CAMECA 二次离子质谱仪

CAMECA 二次离子质谱仪（IMS 7f）的主要优势在于其极高的灵敏度、高空间分辨率（亚微米级横向分辨率，纳米级深度分辨率）以及同位素分辨本领。因其 ppb 水平检测极限以及高分析速度和可靠性，IMS 7F 成为遍布全球的众多独立分析实验室的主力军。

CAMECA的SIMS技术领先世界。无与伦比的性能得益于其独有的基于磁扇区原理的仪器设计。

• 灵敏度：CAMECA IMS 7f 工作是的有效离子产率(useful yields- secondary ion detected per atomsputtered)比四极杆分析器高达100倍。做一次通常的深度剖析或者成像分析，以获得同样灵敏度所用时间相比，是TOF类SIMS的千分之一。(或反过来说，同样的分析时间，TOF SIMS的灵敏度要低达1000倍)。

• 质量分辨: CAMECA IMS 7f 可以分辨绝大多数质谱中存在的质量干扰，例如，³¹P与H³⁰Si, ⁵⁶Fe与²⁸Si or ¹⁷O与H¹⁶O。这些干扰使得低质量分辨率质谱仪（比如四极杆类型）的探测极限大打折扣。CAMECA的SIMS获得高质量分辨率的同时并不会降低分析速度，这是TOF质谱仪无法做到的。

• 离子成像：CAMECA IMS 7f 可以对所选质量给出显微镜模式的图像，分辨率达到一微米。从时间上看，这种模式下获得图像的速度比常规的扫描图像模式(microprobe mode)要高几个数量级。这种模式下还可以大大缩短调试设备的时长。
 若想获得亚微米级分辨率的图像，CAMECA IMS 7f 需要采用微探针模式，依靠动态光学传输以及高亮离子源达到业界最高水准的灵敏度和分辨率。

• 高分析效率: A high efficiency optical gate is used to eliminate crater edge effects for combining high sputter rate and high dynamic range in the depth profile mode. Full computer control of the instrument allowing unattended analyses with different analysis recipe

详情参见英文网站，精彩不容错过：http://www.cameca.com/instruments-for-research/ims7f.aspx