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核心参数
自动化度： 手动
四探针探针头
Jandel公司生产的具有6个连接通道的cartridge型四探针探头.其创意设计是与CDE系统相兼容.
所有jandel公司生产的探头具有非常高的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪来验证规范探针半径曲率、间距以及平面性（平面度/平整度）, 其负荷是通过电子测力计来验证。并且每个探针都通过带有宝石导向针进行上下移动。
虽然该探头与KLA/ Tencor /Prometrix公司制造的工具的探头非常的相似，但是这俩个探头之间并不能替换,且要小心的保护它们,尤其是当俩个系统同时使用时.CDE兼容的探头有一个独特的黑色物镜转换器。
探针间距 | 0.500mm,0.635mm, 1.00mm, 1.27mm, 1.591mm (针与针之间) |
公差 | ±10μm |
排列 | 线性或者矩形排列 |
探针头 | 碳化钨/直径d=0.4mm（直径d=0.3mm可用于近间距密植距） |
针头材质选择 | 可建议选用50%的锇合金材质 |
针尖半径曲率 | 12.5, 25, 40, 100, 150, 200, 300, 500 μm |
缓冲区 | 0.5mm |
平面度 | ≥ ±0.025（或更好） |
针尖压力 | 10g~250g |
漏电 | 当电压500V时，其两针之间的其电阻为1013Ω |
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