激光波长 | 632.8nm (He-Ne laser) |
膜厚测量重复性 | 0.01nm (对于Si基底上110nm的SiO2膜层) |
折射率精度 | 1x10-4 (对于Si基底上110nm的SiO2膜层) |
光学结构 | PSCA |
激光光束直径 | <1mm |
入射角度 | 40°-90°可选,步进5° |
样品方位调整 |
三维平移调节
二维俯仰调节
光学自准直系统对准
|
样品台尺寸 | Φ170mm |
单次测量时间 | 0.2s |
推荐测量范围 | 0-6000nm |
最大外形尺寸(长x宽x高) | 887 x 332 x 552mm (入射角为70º时) |
仪器重量(净重) | 25Kg |
企业名称
北京量拓科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108010916471
成立日期
2008-04-01
注册资本
100
经营范围
技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务、技术中介服务;销售电子产品、仪器仪表、机械设备;计算机系统集成服务(依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
北京量拓科技有限公司
公司地址
北京市经济技术开发区科创十二街 鸿坤云时代B1座1501室
客服电话