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应用案例 | 液晶屏玻璃基板上线路结构的观察
随着电子产品的更新换代，显示屏的清晰度和色彩等要求越来越高。尤其手机更是如此，每出一款新的手机，显示屏的对比度和光亮度、高速度等性能就会有一个质的飞跃。我们今天来看看TFT-LCD内部基板会是一个什么样的结构呢。
（图片：英特尔）
本文就某个TFT-LCD的玻璃基板，采用氩离子束进行截面切割，然后上扫描电镜观察截面线路的结构。
玻璃基板一般是表面有一层膜，考虑到膜层非常的薄且软。制备的时候需要对其保护。可以采用玻璃刀裁剪从一片大的玻璃基板上裁剪出约1 cmX1 cm的大小样块。
图一 玻璃基板样品
采用可快速固化的AB胶，混合均匀后涂覆在样品有膜层的一边。控制树脂的厚度不要超过30um。然后放在加热台上60度保温，加速树脂的固化。大约2小时后树脂就已经完全固化，就可以进行下一步。
图二 保护好的样品
随意选取一个截面，放置在1000号的砂纸上进行截面磨平。如果条件允许，最好在磨抛机上进行磨平。研磨的过程中控制力道，注意不要把玻璃基板磨碎，膜层破损严重的情况发生。
磨平后，我们就可以上氩离子束进行切割。目的是把研磨残留的损伤采用离子束切割的方式去除。完整保留玻璃基板的内部结构。
图三 离子束切割
通过电镜观察可以看到玻璃基板上的膜层线路结构，每层的厚度和排列情况清晰可见。说明TIC 3X制备的样品截面平整，无损伤，可以清晰观察分析样品的真实形貌结构。Leica EM TIC 3X离子束研磨系统适用于各种材质样品，可以制备高质量样品表面，适用于扫描电子显微镜检测。
可制备横切面和抛光表面，用于扫描电子显微镜 (SEM)、微观结构分析 (EDS、WDS、Auger、EBSD) 和 AFM 科研工作。一次可处理样品多达 3 个， 并可在同一个载物台上进行横切和抛光。工作流程解决方案可安全、高效地将样品传输至后续的制备仪器或分析系统。
领拓仪器是徕卡LNT的华南、西南授权代理商，领拓仪器为透射电镜/扫描电镜/工业材料样品提供全套样品制备服务。
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