微光学纳米光刻/喷薄高压电源

典型应用

微光学

半导体光刻

TYPICAL APPLICATIONS
Micro-Optics
Semiconductor  lithography
Development  mask  work

  威思曼高压电源HTEM高压电源主要用于精密电子束应用如半导体纳米光刻，微光学。它的超低纹波和优秀稳定性使其非常适合使用于这些苛刻的应用。固体封装的高电压部分消除任何用户的维修问题，全数字化控制，过压、过流、拉弧保护。

输入电压：
单相220VAC，±10％，50/60HZ
输出电压：0-100KV，负极性。 EXTER应受开关可选
到105kV，±500伏特
输出电流：
0 -10μA，低范围
0-100μA，高范围
开关可选
线性调整率：指定的输入额定电压的±0.001％，电压范围
负载调整率：≤20V为25μA至60μA的电流变化和60μA至25μA
纹波：
≤75mV峰峰值
局部高压放电：大于200mV以下
稳定性：0.001％，每8小时后，6小时的战争m，最高，为温度为20°C±0.2 °C，
温度系数：
每摄氏度50ppm，超过10°C至40°C范围内
环境：
工作温度：0到40摄氏度
存储温度：-40至85摄氏度
湿度：10％到90％RH，非冷凝
冷却方式：
强制通风控制机箱;
对流冷却高压机箱

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    威思曼高压电源有限公司是世界具有领导地位直流高压电源和一体化X射线源供应商，同时提供标准化产品和定制设计服务。产品广泛应用于医疗,工业,半导体,安全,分析仪器，实验室以及海底光纤等设备。集设计，生产和服务为一体的工厂分布于美国，英国，及中国等地，并且我们销售中心遍布于欧洲，北美洲以及亚洲，我们将竭诚为您服务!