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Imaging ellipsometry of graphene_成像椭偏仪的石墨烯应用

2015/01/04 09:33

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发布时间:
2015/01/04
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方案摘要:

成像椭偏仪集成了椭偏仪亚纳米级薄膜厚度和折射率分析和光学显微镜对于薄膜形貌像分析和区域化分析的优点,实时地对硅片上的石墨烯剥皮进行分析。结果证实了成像椭偏仪是石墨烯研究的有效工具。

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