1 · 10-6 Pa m³/s，极好的密封性使其不再需要动态密封，仅需每四年维护一次，从而降低维护成本。另外，控制和通信是提高系统可用性的关键因素。HiLobe®罗茨泵的智能接口技术可以很好地调整和监控工艺，因此可以提高工作的前瞻性和效率。通过集成“状态监控（Condition Monitoring）”，用户能够实时获得有关真空系统状态的信息，从而做到合理并有预见性地规划维护措施，有效避免生产中断带来的高昂成本，在提高设备可靠性和操作安全性的同时延长产品寿命。此外，HiLobe®罗茨泵可以垂直或水平安装，做到最大限度地提高泵送速度，并且更实际、更有效地利用生产空间。除单个组件外，普发真空还提供配备不同前级泵、分级部件和配件的各式罗茨泵站。这种罗茨泵站适用于粗真空和细真空，是一种在过渡区域（大气压最高至 10-3 hPa）具有高抽速的可靠解决方案。不同真空泵的正确组合为各种在生产和研究领域的应用提供了最佳的解决方案。普发真空产品经理安德烈亚斯·维尔茨（Andreas Würz）表示：“ HiLobe®罗茨泵是普发真空研发历程中一座重要的里程碑。自2019年亮相中国市场以来，它以紧凑的结构尺寸和显著降低的功率消耗广受好评，我们很高兴能够通过推出新款罗茨泵来继续完善现有的 HiLobe®系列。”

2021年12月27日，上海——12月10日，全球领先的真空解决方案供应商普发真空全新建立了一个规模达一万平方英尺的硅谷创新中心 (SVIC)，这座最先进的真空技术研发中心位于美国加州圣何塞市白令大道 2381 号，启动后可创造 20 多个高科技工作岗位。普发真空持续为半导体市场以及分析、工业、研发市场提供领先的真空解决方案，凭借其在半导体领域丰富的应用实践以及集成化的产品，该硅谷创新中心将致力于为北美客户解决有关高真空技术的所有技术问题，便于客户在早期开发阶段就能测试和评估为其应用设计的新真空解决方案。此外，创新中心的专家和研究人员将为所有普发真空产品提供直接的专业技术支持，并与全球的普发真空研发部门建立无缝连接。 “普发真空致力于为半导体行业的客户推动创新，并支持未来技术的发展，为了践行这一愿景，我们打造了硅谷创新中心。”普发真空技术股份公司（Pfeiffer Vacuum Technology AG）首席执行官Britta Giesen 博士说。在半导体工业中，真空技术被用于生产微处理器、存储介质、高清显示器等，主要涉及大量中型和大型前级泵，以及涡轮泵和测量仪器。另外，借助污染分析和泄漏检测系统，芯片制造商可以显著提高产量。 “随着微处理器生产的复杂性不断增加，与硅谷客户的直接合作对我们来说变得越来越重要，”普发真空北美销售副总裁 Ming Lee 表示，“为了与我们的客户进行更密切的合作，高效地设计出能解决他们技术挑战的真空产品和解决方案，硅谷创新中心及其专家团队将扮演至关重要的角色。”普发真空硅谷创新中心（SVIC）关于普发真空普发真空（Stock Exchange Symbol PFV, ISIN DE0006916604）作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一，不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵，同时还拥有各种旋片泵，干泵，罗茨泵，多级罗茨泵，氦质谱检漏仪，真空计，质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。从普发真空发明涡轮分子泵至今，我们在全球分析仪器、研发、真空镀膜、太阳能和半导体领域，始终代表着创新的解决方案和高品质的产品。公司自1890年创立至今百余年始终走在世界前沿， 现有将近3300名员工，20多家分公司遍布全球，同时在全球有10家生产制造基地。

