双电测数字式四探针测试仪

2022-07-27 12:01

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双电测数字式四探针测试仪/双电测四探针检测仪型号:HAD-2263 概述 HAD-2263型双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改形范德堡测量方法测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，行两次电测量，对数据行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头、测试台以及PC软件等分组成。主机主要由密恒流源、分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，USB通讯接口。仪器主机所有参数设定、能转换采用数字化键盘和数码开关输入；具有零位、满度自校能；测试能可自动/手动方式；仪器操作可由配套软件在PC机上操作成，也可脱PC机由四探针仪器面板上立操作成。测试结果数据由主机数码管直接显示，也可连机由软件界面同步显示、分析、保存和打印！探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻行测量。测试台选配：般四探针法测试电阻率/方阻配HAD-A或HAD-B或HAD-C或HAD-F型测试台。详见《四探针仪器、探头和测试台的特点与选型参考》仪器具有测量度、灵敏度、稳定性好、智能化程度、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。三、基本术参数 3.1? 测量范围电阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm 方? 阻：5×10-4～1×106 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□ 电? 阻：1×10-5～2×105 Ω?? ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω 3.2? 材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定) 直??? 径：HAD-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限 HAD-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限. 长()度：测试台直接测试方式 H≤100mm,??? 手持方式不限. 测量方位: 轴向、径向均可量程划分及误差等满度显示 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 常规量程 kΩ-cm/□ kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□ 基本误差 ±2%FSB ±4LSB ±1.5%FSB ±4LSB ±0.5%FSB±2LSB ±1.0%FSB ±4LSB 四探针探头（选配其或加配） (1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调 (2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可调 3.6 电源输入: AC 220V±10% ,50Hz? ?耗：<20W 3.7 外形尺寸：主机? 220mm（长）×245 mm（宽）×100mm（）

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