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DESK-V小型离子溅射仪

品牌:
产地: 美国
型号: DESK-V
报价: ¥5万 - 10万

核心参数

产地类别: 进口

产品介绍

驰奔仪器,DESK-V型小型离子溅射仪,是一款高级低真空磁控溅射镀膜装置,广泛用于钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜样品制备或电极镀膜实验。采用专利的阳极保护栅网,实现镀膜过程中样品表面保持常温状态,是没有热损伤的冷溅射平台。该溅射仪具有等离子清洗刻蚀功能。也可选配碳蒸发附件。

主要功能:

1、精细磁控溅射镀膜 

2、样品等离子刻蚀清洗

3、蒸碳镀膜

主要特点:

1、大的溅射样品室,获得更稳定的真空环境,镀膜质量更高。

2、对样品无热损伤的冷溅射。

3、样品等离子刻蚀功能,一个手动控制挡板降低样片在刻蚀过程中受到的污染。

4、基于PLC的强大控制系统,全部触摸屏操作,可手动、半自动控制、全自动控制。

5、具有高压真空互锁安全机制

6、标准的操作软件,实时监控各部件状态,方便技术支持,节约用户费用。

性能指标:

标准配置
                        描述
样品室
φ150mm X 150mm(H) 耐热玻璃真空室
靶材金GOLD或金钯合金GOLD/PALLADIUM(随机)φ50mmX0.1mm
样品台
φ50mm 旋转样品台
溅射电流
0-100mA
真空规
皮拉尼
溅射气体
空气或氩气
真空泵
85L/Min 机械泵
选配

膜厚监控
石英晶体膜厚监控器
样品台
φ75mm 旋转样品台
φ100mm旋转样品台(选此台,膜厚监控器无法安装)
旋转倾斜样品台 (选择此台,无法实现样品刻蚀功能)
蒸碳附件碳棒或碳丝绳


工商信息

企业名称

北京驰奔仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110108018135165

成立日期

2014-11-06

注册资本

50

经营范围

联系我们
北京驰奔仪器为您提供DESK-V小型离子溅射仪,nullDESK-V产地为美国,属于进口离子溅射仪,除了DESK-V小型离子溅射仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多离子溅射仪,驰奔仪器客服电话,售前、售后均可联系。
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