普发真空推出新型隔膜泵 MVP 030-3 C DC对化学品和冷凝液具有高耐受性运行噪音低、振动小智能界面接口德国阿斯拉尔，2021 年 5 月 7 日。隔膜泵是一款完全无油运行的真空泵，因此适用于需要洁净干燥真空的众多应用领域，例如实验室、分析仪器、泄漏检测和科研。普发真空推出了耐腐蚀性气体的隔膜泵 MVP 030-3 C DC。该版本配备气镇阀，具有良好的化学品和冷凝液耐受性。特殊材质的选用确保产品耐用坚固，能够适用于更多的工艺。 隔膜泵不仅运行可靠，而且安静、振动小。其噪声水平低于 45dB(A)。凭借紧凑的结构和超轻的重量，该泵特别适用于小型分析系统、质谱仪和涡轮分子泵组。作为前级泵，它们是普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的完美组合。通过相互可控性，智能运行状态可以参数化，从而降低能耗和磨损。只需通过一个普发真空电子驱动单元，即可对隔膜泵和涡轮分子泵进行控制，而且仅通过同一根电缆供电即可实现。这样可以减少布线需求，降低成本。此外，还可以读取多个数据和传感器，例如温度，运行小时计数器和电源使用情况，使您能够针对智能工业4.0环境监控泵的状态。 无刷直流驱动系统可以改变转速，从而有效满足不同应用的特殊要求。自动升压模式下，隔膜泵超速启动。这样可以缩短所连接系统的启动时间，使用户能够更快地调试系统。只要达到一定真空度或经过一定时间间隔，转速就会降低。由此实现高性能和超长的维护间隔。此外，由于该系列隔膜泵与涡轮分子泵一起待机和间隔运行，从而使得能源效率极高。24V 直流供电意味着电气设计和相关安全措施复杂度较低，从而可进一步降低成本。 膜片的使用寿命长使这款真空泵特别值得考虑MVP 030-3 C DC 三级式隔膜泵配备磁性气镇阀。通过定期打开气镇阀，可以防止隔膜泵内积聚冷凝水，从而提高了过程安全性和使用寿命。 此外，隔膜泵的维护也十分简便。膜片和阀门都可以轻松更换，省时省力，免去繁琐工作。通过可切换电压的电机或直流驱动，保证了泵在全球范围内均可使用。 普发真空还提供多种附属配件。针对特殊应用，有时需要额外的功能部件或组件。如特殊的电源线、管接、气体洗涤喷嘴或继电器箱，均可提供。

普发真空推出全新 HiScroll ATEX 防爆涡旋泵● 符合欧洲防爆产品指令要求，适用于诸多防爆设备应用领域● 设计紧凑，安静运行，提供高效可靠的服务● 适合用于分析、工业或研发领域德国阿斯拉尔，2021 年 7 月 26 日。普发真空推出全新 HiScroll ATEX 系列涡旋泵，因其于潜在爆炸性环境中的极高安全性，符合欧洲防爆产品指令要求（ 即现行 ATEX 防 爆指令），适用于抽送易爆气体。根据允许使用条件，ATEX 防爆指令将泵分为不同类别。HiScroll ATEX 与介质接触的区域符合 3G 设备类别，温度等级为 T4，这意味着它 可以泵送防爆组别 IIC 及以下的所有气体，甚至包括易燃的氢气。此外，该系列泵可保证高蒸汽耐受性，从而持久避免真空泵内形成冷凝。凭借这些特性，HiScroll ATEX 可涵盖包括分析、工业或研发等诸多防爆设备应用领域，例如氢气生产和泵送等工业制程。此外，该系列泵也可应用于实验室，抽吸可能产生易燃蒸气的含溶剂介质。普发真空涡旋泵在运行期间具有高抽空速度，即使在大气压下也是如此，该系列完全无油密封真空泵的额定抽速为 6 至 20 m³/h，运行时的噪声值HiScroll ATEX 系列涡旋泵具备双级气镇阀，使其可单独配合各种具体工艺需求。该系列泵可通过 RS-485、EtherCat 或 ProfiNet 与其他普发真空产品（如涡轮泵）轻松连接，也可以通过上级控制系统或电脑进行操作。此外，通过智能接口，可以使用转速调节运行模式或创新的待机模式，内置的安全阀和自动控制运行模式也可确保 HiScroll  ATEX 系列泵的安全使用。这不仅能使其配合应用目的，以最佳方式运行，而且还能将其磨损降至最低，并延长维护周期。另外，该系列泵的易维护性不仅可缩短维修服务时间，更可实现极高可用性。高品质且经久耐用一直以来，普发真空致力于开发具有高品质且经久耐用的可持续产品。与传统驱动装置相比，HiScroll ATEX 系列涡旋泵内置强劲高效的驱动装置，效率优势最高可达 15 %，能够在较低温度下获得极佳性能，使系统和设备冷却更加简便，且更具成本效益，帮助客户降本增效，实现可持续运营。

