EM01-PV 多入射角激光椭偏仪（光伏专用）

EM01-PV-III多入射角激光椭偏仪（光伏专用）已升级至EMPro-PV极致型多入射角激光椭偏仪，主要升级内容包括：

• 单次测量速度提高3倍；
• 绒面测量精度提高66%；
• 新的仪器外形，整体稳定性增强。

EM01-PV-III为太阳能电池测试专用激光椭偏仪，用于单晶硅、多晶硅以及薄膜太阳能电池的膜厚和折射率测量，产品提供单晶硅专用太阳能电池样品台。

特点：

• 高精度、高稳定性
• 特定角度样品台，适合单晶硅太阳能电池的测量
• 适合绒面测量
• 操作简单
• 快速测量
• 快速、高精度样品方位对准
• 多角度测量
• 一体化集成设计

应用领域：

单晶、多晶及各种薄膜太阳能电池的折射率和膜厚测量领域，既适合科研院所研究使用，亦适合工厂进行工艺研究分析和产线上产品检测。

性能保证：

• 高稳定性的He-Ne激光光源、高精度的采样方法以及低噪声探测技术，保证了系统的高稳定性和高准确度
• 高精度的光学自准直望远系统，保证了快速、高精度的样品方位对准
• 稳定的结构设计、可靠的样品方位对准，结合先进的采样技术，保证了快速、稳定测量
• 分立式的多入射角选择，可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量
• 一体化集成式的仪器结构设计，使得系统操作简单、整体稳定性提高，并节省空间
• 专用软件方便太阳能电池测试和建模 

技术指标：

可选配件：

•  NFS-SiO2/Si二氧化硅纳米薄膜标片
•  NFS-Si3N4/Si氮化硅纳米薄膜标片
•  VP01真空吸附泵
•  VP02真空吸附泵