核心参数
电子枪种类: 钨灯丝
二次电子图象分辨率: 5nm(30KV WD=5mm)
放大倍数: 20-100,000X
加速电压: 0.5~30KV
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产品简介
EM-30是一款高分辨台式扫描电镜,拥有EM-20型全部优秀特征以外,加速电压调节范围扩展到30KV,首先对于选配EDS的用户,分析能力获提升,其次获得更高电子光学分辨能力,有效放大倍数进一步提高。另外EM-30样品台增加了马达驱动倾斜台,由酷塞目[COXEM]NanoStation计算机导航自动操作,不但可实现立体对观察,而且通过对样品台精细地调节角度,可使用样品室SE探测器获得良好的背散射电子图像。
技术特点:
*自动高亮度电子枪,全数字化高压电源,0.5KV~30KV范围内随意调节;
*聚光镜精细控制 Spot size设置10档调节;
*圆锥形物镜,具有更高分辨性能;
*四孔可变光阑,分别用于高分辨观察和不同的分析目的。
*实时灰度直方图,自动亮度对比度;
*X Y Tilt , 3 轴自动样品台
*可选Bse探测器、低真空功能和能谱仪。
*酷塞目NanoStation操作软件,内含丰富的图像编辑处理功能
技术指标:
分辨率 : 5.0nm @30KV SE Image
10nm @30KV Bse Image (option)
放大倍数 : x20 ~ x100,000
探测器: E-T型二次电子探测器
高灵敏四分割半导体背散射电子探测器 (option)
加速电压: 0.5-30kv
电子枪 : 自动控制,钨丝阴极, 预对中灯丝 ,最大发射电流 ~150?
磁透镜系统 :聚光镜+物镜
物镜光阑 : 4位可移动,摇摆对中
扫描光栅电位移及旋转: +/-50um ,0~360°
样品室: 6个接口,可接配内置外置EDS.
样品台:三轴马达驱动,
X (35mm),
Y (35mm),
Tilt (0~45°)
Z向手动(0-50mm)
样品尺寸(最大) : 直径70mm 高度45mm
扫描模式
- 选区 (320 x 240 pixel)
- TV全屏扫描模式:(640 x 480pixel)
- 三档全屏慢扫描模式 (800 x 600 pixel)
- 照相模式:1280 x 960,2560 x 1920,5120 x 3840pixel
-示波器扫描模式
图像格式 : JPG, TIFF, BMP
图像显示器: 21.5" LCD Monitor
自动控制功能:
- 电子枪饱和
- 电子枪对中
- 电子枪偏压
- 亮度对比度
- 聚焦
工作距离 : 4 ~50mm
真空系统 : 全自动 (真空时间: 小于2分钟)
- 前级真空: 旋片式机械泵
- 高真空 : 涡轮分子泵 4X10-3 Pa
- 低着空模式:样品室 1-100Pa (option)
控制系统 : USB通讯接口计算机控制,Dell i5 PC, 21.5英寸显示器,独立显卡 2G内存,操作系统 : Windows 7
图像处理分析软件 :
- 图像标注编辑存储
- 长度、角度,面积等测量功能
- 实时图像灰度直方图显示
主机尺寸:400Wx600Lx550H mm
主机重量:80kg
企业名称
北京驰奔仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108018135165
成立日期
2014-11-06
注册资本
50
经营范围
北京驰奔仪器有限公司
公司地址
北京市海淀区志新路16号38号楼530室
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