台阶仪从上世纪70年代发明以来,在半导体制造,平板显示,太阳能电池,MEMS等诸多领域成为象游标卡尺,显微镜或者万用表一样的必备检测设备。
随着各领域的技术不断进步,镀膜厚度不断的降低,不断出现的几十纳米测量需求。
美国AEP公司,推出了全新的NanoMap-PS型纳米台阶仪。
此款台阶仪,颠覆了行业内普遍对台阶仪的认知“百纳米下薄膜厚度测不准,需要隔振平台辅助”的概念。
NanoMap-PS纳米台阶仪自集成主动式隔振模块,使台阶仪即使放在六楼百纳米下也能有极高的重复性,稳定性。
并且,NanoMap-PS的小体积,桌面型设计,提升了超净间的使用率,让拥挤不堪的超净间拥有更多设备的空间。
47nm膜厚标样重复性测量
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