Opal 光学参数自动测量系统

系统

测试技术

基于夏克-哈特曼波前测量技术

测试软件

Sensoft

测试能力(Single Pass光路)

各种透射性光学元件和光学系统，如透镜、镜头、滤光片等

测试能力(double pass光路)

各种透射及反射性光学元件及光学系统，尤其适合表面测量

工作波长

白光或任意波长（通过滤光片实现），也可以选激光作为光源

架构

立式

电脑

可选，用户提供标准电脑即可

软件功能

在Windows XP 下，具有控制及分析计算功能

自动位移台

移动轴

2 个垂直移动 Z 轴位移台

技术

集成了磁性编码器的步进马达

步进解析度

0.02μm (螺纹间距  1mm)

定位重复性

0.8μm

行程范围

150mm each stage for a total of 300mm

长度测试不确定性

8μm

速度

三种速度可调: 慢速/中速/快速

控制软件

由 Sensoft 控制

外观

外形尺寸 (L x H x D)

600 x 370 x 320 mm (approx)

重量

approx. 20 kg

测试精度 (all values at 632.8nm)

泽尔尼克系数重复性

λ/300

测试不确定性

λ/20