离子溅射镀膜仪EMS300R T

EMS300R T大样品离子溅射镀膜仪（Large Chamber Sputter Coaters）

适合SEM（扫描电镜）、FE-SEM（场发射扫描电镜）、TEM（透射电镜）。

    EMS300R T 与EMS150R T相似，明显区别是EMS300R T腔室足够大，达到203mm，采用旋转真空泵抽真空；此外，它配备三个独立的溅射头，确保靶材粒子在大样本上的沉积效果。适合溅射不易氧化的贵金属如金、金/钯、铂等。（注意：既能溅射不易氧化金属，又能溅射易氧化金属，另见EMS300T T）。海德创业（北京）作为该品牌产品的中国总代理，欢迎大家登录查阅。

特征参数：

1、 可以进行超大样本（直径至203mm）的金属镀膜

2、 三个溅射头确保溅射沉积质量

3、 单靶材选择功能，可以进行小样本镀膜

4、 多种金属靶材比如金、金/钯、铂等可选

5、 选择装配膜厚监测仪可以精确控制膜厚

6、 全自动触摸屏控制，快速数字输入，操作简便

7、 可以储存不同用户的程序

8、 能够记录100个最新镀膜细节

9、 真空自动控制，且具有真空保持功能

10、 落入式样品台拆装方便（标配是旋转样品台）

11、 最长60分钟不间断镀膜能力

12、 符合人体工程学的整体注塑机身

13、 电气符合CE要求

14、 三年质保

样品台

    EMS300R T有多种型号的样品台可以选择，用于满足目前大部分需求。落入式设计使得不同型号的样品台之间更换简便，样品台除了行星台外其高度均可调，旋转速度在预设范围内实现可调。

l  扁平样品台，用于晶圆的镀膜（152mm-203mm），标配

l  旋转样品台，50mm，不能倾斜

l  旋转倾斜样品台，50mm，高度可调（靶材与样本之间的距离在30-80mm之间可调），倾斜角度在0-30度之间

l  用于拨片的旋转台

l  加高腔室：需要时可以得到（付费）

仪器参数：

 海德创业（北京）作为该品牌产品的中国总代理，欢迎大家登录查阅。

真空：