应用：超高分辨SEM带你进入纳米材料世界

*碳纳米管（CNT）表面聚苯并咪唑（ Polybenzimidazole ）及Pt颗粒观察研究 

Sample :  Courtesy of A. Prof. Tsuyohiko Fujigaya, Department of Applied Chemistry,

Faulty of Engineering, Kyushu University

燃料电池是不经过燃烧而直接以电化学反应方式燃烧的化学能转化为电能，具有对环境友好，能量转化率高和实用性广等优点。为了提高燃料电池的效率，CNT作为催化承载体将被广泛应用在电动车，手机电池领域。上图是利用日立超高分辨率扫描电镜SU9000观察到的SE和BFSTEM图像，样品为CNT上覆盖了一层Polybenzimidazole 及其最表层的Pt纳米颗粒。通过上图衬度的差异可以观察到Polybenzimidazole覆盖层区以及表面Pt纳米颗粒的形态及分布。同时，在BFSTEM图像中可以观察出背面的Pt颗粒分布。  

*功能高分子纳米线的观察与分析

Courtesy of Dr. Masahiro Goto & Dr. Michiko Sasaki,

Nano-Electronic Materials Unit, MANA, National Institute for Materials Science (NIMS), Tsukuba, Japan

由于高分子纳米线具有良好的柔韧性和透光性，因此被广泛应用在纳米传感器，LED和光控开光等领域。采用模具的方法是最传统的纳米制造技术，但这种方法一直局限于比较粗的直径100nm纳米线，且很难获得量子尺寸效应和和更细的直径几十或更小的纳米线。NIMS的团队开发了一个全新的技术，这是世界上第一种，通过简单的高度控制的激光照射形成的材料  

此研究中利用了日立超高分辨率SU9000观察了纳米线的结构。同时获得了SE和BFSTEM像，可以观测到存在30nm和10nm两种尺寸的纳米颗粒。同时，利用两种图像的对比可以识别出纳米线内部的氧化铁颗粒。

*沸石观察

Sample : Courtesy of Asst. Prof. Toshiyuki Yokoi

Catalytic Chemistry Division, Chemical Resources Laboratory
Tokyo Institute of Technology

沸石由于其离子交换、吸附和催化作用的特点，有望成为一种处理有害物质的材料，从而较少有害物质的排放，即绿色可持续化学。各种沸石的合成方法正在被研发，通常用SEM/STEM观察细颗粒的孔洞形状和大小。 上图为人工合成沸石颗粒（zms-5）的BFSTEM图像，利用SU9000拍摄的结果。左边的图像我们可以获得细孔排列的信息，而右图中可以看出细孔径约为0.5nm。

SU9000  http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C138508.htm

日立SU9000超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜世界最高二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。

特点：

1. 1.新型电子光学系统设计达到扫描电镜世界最高分辨率：二次电子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。

1. 2.Hitachi设计的E×B系统，可以自由控制SE和BSE检测信号。

2. 3.全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。

3. 4.全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。

4. 5.STEM的明场像能够调整信号检测角度，明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。

5. 6.与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。

关于日立高新技术公司：

日立高新技术公司，于2013年1月，融合了X射线和热分析等核心技术，成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术，精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新，因此公司变为日立高新的子公司，同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学，扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料，产品线更丰富的日立高新技术集团，将继续引领科学领域的核心技术。更多信息敬请关注日立高新官方网站：http://www.hitachi-hightech.com/cn/