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EM15纳米膜厚仪是基于量拓科技先进的椭偏测量原理，针对纳米薄膜的厚度常规测量推出的一款专用仪器。
EM15适用于测量块状材料基底上1-3层纳米薄膜的样品，可对其中的一层或两层薄膜厚同时进行测量。
EM15还可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k。
特点：
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非接触、非破坏性测量可对任何样品进行测量
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无需制备薄膜台阶不需要制作台阶，就可以测量纳米薄膜德厚度，大大简化了样品制作步骤。
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测量范围宽纳米薄膜的膜厚范围为1-2000纳米，可胜任常规的测量。
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快速测量3s内快速完成一次测量，可监测纳米膜层生长过程。
应用：
- EM15适合于科研和工业环境中的厚度的常规测量或质量控制。
- EM15尤其适用于1-3层薄膜厚度测量，可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k，高级功能可扩展至同事测量纳米薄膜德膜厚和折射率。
- EM15可应用的领域包括：微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等。
技术指标：
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项目
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技术指标
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仪器型号
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EM15
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光源
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激光器
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膜厚测量重复性（1）
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0.5nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)
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折射率测量重复性（1）
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5x10-3 (对于Si基底上100nm的SiO2膜层)
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单次测量时间
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典型3s
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探测光束直径
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1-2nm |
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仪器重量（净重）
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25kg
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入射角度
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40°-90°可手动调节，步进5°
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样品方位调整
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Z轴高度调节：±6.5mm
二维俯仰调节：±4°
样品对准：光学自准直和显微对准系统
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样品台尺寸
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平面样品直径可达Φ200mm
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最大的膜层范围
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透明薄膜可达4000nm
吸收薄膜则与材料性质相关
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最大外形尺寸
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887 x 332 x 552mm (入射角为90º时)
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配件
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水平XY轴调节平移台
真空吸附泵
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软件
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1. 中英文界面可选；
2.多个预设项目供快捷操作使用；
3.单角度测量/多角度测量操作和数据拟合；
4.方便的数据显示、编辑和输出；
5.丰富的模型和材料数据库支持。
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性能保证：
- 稳定的激光光源、高灵敏度先进的椭偏测量采样方法，保证了稳定性和准确度
- 稳定的结构设计、可靠的样品方位对准，结合先进的采样技术，保证了快速、稳定测量
- 高精度的光学自准直显微和望远系统，保证了快速、高精度的样品方位对准
- 一体化集成式仪器整体设计，保证了系统稳定性，并节省空间
- 一键式软件设计以及丰富的物理模型库和材料数据库，方便用户使用
企业名称
北京量拓科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108010916471
成立日期
2008-04-01
注册资本
100
经营范围
技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务、技术中介服务;销售电子产品、仪器仪表、机械设备;计算机系统集成服务(依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
北京量拓科技有限公司
公司地址
北京市经济技术开发区科创十二街 鸿坤云时代B1座1501室
客服电话
公司名称： 北京量拓科技有限公司
公司地址： 北京市经济技术开发区科创十二街 鸿坤云时代B1座1501室 联系人： 田经理 邮编： 100176
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