ATL紧凑型准分子激光器

ATL紧凑型准分子激光器
特点;
超快预电离技术
激光腔体<3L
全新技术的金属陶瓷反射腔
空气冷却重复频率高达500Hz
RS-485系统集成界面
能量稳定模式
手持式控制器
欧洲CE标准
ATLEX系列短脉冲准分子激光器使用金属陶瓷技术并利用全新电离技术发明了设备的大能量概念。强化的超快预电离技术可以提供几纳秒的脉宽条件下产生较大单脉冲能量并加强了所有高压部件的可靠性。
 

气体介质		F	ArF	KrF	XeCl	XeF
波长(nm)		157	193	248	308	351
最大脉冲能量1）(mJ)		1	8	14	8	7
最大平局脉冲能量(W)	ATLEX-300-SI	0.2	2.0	4.0	2.0	1.7
	ATLEX-500-SI	0.5	3.0	6.5	3.0	2.5
最大重复频率(Hz)	ATLEX-300-SI	300
	ATLEX-500-SI	500
脉冲宽度2)(ns)		4-6
光斑尺寸2)(mm)		4×6
光束发散角2)(mrad)		1×2
能量稳定性3)(%)		3
外形尺寸(L×W×H)		540mm×470mm×370mm
重量(kg)		50
冷却方式		空气冷却
供电要求		230VAC/6.3A/50-60Hz/1phase

1)在最低重复频率下测量：应用能量稳定模式将会有10%的能量损失
2)FWHM
3)在最高重复频率下测量
 
金属陶瓷反射腔技术：
技术陶瓷反射腔是全部有防卤素和紫外光侵蚀的铝合金及陶瓷造成的。陶瓷绝热高压电容和主电机的全新设计保证了长期的气体稳定寿命，相对较低的气体污染并提高了电气原件的可靠性。而且，内置的静电粉尘吸附装置大大降低了窗口镜片的受污染概率。腔体优化的几何形状保证了均匀冷却，因此激光器拥有良好的光束均匀性和光束指向稳定性。
 
优化的预电离电路：
优秀的光斑均匀性
低发散角
低电离电压
提高了气体纯度和使用寿命
提高了窗口寿命,延长了腔体维护时间
 
镜片支架：
当进行清洗工作时，光学镜片的固定支架可以方便地拆卸和安装.谐振腔的机械结构非常稳定,保证了谐振腔内部光学器件稳定.光学准直部分不会因更换原件而发生任何改变
 
激光控制器：
ATLEX激光器结合应用了全新的微处理器控制技术，能够提供许多有用的功能和选项。这些功能包括激光能量稳定单元，外触发模块，高压电离控制及自动换气等等。这都可以通过计算机来控制。
独特的ATLEX激光设计能够保证均匀性极好的矩形光斑，比起其它小型产品的高斯光斑拥有更好的材料加工性能和医学应用优点。
ATLEX的应用：
光纤光栅刻写、微加工、光谱学、眼科手术

光纤光栅刻写：
优异的光束质量和良好的指向稳定性，确保ATL激光器可以实现光纤光栅的刻写，最好的切趾效果>30dB。
 
光谱学：
4~6ns的短脉冲为研究人员提供了新的有力工具,用于光致电离处理和高精度TOP光谱