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当前位置: 海德创业 > 等离子体表面处理仪 > 低温灰化仪EMS1050

低温灰化仪EMS1050

品牌: EMS
产地: 美国
型号: EMS1050
报价: ¥30万 - 50万

核心参数

仪器种类: 进口等离子体表面处理仪

射频频率: 13.56mhZ

功率: 0.6kw

设备尺寸: Dia110mmX160mmH

样品腔容积: 0.48L

样品腔材质: Pyrex

工作气体: 1

控制方式: 自动

产品介绍

                      

应用领域:

  • 生物芯片领域

  • 医用材料、光学材料研究

  • 电子半导体领域

  • 高分子材料研究

  • 电化学、高端零部件处理

  • 有机材料的灰化、刻蚀

仪器性能:

  • 自动调频高频发生器

  • 内置旋转真空泵

  • 此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀

  • 低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)

  • 真空监测.

  • 双重气流针阀控制

  • 精确时间定时

  • 微处理器程序设置

  • LCD状态数字显示

  • 腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,样本操作方便

  • 聚碳酸脂安全防护  

技术参数:

整机尺寸

450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)

工作腔室

派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)

(硼硅酸盐玻璃为标准配置)

重量

25Kg

等离子体输出

最大150w,13.56 MHz 。

真空度

>ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.

时间控制

最长可设置99小时59分钟

双重气流控制

双重针阀气流控制,可选1种或2种气体(校准   5-100cm3/min air at A.T.P)

电源

230 V, 50Hz (3 amp Max)


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工商信息

企业名称

海德创业(北京)生物科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110115008091576

成立日期

2005-03-25

注册资本

30

经营范围

生物技术开发、转让;试验技术咨询、服务;销售实验室仪器、教学器材、化工产品(不含危险化学品、不含一类易制毒化学品)。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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