全球首款激光动平衡技术涡轮分子泵面世HiPace 80 Neo 涡轮分子泵● 搭载专利 Laser Balancing™ 激光动平衡技术，适用于振动敏感应用● 更出色的温度管理、更坚固的轴承材料、更卓越的润滑性能，确保高可靠性● 体积小巧紧凑，打造便捷高效的使用体验Asslar（阿斯拉尔），2021年8月2日。普发真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型 HiPace 80 Neo 涡轮分子泵，同时问世的还有普发真空专为涡轮分子泵转子开发的 Laser Balancing™ 激光动平衡技术。采用这项专利技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。左右滑动查看更多高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧在控温方面，HiPace 涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保 HiPace 80 Neo 始终发挥最佳性能，保障其最高运行安全性。在轴承方面，HiPace 80 Neo 的复合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让 HiPace 系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。 此外，相较于其他涡轮分子泵，HiPace 80 Neo 体积更加小巧紧凑，可集成到各种便携式和移动式应用中。同时，该泵还具备自动配件检测功能的Micro-USB 接口，在短短几步之内即可投入使用，为用户带来便捷和高效的使用体验。在润滑方面，HiPace 80 Neo 配备一种新型高性能润滑剂，具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性，进一步提升真空泵组的安全性能，而且各款 HiPace  80 Neo 泵均可免维护运行 5 年。

    2021 年 8月5日，上海——近日，普发真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型 HiPace 80 Neo 涡轮分子泵，同时问世的还有普发真空专为涡轮泵转子开发的 Laser Balancing™ 激光平衡技术。采用这项专利技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。    高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧    在控温方面，HiPace 涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保 HiPace 80 Neo 始终发挥最佳性能，保障其最高运行安全性。    在轴承方面，HiPace 80 Neo 的混合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让 HiPace 系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。    此外，相较于其他涡轮泵，HiPace 80 Neo体型更加小巧紧凑，可集成到各种便携式和移动式应用中。同时，该泵还具备自动配件检测功能的 Micro-USB 接口，在短短几步之内即可投入使用，为用户带来便捷和高效的使用体验。    在润滑方面，HiPace 80 Neo 配备一种新型高性能润滑剂，具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性，进一步提升真空泵组的安全性能，而且各款 HiPace 80 Neo 泵均可免维护运行 5 年。 普发真空的 HiPace 80 Neo

    近日，普发真空中国总经理Julien Valentin先生一行再次访问东北大学，出席“东北大学-普发真空合作交流会”，这也是2019年底普发真空与东北大学签订战略合作协议后的第二次正式访问。交流会上，在东北大学领导和师生的大力支持下，普发真空颁发奖学金，捐赠《真空技术手册》，落实“东北大学-普发真空实习实践基地”项目，并正式揭幕“东北大学-普发真空实验室”，从而进一步深化双方的战略合作，共同推动中国真空专业技术和人才发展。    出席此次会议东北大学的相关领导有副校长孙雷、教务处处长朱志良、对外联络与合作处处长李鹤、机械工程与自动化学院全体领导班子成员，真空与过程装备系师生代表等100余人。会议由机械工程与自动化学院执行院长于天彪主持。普发真空中国总经理Julien Valentin先生和东北大学副校长孙雷教授分别在会议上致辞，预祝双方的合作能够推动中国真空行业发展和技术人才培养。普发真空、学院领导及师生出席“东北大学 - 普发真空合作交流会”     在合作交流会上，普发真空与学校领导向10位优秀学子每人颁发了价值5,000元的“普发真空奖学金”并举行了普发真空《真空技术手册》捐赠仪式。随后，普发真空技术专家与人力资源总监和学生进行了面对面交流，并介绍了“东北大学 - 普发真空实习实践基地”相关实习项目。孙雷及Julien Valentin为优秀学生颁发“普发真空奖学金” 巴德纯教授代表学院师生接受普发真空《真空技术手册》捐赠 结合普发真空实习实践项目，普发真空中国区人事总监陈晓燕与学生现场交流    普发真空此行还出席了“东北大学-普发真空实验室”的揭牌活动。“东北大学 - 普发真空技术实验室”初期占地面积100平方米，配备了从低真空到高真空全系列产品和检漏仪，初期的配置基本涵盖了真空应用所涉及的各类产品。此次东北大学 - 普发真空技术实验室的正式落成，标志着校企合作方面迈出了更加坚实的一步。该实验室给本科生提供丰富实践机会的同时，还将依托东北大学在真空基础学科领域方面深厚的专业知识和教学背景，持续巩固其在中国真空学术界、科研领域和产业领域占据领先地位，并为辽宁省的科研创新提供“优良生态”和“优质土壤”，助力高端科技人才的培育和发展。 东北大学 - 普发真空技术实验室 双方领导共同为“东北大学 - 普发真空技术实验室”揭牌     普发真空中国总经理Julien Valentin表示：“自2019年与东北大学签订战略合作协议后，普发真空一直积极推进真空实验室资助、奖学金评选、业界专家讲座、实习交流等一系列合作以助推中国真空专业长足发展，为行业培养人才。”    东北大学副校长孙雷教授在讲话中表示：“德国普发真空在真空产品的设计及测试技术方面有着悠久的发展历史、是全球真空技术领域的领导者之一。自2019年12月签订全面战略合作协议以来，尽管由于新冠疫情的影响，双方合作仍在持续推进。学校教务处也重点支持普发实验室和普发实习实践基地的建设，并列入东北大学‘省级跃升为国家级’跃升计划立项支持。未来，东北大学将以推进‘双一流’建设和迎接百年校庆的历史发展节点为契机，不断深化与普发真空的合作，共同谱写真空科学领域发展新篇章。”    增强在中国市场的影响力已成为普发真空增长战略的主要支柱之一，此次与东北大学的合作，可谓是普发真空进一步扎根中国市场、推动中国真空行业发展最直接的体现。普发真空一直对真空专业人才求贤若渴，未来将与更多高校合作为真空行业在中国的发展与腾飞提供源源不断的创新驱动力。 与会嘉宾、领导及部分代表合影留念

