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ESS01波长扫描式光谱椭偏仪

品牌: ELLITOP
产地: 北京
型号: ESS01
报价: 面议

核心参数

产地类别: 国产

产品介绍
    ESS01是针对科研和工业环境中薄膜测量推出的波长扫描式、高精度自动变入射角度光谱椭偏仪,此系列仪器波长范围覆盖紫外、可见、近红外到远红外。ESS01采用宽光谱光源结合单色仪的方式实现高光谱分辨的椭偏测量。
    ESS01系列光谱椭偏仪用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数(如,厚层厚度、表面为粗糙度等)和光学参数(如,折射率n、消光系数k、复介电常数ε等),也可用于测量块状材料的光学参数。
    ESS01适合多入射角光谱椭偏仪尤其适合科研中的新品研发。

技术特点:

  • 极宽的光谱范围

    采用宽光谱光源、宽光谱扫描的系统光学设计,保证了仪器在极宽的光谱范围下都具有高准确度,非常适合于对光谱范围要求极其严格的场合。
  • 灵活的测量设置

    仪器的多个关键参数可根据要求而设定(包括:波长范围、扫描步距、入射角度等),极大地提高了测量的灵活性,可以胜任要求苛刻的样品。
  • 原子层量级的检测灵敏度

    国际先进的采样方法、高稳定的核心器件、高质量的设计和制造工艺实现并保证了能够测量原子层量级地纳米薄膜,膜厚精度达到0.05nm。
  • 非常经济的技术方案

    采用较经济的宽光谱光源结合扫描单色仪的方式实现高光谱分辨的椭偏测量,仪器整体成本得到有效降低。
     

应用领域:

    ESS01系列多入射角光谱椭偏仪尤其适合科研中的新品研发。
    ESS01适合很大范围的材料种类,包括对介质材料、聚合物、半导体、金属等的实时和非实时检测,光谱范围覆盖半导体地临界点,这对于测量和控制合成的半导体合金成分非常有用。并且适合于较大的膜厚范围(从次纳米量级到10微米左右)。
    ESS01可用于测量光面基底上的单层和多层纳米薄膜的厚度、折射率n及消光系数k。应用领域包括:微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁介质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等。
    薄膜相关应用涉及物理、化学、信息、环保等,典型应用包括:
  • 半导体:如:介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、PZT膜,激光二极管GaN和AlGaN、透明的电子器件等);
  • 平板显示:TFT、OLED、等离子显示板、柔性显示板等;
  • 功能性涂料:增透型、自清洁型、电致变色型、镜面性光学涂层,以及高分子、油类、Al2O3表面镀层和处理等;
  • 生物和化学工程:有机薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子层、薄膜吸附、表面改性处理、液体等。
  • 节能环保领域:LOW-E玻璃等。
    ESS01系列也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。应用领域包括:固体(金属、半导体、介质等),或液体(纯净物或混合物)。典型应用包括:
  • 玻璃新品研发和质量控制等。

技术指标:

项目
技术指标
光谱范围
ESS01VI:370-1700nm
ESS01UI:245-1700nm
光谱分辨率(nm)
可设置
入射角度
40°-90°自动调节
准确度
δ(Psi): 0.02 ° ,δ(Delta): 0.04° 
(透射模式测空气时)
膜厚测量重复性(1)
0.05nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)
折射率n测量重复性(1)
0.001(对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)
单次测量时间
典型0.6s / Wavelength / Point(取决于测量模式)
光学结构
PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度)
可测量样品最大尺寸
直径Φ200 mm
样品方位调整
高度调节范围:10mm
二维俯仰调节:±4°
样品对准
光学自准直显微和望远对准系统
软件
•多语言界面切换
•预设项目供快捷操作使用
•安全的权限管理模式(管理员、操作员)
•方便的材料数据库以及多种色散模型库
•丰富的模型数据库
选配件
自动扫描样品台
聚焦透镜
 
注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。

可选配件:

  •  NFS-SiO2/Si二氧化硅纳米薄膜标片
  •  NFS-Si3N4/Si氮化硅纳米薄膜标片
  •  VP01真空吸附泵
  •  VP02真空吸附泵
  •  样品池

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北京量拓科技有限公司 产品目录

北京量拓科技有限公司(ELLITOP SCIENTIFIC CO., LTD.)(以下简称“量拓科技”)是专业的高端椭偏仪器研发制造企业。 量拓科技成立于2008年4月,是中国唯一的专业椭偏仪器企业,专业致力于椭偏测量的方法研究、技术开发、产品制造和仪器销售,并提供纳米薄膜层构和物性参数的椭偏测试服务和椭偏测量整体解决方案的专业咨询服务。经过持续的创新发展,目前已成为国际高端激光椭偏仪和光谱椭偏仪的主要厂商。 量拓科技以发展国际领先的椭偏测量技术,提供纳米薄膜检测整体解决方案为企业使命,将通过持之以恒的不懈努力,在国际椭偏测量领域树立源自中国的高端专业椭偏品牌ELLiTOP形象,藉此提升中国在国际椭偏测量领域的实力和地位,实现中国高科技企业贡献世界的梦想。 量拓科技作为专业的高端椭偏仪器制造商,荣获国家“高新技术企业”、“ISO9001国际质量体系认证”、“中关村高新技术企业”、“海淀区创新企业”等资质,并获得“第五届北京发明创新大赛”金奖,以及入围“2011年度光伏行业十大创新设备供应商”等殊荣。 量拓科技坚持国际水准的自主创新战略,已获得多项国家专利和软件著作权,在核心的椭偏测量技术和仪器制造方面形成了自主知识产权保护体系。承担了“北京市科技型中小企业促进专项(创新基金)”项目,并与中国科学院电工研究所、理化研究所、苏州纳米所、深圳先进技术研究院、国家天文台、北京理工大学、南开大学等多家科研单位形成了密切的科技合作关系,并且积极参加相关的国际和国内学术研讨会和展览会,开放的全方位科技交流为企业持续发展提供了坚实的基础。 量拓科技“以量拓产品和服务协助客户创造价值,走向成功”为衡量自身价值的基本出发点,依托深厚的椭偏测量研发基础和专业的椭偏测量技术服务队伍,为客户持续不断地提供国际一流的椭偏测量产品和服务。

7650KB

2013/08/08

工商信息

企业名称

北京量拓科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110108010916471

成立日期

2008-04-01

注册资本

100

经营范围

技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务、技术中介服务;销售电子产品、仪器仪表、机械设备;计算机系统集成服务(依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)

联系方式
北京量拓科技有限公司为您提供ELLITOPESS01波长扫描式光谱椭偏仪,ELLITOPESS01产地为北京,属于国产椭偏仪,除了ESS01波长扫描式光谱椭偏仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多椭偏仪,北京量拓客服电话,售前、售后均可联系。
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