原子力显微镜主动减振台/减震台

原子力显微镜主动减振台/减震台

品牌：HERZ

型号：AVI-600-XL

描述：AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。AVI系列可在宽频率范围内进行隔振，为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。

适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！

产品亮点： 

六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振) 

5-20ms响应时间    

低频隔振性能优异,安装和使用简单

系统主动检测输入振动并动态消除

紧凑、模块化的多功能设计

稳定性高，能无故障连续使用多年

无低频共振、无空气要求 

应用范围：

超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）

光刻工具

高精度计量工具

光谱仪器

升级选项：

可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数：

型号：AVI-600XL/LP

系统配置：独立隔振装置 & 控制装置

主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz

被动隔振范围:大致为200 Hz以上

显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。

LEDs 指示输出阶段的过载情况。

单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm

隔振单元重量: 34kg

负载能力:1200 kg (同等/低重心)

输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗：通常27W

温度范围：5℃ - 40℃

相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室内/室外使用：仅用于室内

隔振效果：

性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

原子力显微镜主动减振台/减震台