    2021 年 3 月17日，上海——为期3天的全球半导体年度盛会SEMICON China 2021在上海隆重开幕，作为全球真空技术和泄漏检测解决方案的供应商之一，普发真空在展会上亮相了其在半导体以及其他先进制造业和科研领域的整体解决方案。    半导体器件的生产离不开洁净的真空环境。普发真空在展会现场展示了其明星产品，包括ASM 392检漏仪、A 3004多级罗茨泵、A 200L多级罗茨泵以及HiPace 2300涡轮分子泵，与全球半导体领域的友商及媒体朋友们深度交流，共同探讨普发真空如何在中国助力未来半导体行业发展。普发真空展台    普发真空总经理Julien Valentin表示：“尽管受到新冠疫情的影响，中国的半导体行业仍呈现出逆势增长趋势。中国市场位列普发真空增长战略支柱之一，成为促进我们全球业务发展的强劲动力。未来，我们将继续因地制宜，持续深耕中国市场，更好地服务本土客户，推动中国第三代半导体产业腾飞。”    节能高效灵敏，满足严苛的半导体制造应用    半导体和平板显示器行业对于真空生产环境要求极为严苛，这些应用要求真空仪器具备快速的抽空时间和高灵敏度。 普发真空的ASM 392检漏仪无与伦比的灵敏度和精确度恰好能够满足这一需求。除了检漏仪都会配备的干式非接触式前级真空泵和高真空涡轮分子泵之外，它装有一台额外的涡轮分子泵，能缩短泄漏检测时间，同时不会在尺寸和可操作性方面有任何妥协，人机工学设计独特，可操作性强，可用于各种测试场地，即使狭小的空间也应对自如，这都使其成为清洁环境下各种组件泄漏测试的理想工具。    对于半导体晶圆、显示屏及太阳能电池等严苛型应用，普发真空展示了A 3004多级罗茨泵。它的抽速高达3,000 m3/h，工艺寿命延长，能耗降低，是市场上运营维护成本最低的产品之一。除此以外，该系列泵还配备了一个扩展的温度管理，扩大了工作温度范围，提高了工艺可靠性。 高能效A 3004多级罗茨泵，抽速可达3000m3/h。    作为能适应高吞吐量应用和频繁抽空循环的全新 200 m3/h 级别产品，A 200L多级罗茨泵更是展示出了普发真空在集成干式泵市场中的全球领导地位。A 100 L 泵对于半导体行业生产设施的泵集成有革命性的意义——这种泵以干式多级罗茨泵技术为基础，尽管尺寸小，却依然具有高抽速和短抽空时间。如今，普发真空A 200系列在全世界范围内众多 300 mm 半导体晶圆工厂都已安装。    此外，普发真空还重点展示了能够应用于侵蚀性气体环境的HiPace 2300涡轮分子泵。这款紧凑且性能卓越的涡轮分子泵具有高性价比和安装角度的灵活性，革命性的转子设计为其带来更出色的抽速，更好的前级泵兼容性和更大的气流量，对于小分子气体具有更高的压缩比。紧凑的复合轴承HiPace 2300涡轮分子泵。    普发真空高度重视半导体领域的业务发展。2019年在无锡扩建的新工厂更是增加了干泵生产、全新泄漏测试系统ATC的生产以及泵站组装等业务能力，更好服务中国本土客户需求的同时，还能够促进公司在真空镀膜、半导体等市场的战略增长。自1890年创立以来，普发真空不断树立真空技术的新标准，并通过持续开发创新成果并成功推向市场，帮助科学界与工业界从中受益。未来，普发真空期盼以创造出最先进的真空技术解决方案作为源动力，以最高标准要求自身，不断地创新，为中国客户提供更丰富的灵感和更多样的产品组合。

