三丰表面粗糙度和轮廓测量系统SV-C3200/4500525系列

SV-C4500S4

SV-C4500H4

SV-C4500W4

SV-C4500L4

SV-C4500S8 |SV-C4500H8|SV-C4500W8

SV-C4500L8

•测量表面粗隨度时

量围 测范

X轴（驱动部）

100mm

200mm

Z1轴（检出器）

800um/80um/8um

直线度

(0.05+L/1000) pm L:驱动长度(mm)

(0.1+0.002L) pm L:驱动长度(mm)

分辨力IZ1轴（检出器）

0.01pm(800pm), 0.001 pm(80pm), 0.0001 pm (8pm)

测力

0.75mN （仪器货号末尾带"-1 "的型号）

4mN （仪器货号末尾带“2的型号）

测针针尖形状

60°, 2pmR （仪器货号末尾带F"的型号）

90。, 5umR （仪器货号末尾带"2的型号）

对应尺寸

JIS1982/ JIS1994/ JIS2001/IS01997/ ANSI/ VDA

评价参数

Pa, Pq, Psk, Pku, Pp, Pv, Pz, Pt, Pc, PSm, PAq, Pmr(C), Pmr, P6c, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rp, Rv, Rz, Rt, Rc, RSm, RAq, Rmr(C), Rmr, R(5c, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wp, Wv, Wz, Wt, Wc, WSm, WAq, Wmr(C), Wmr, W<5c, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1,A2, Rx, AR, R, Wx, AW, W, Wte, Ry, RyDIN, RzDIN, R3y, R3z, S, HSC, Lo, Ir, Aa, Aa, Vo, Htp, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, NW, SW, SAW

评价轮廓

原始轮廓、粗精度抡廓、滤波波纹轮廓、波纹轮廓、滚动圆波形原始轮廓、滚动圆波形轮廓、 包络残余线、DF轮廓（DIN4776/ISO13565-1）、表面粗糙度MOTIF （包络波纹轮廓在评价MOTIF时 显示）

分析图

员荷曲线、振幅分布曲线、功率谱、目相关、Walsh功率谱、Walsh自相关、顶峰分布、

倾斜角分布、参数分布僭损量、重叠在抡廓分析可以用于面积等的原始分析）

曲线补偿

最小平方直线、R面补偿、椭圆补偿、抛物线补偿、双曲线补偿、二次曲线补偿.多顶式补偿 （自动或任意2~7次）、无补偿

滤波器

高斯濾波器,2CRPC75,2CRPC50, 2CR75,2CR50,鲁棒样条濾波器

•轮廓测量

量围 测范一

X轴（驱动部）

100mm

200mm

Z1轴（检出器）

60mm （测臂水平位置±30mm）

宜线度

0.8um/100mm

2pm/200mm

精度

X轴（驱动部）

±(0.8+0.01 Dpm L:驱动长度(mm)

±(0.8+0.02L)|jm L =驱动长度(mm)

Z1轴（检出器）

SV-C3200 系列:±(1.4+|2H|/100)pm, SV-C4500 系列:±(0.8+|2H|/100)pm H:水平位置上的测量高度(mm)

分辨力

X轴（驱动部）

0.05 pm

Z1轴（检出器）

SV-C3200系列:0.04剛,SV-C4500 系列 0.02剛

Z2轴（立柱）

1 um

测力

SV-C3200系列:30mN （可调使用重量）

SV-C4500系列;10,20,30,40, 50mN （根据软件转换）

测头方向

SV-C3200系列:垂直方向（向上/向下单独测量）

SV-C4500系列:垂直方向（向上/向根据配重调整）

,通用规格

Z2轴（立柱）移动量

300mm

500mm 700mm

300mm I 500mm 700mm

X轴倾斜角度

±45°

驭动 速度

X轴

0 - 80mm/s外加手动

Z2轴（立柱）

0 - 30mm/s外加手动

测量速度

0,02、0,05、0,1、0.2、0,5、1,0、2.0、5.0、10、20mm/s