Thermo 三区控温管式炉 HTF55347C 的CVD系统
2020-06-03 14:41
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资料摘要:
介绍了以Thermo三区控温管式炉HTF55347C为核心的CVD系统的组成。应用:CVD真空气氛管式炉设计用于材料沉积之用,广泛适用高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。
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