semicon china时间：2021年3月17-19日地点：上海新国际博览中心展位：n1 no.2501一年一度的半导体盛会semicon china将在上海新国际博览中心举办。作为全球提供完整产品组合的真空技术供应商,普发真空又在这次展会上与新老朋友们见面了。整个展会期间，普发真空将举办5场产品介绍会（含一场媒体见面会）为广大客户介绍普发真空一站式真空和气体检漏解决方案，时间安排如下：时间安排3月17日11:30 – 12:0014:30 – 15:003月18日10:00 – 10:3011:30 – 12:0014:30 – 15:00即刻扫码报名提前预约，现场签到时可以领取精美小礼物哦！此次展会，普发真空将会展出这些明星产品一起来先睹为快！01asm 392检漏仪全新高速精准检测的检漏仪-满足多种应用环境02a 3004多级罗茨泵高能效多级罗茨泵，抽速可达3000m3/h03a 200l多级罗茨泵洁净工艺制程多级罗茨泵，具有高气流量可高度集成于机台中04hipace 2300涡轮分子泵紧凑的复合轴承涡轮分子泵展会位置详见下图现场更精彩 我们在n1-no.2501真诚的期待您的莅临

　　2020年12月14日，上海——近日，普发真空获得来自德国达姆施塔特工业大学的一份重要订单，将向该校交付一套 DREEBIT 离子束系统，以供其核物理研究所使用。达姆施塔特 LaserSpHERe（Laser Spektroskopie an hochgeladenen Ionen und exotischen radioaktiven Nukliden，高电荷离子和外来放射性核素激光光谱测量）工作组的研究人员将在该研究所开展各种前沿原子物理、核物理和粒子物理精密实验，其中，高电荷离子和外来短寿命同位素的激光光谱测量是研究重点。此次研究计划获得德国科学基金会（DFG）SFB 1245 特殊科研部门支持。　　2014 年底，达姆施塔特工业大学核物理研究所开始建造大型科研设备“激光光谱测量和应用物理学共线设备”(Kollineare Apparatur für Laserspektroskopie und angewandte Physik, KOALA)，而此次订购的离子束系统正是要应用于这台设备。该系统所使用的 EBIS-A 离子源可生成各种轻化学元素带电离子以用于实验，而这些离子将连接到 KOALA 设备的束流引导装置内。为了使粒子能够在束流引导管中尽可能自由地移动，纯净的超高真空环境必不可少，而保持这种低压环境则必须依靠极其强大而可靠的真空生成技术。由普发真空集团提供所有相关真空组件的新离子源系统更是如此，它能让离子在其中停留的时间更长。图：DREEBIT离子束系统，可产生实验用带电粒子　　如同烟花能够呈现各种颜色，每一种元素都会发射和吸收某些特定波长的光，对应范围极为精确，而人眼会将这些波长感知为不同的颜色。颜色取决于化学元素种类以及原子的电荷状态，高精度波长测量不仅可提供有关化学元素种类及其电荷状态的信息，若以高精度理论计算进行比对，甚至还可以确定原子核的大小。　　达姆施塔特工业大学工作组负责人 Wilfried Nörtershäuser 博士、教授解释了KOALA光束线的技术优势：“到目前为止，原子半径的光谱测量只能在仅有一个电子的类氢系统上进行，因为只有这样，理论计算才足够准确。但是，如果考虑实验需求，这类简单的原子系统就有一大缺点，也就是所使用的波长处于光谱的远紫外区范围内，因此很难用现有的激光系统捕捉到。然而，目前的技术已经有望达到足够的精度，以适应于具有两个电子、更为复杂的类氦系统。它们的波长用激光系统捕捉容易得多，由此，未来将能够明显地、更加精确地确定从氦到氮的原子核半径。一旦安装上采用EBIS-A离子源的 DREEBIT 离子束系统，这套 KOALA 设备即可为此提供理想的前提条件。”图：KOALA（Kollineare Apparatur für Laserspektroskopie und angewandte Physik，激光光谱测量和应用物理学共线设备）光束线示意图　　DREEBIT GmbH 公司自2006年成立以来，其“离子束技术”部门已开发出多种类型的离子源并推向市场，例如EBIS和ECRIS。它们主要安装在各种粒子加速器上，以满足科研和医疗应用之需，例如离子束疗法。DREEBIT GmbH 公司自2017年起隶属普发真空集团旗下，专注于开发特殊系统和维修真空产品。截至目前，该公司在德国德累斯顿（Dresden）和格罗斯勒赫尔斯多夫（Großröhrsdorf）设有基地，共有约70名员工。