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产地类别: 进口
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OLS4100非接触式、无损、快速成像测量,分辨率在微米和亚微米级别。采用405nm半导体激光光源的专用光学系统和独有的双共焦光学系统,可删除未聚焦区域的信号,只将聚焦范围内的反射光检测为同一高度。平面最高分辨率可达0.12um;同时结合高精度的光栅读取能力,可以生成高画质的影像,实现精确的3D测量。使得在Z方向上达到了10 nm的高度分辨率。
配备双共焦光路,对含有不同反射率的样品,也能获得清晰的图像;可获得线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度和平面几何参数等测量数据。
LEXT OLS4100其应用领域非常广泛,可用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D 表面形貌、2D 的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等,样品包括MEMS(微电子机械系统)、半导体、晶体、液晶、金属材料、陶瓷、化学材料等。
主体规格
LSM部件
光源/探测器
光源:405nm半导体激光,探测器:光电倍增管
总倍率
108x-17,280x
变焦
光学变焦:1x-8x
测量
平面测量
重复性
100x:3σn-1=0.02μm
正确性
测量值±2%
方式
物镜转换器上下驱动方式
行程
10mm
标尺分辨率
0.8nm
显示分辨率
1nm
移动分辨率
10nm
50x:σn-1=0.012μm
0.2±L/100μm以内(L=测量长度μm)
彩色观察单元
光源:白色LED,探测器:1/1.8-inch200万像素单晶片CCD
数码变焦:1x-8x
物镜转换器
明视场六孔电动转换器
微分干涉法单元
微分干涉法滑杆:U-DICR,内置偏振光片单元
物镜
明视场平场半复消色透镜5x,10x
LEXT-专用平场复消色透镜20x,50x,100x
Z轴调焦单元行程
100mm
X/Y轴载物台
100×100mm(电动载物台),可选:300mm×300mm
物镜规格
型号
倍率
视场
工作距离(W.D.)
数值孔径(N.A.)
MPLFLN5X
108~864X
2560~320μm
20.0mm
0.15
MPLFLN10X
216~1728X
1280~160μm
11.0mm
0.30
MPLAPON20XLEXT
432~3456X
640~80μm
1.0mm
0.60
MPLAPON50XLEXT
1080~8640X
256~32μm
0.35mm
0.95
MPLAPON100XLEXT
2160~17280X
128~16μm
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型号:SZ61
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企业名称
杭州全谱实验室设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
9133010679667419XJ
成立日期
2007-01-16
注册资本
叁佰零捌万元整
经营范围
一般项目:光学仪器销售;实验分析仪器销售;仪器仪表销售;办公设备销售;办公设备耗材销售;合成材料销售;化工产品销售(不含许可类化工产品);泵及真空设备销售;电子专用材料销售;家具销售;电池零配件销售;光学仪器制造;仪器仪表修理;工业工程设计服务;家具安装和维修服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;货物进出口;技术进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。
公司地址
杭州市西湖科技园西园路9号博科大厦A822
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公司名称: 杭州全谱实验室设备有限公司
公司地址: 杭州市西湖科技园西园路9号博科大厦A822 联系人: 裘先生 邮编: 310030 联系电话: 400-860-5168转3060
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