在线薄膜测量系统

特点:

• 微米量级的全面积扫描精度
  先进的系统设计，能够使探头到达样品上每个点，扫描精度达到微米量级。
• 原子层量级的膜厚分析精度
  采用非接触、无破坏性的椭偏测量技术，对纳米薄膜达到极高的测量准确度和灵敏度，膜厚测量灵敏度可达到0.05nm。
• 简单方便安全的仪器操作
  用户只需一个按钮即可完成复杂的材料测量和分析过程，数据一键导出。丰富的模型库、材料库方便用户进行高级测量设置。
•  大面积样品上全表面测量  
  可对1.4m*1.1m及以上的大面积薄膜样品各点的性质进行分析和比较。                                                                                                  

应用:

 ETMapSys适合于高精度要求的大面积纳米薄膜研发和质量控制。

 ETMapSys可用于测量大面积的纳米薄膜样品上单层或多层纳米薄膜层构样品的薄膜厚度、折射率n及消光系数k；同时用于块状材料

 ETMapSys可应用于：

• 大面积液晶显示屏上的镀层测量
• 大面积半导体芯片的薄膜测量
• 大面积低辐射玻璃（LOW-E）的镀膜（ZnO,SnO2,TiO2,Ag）测量
• 大面积金属上纳米薄膜测量
• 大面积的光学薄膜（TiO2，SiO2等）测量