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400-860-5168转2853
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核心参数
产地类别： 进口
靶材材质： 碳，金
靶材尺寸： 视仪器
控制方式： 5 to 999nm
样品仓尺寸： 300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H)
样品台尺寸： 5 to 999nm
溅射气体： C
EMS 150膜厚监控仪(Film Thickness Monitor)
EMS 150膜厚监控仪和喷金仪/离子溅射仪/喷碳仪/蒸发镀膜仪配套使用，以便对膜厚进行监控。提供内置模块和外接装置。
石英晶体是离子型的晶体，由于结晶点阵的有规则分布，当发生拉伸或压缩时能产生电极化现象，称为压电现象。石英晶体压电效应的固有频率不仅取决于其几何尺寸，切割类型，而且还取决于芯片的厚度。当芯片上镀了某种膜层，使芯片的厚度增大，则芯片的固有频率会相应的衰减。膜厚监控仪就是通过测量频率或与频率有关的参量的变化而监控淀积薄膜的厚度。
膜厚监控仪(FTM)是如何工作的呢？镀膜时，膜厚监控仪里面的晶振片的高速振动，测试每秒钟振动次数的改变，从所接受的数据中计算膜层的厚度。
仪器参数：
仪器尺寸 | 300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H) |
重量 | 6Kg |
可配套仪器 | EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, |
晶片座 | 置晶片装置 |
密度范围 | 1.55 to 23.0g/cm-3 |
测控范围 | 5 to 999nm |
镀碳时精度 | 0.8nm |
镀金时精度 | 0.1nm |
电源 | 230V 50 Hz (3 Amp Max) |
企业名称
海德创业（北京）生物科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110115008091576
成立日期
2005-03-25
注册资本
30
经营范围
生物技术开发、转让;试验技术咨询、服务;销售实验室仪器、教学器材、化工产品(不含危险化学品、不含一类易制毒化学品)。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
海德创业（北京）生物科技有限公司
公司地址
北京回龙观西大街115号龙冠大厦410
客服电话
公司名称： 海德创业（北京）生物科技有限公司
公司地址： 北京回龙观西大街115号龙冠大厦410 联系人： 杨阳 邮编： 102208 联系电话： 400-860-5168转2853
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