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孚光精仪（中国）有限公司
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产品介绍
这款紫外曝光机非常适合对紫外光敏感层的处理，是理想的紫外掩曝光机系统。
应用：紫外曝光机适合光学，生物，微纳科技，光刻等领域需要1-2掩膜的应用。
紫外掩曝光机特点
1)完美的单色曝光，曝光带宽小于10nm;
2)冷紫外曝光，衬底环境温度实时控制，从而实现均匀曝光，消除热效应；
3）超强的功率密度
4） 紫外LED寿命更长，高达10000小时；
5）方便用户使用的触摸屏配置；
6） 不需要预热；
7）计算机控制紫外光源强度调节；
8）自动晶圆装载和卸载功能；
9）超低能耗；
紫外掩曝光机参数
分辨率：2微米
发射光谱：365+/-5nm, 385+/-5nm
4英寸晶圆照明： 25mW/cm^2 +/-10%
暴晒时晶圆温度加热:<1摄氏度
暴晒循环：1秒~18小时
记忆的曝光循环数： 10个
功率：180W
重量：8.2kg
尺寸: 260x260x260mm^2
电源： 110V/230v50Hz
联系方式
孚光精仪（中国）有限公司
公司地址
上海黄浦区
客服电话
孚光精仪（中国）有限公司为您提供孚光精仪紫外曝光机UVKBU，孚光精仪UVKBU产地为德国，属于激光产品，除了紫外曝光机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多激光产品,孚光精仪客服电话，售前、售后均可联系。
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